Puolijohdeteollisuuden grafiittimateriaalivaatimukset ovat erityisen korkeat. Grafiitilla on hienojakoisia hiukkasia, ja sillä on korkea tarkkuus, korkea lämmönkestävyys, korkea lujuus ja pienet häviöt, kuten sintrattu grafiittimuotti.Koska puolijohdeteollisuudessa käytettyjen grafiittilaitteiden (mukaan lukien lämmittimet ja niiden sintratut muotit) on kestettävä toistuvia lämmitys- ja jäähdytysprosesseja, grafiittilaitteiden käyttöiän pidentämiseksi vaaditaan yleensä, että käytetyillä grafiittimateriaaleilla on vakaa suorituskyky ja lämmönkestävä iskunkestävyys.
01 Grafiittitarvikkeet puolijohdekiteiden kasvatukseen
Kaikki puolijohdekiteiden kasvattamiseen käytetyt prosessit toimivat korkeissa lämpötiloissa ja korroosiota aiheuttavissa olosuhteissa. Kiteenkasvatusuunin kuuma vyöhyke on yleensä varustettu kuumuutta ja korroosiota kestävillä, erittäin puhtailla grafiittikomponenteilla, kuten lämmittimellä, upokkaalle, eristyssylinterillä, ohjaussylinterillä, elektrodilla, upokkaan pidikkeellä, elektrodin mutterilla jne.
Voimme valmistaa kaikkia kristallintuotantolaitteiden grafiittiosia, jotka voidaan toimittaa yksittäin tai sarjoina, tai räätälöityjä grafiittiosia eri kokoisina asiakkaan vaatimusten mukaisesti. Tuotteiden koko voidaan mitata paikan päällä, ja valmiiden tuotteiden tuhkapitoisuus voi olla pienempikuin 5 ppm.
02 Grafiittiset lisävarusteet puolijohdeepitaksiaan
Epitaksiaalinen prosessi tarkoittaa yksittäiskristallimateriaalin kerroksen kasvattamista yksittäiskristallisubstraatille, jolla on sama hilarakenne kuin substraatilla. Epitaksiaalisessa prosessissa kiekko ladataan grafiittilevylle. Grafiittilevyn suorituskyvyllä ja laadulla on tärkeä rooli kiekon epitaksiaalisen kerroksen laadussa. Epitaksiaalisen tuotannon alalla tarvitaan paljon erittäin puhdasta grafiittia ja erittäin puhdasta SIC-pinnoitettua grafiittipohjaa.
Yrityksemme puolijohdeepitaksiaan tarkoitetulla grafiittipohjalla on laaja valikoima sovelluksia, se sopii useimpiin alan yleisesti käytettyihin laitteisiin, ja sillä on korkea puhtausaste, tasainen pinnoite, erinomainen käyttöikä sekä korkea kemiallinen kestävyys ja lämmönkestävyys.
03 Grafiittiset lisävarusteet ioni-istutukseen
Ioni-istutuksella tarkoitetaan prosessia, jossa boorin, fosforin ja arseenin plasmasuihku kiihdytetään tiettyyn energiaan ja sitten ruiskutetaan kiekkomateriaalin pintakerrokseen pintakerroksen materiaaliominaisuuksien muuttamiseksi. Ioni-istutuslaitteen komponenttien on oltava erittäin puhtaita materiaaleja, joilla on erinomainen lämmönkestävyys, lämmönjohtavuus, vähäinen ionisuihkun aiheuttama korroosio ja alhainen epäpuhtauspitoisuus. Erittäin puhdas grafiitti täyttää sovellusvaatimukset ja sitä voidaan käyttää ioni-istutuslaitteiden lentoputkissa, erilaisissa raoissa, elektrodeissa, elektrodin suojuksissa, putkissa, suihkupäätteissä jne.
Emme ainoastaan tarjoa grafiittisuojausta erilaisiin ioni-istutuslaitteisiin, vaan tarjoamme myös erittäin puhtaita grafiittielektrodeja ja ionilähteitä, joilla on korkea korroosionkestävyys erilaisilla ominaisuuksilla. Soveltuvat mallit: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ja muut laitteet. Lisäksi voimme toimittaa myös yhteensopivia keraamisia, volframista, molybdeenistä ja alumiinista valmistettuja tuotteita ja pinnoitettuja osia.
04 Grafiittieristeet ja muut
Puolijohdetuotantolaitteissa käytettyjä lämmöneristysmateriaaleja ovat grafiittikovahuopa, pehmeähuopa, grafiittifolio, grafiittipaperi ja grafiittiköysi.
Kaikki raaka-aineemme ovat maahantuotua grafiittia, jota voidaan leikata asiakkaan vaatimusten mukaan tai myydä kokonaisuutena.
Hiili-hiilialustaa käytetään kalvopinnoitteen kantajana aurinkokennojen monokiteisten ja polykiteisten piikennojen tuotantoprosessissa. Toimintaperiaate on seuraava: piisiru asetetaan CFC-alustaan ja lähetetään se uuniputkeen kalvopinnoitteen käsittelemiseksi.
