Erdieroaleen industriak grafito materialen eskakizunak bereziki altuak ditu; grafitoaren partikula-tamaina finek zehaztasun handia, tenperatura altuko erresistentzia, erresistentzia handia, galera txikia eta beste abantaila batzuk dituzte, hala nola: grafito sinterizatuko produktuen moldeak.Erdieroaleen industrian erabiltzen diren grafitozko ekipoek (berogailuak eta haien sinterizatutako trokelak barne) berotze eta hozte prozesu errepikatuak jasan behar dituztenez, grafitozko ekipoen bizitza erabilgarria luzatzeko, normalean beharrezkoa da erabilitako grafito materialek errendimendu egonkorra eta beroarekiko erresistentea den inpaktu funtzioa izatea.
01 Erdieroale kristalen hazkuntzarako grafito osagarriak
Kristal erdieroaleak hazteko erabiltzen diren prozesu guztiak tenperatura altuko eta ingurune korrosiboetan funtzionatzen dute. Kristalen hazkuntza-labearen gune beroa normalean beroarekiko eta korrosioarekiko erresistenteak diren grafitozko osagai puruekin hornituta egoten da, hala nola berogailua, gurutzagailua, isolamendu-zilindroa, gida-zilindroa, elektrodoa, gurutzagailuaren euskarria, elektrodo-azkoina, etab.
Kristalezko ekoizpen gailuen grafitozko pieza guztiak fabrikatu ditzakegu, banaka edo multzoka hornitu daitezkeenak, edo bezeroaren beharren arabera tamaina desberdinetako grafitozko pieza pertsonalizatuak. Produktuen tamaina bertan neur daiteke, eta produktu amaituen errauts edukia txikiagoa izan daiteke.5 ppm baino gehiago.
02 Erdieroaleen epitaxiarako grafitozko osagarriak
Epitaxial prozesuak kristal bakarreko material geruza baten hazkuntza adierazten du, substratuaren sare-antolamendu berdinarekin kristal bakarreko substratuan. Epitaxial prozesuan, oblea grafito diskoan kargatzen da. Grafito diskoaren errendimenduak eta kalitateak funtsezko zeregina dute oblearen epitaxial geruzaren kalitatean. Epitaxial ekoizpenaren arloan, grafito ultra-purutasun handiko eta SIC estaldura duen grafito oinarri purutasun handiko asko behar dira.
Gure enpresaren erdieroaleen epitaxiarako grafito oinarriak aplikazio sorta zabala du, industrian erabili ohi diren ekipamendu gehienekin bat dator, eta purutasun handia, estaldura uniformea, zerbitzu-bizitza bikaina eta erresistentzia kimiko eta egonkortasun termiko handia ditu.
03 Ioi inplantaziorako grafitozko osagarriak
Ioi inplantazioak boro, fosforo eta artseniko plasma-sorta energia jakin bateraino azeleratzeko prozesuari egiten dio erreferentzia, eta ondoren oblea-materialaren gainazaleko geruzan injektatzeko prozesuari, gainazaleko geruzaren materialaren propietateak aldatzeko. Ioi inplantazio-gailuaren osagaiak beroarekiko erresistentzia bikaina, eroankortasun termikoa, ioi-sortek eragindako korrosio gutxiago eta ezpurutasun-eduki txikia duten purutasun handiko materialez eginda egongo dira. Purutasun handiko grafitoak aplikazioaren eskakizunak betetzen ditu, eta ioi inplantazio-ekipoen hegaldi-hodi, hainbat zirrikitu, elektrodo, elektrodo-estalki, hodi, sorbi-amaieragailu eta abarretarako erabil daiteke.
Ez ditugu soilik hainbat ioi inplantazio makinarako grafitozko babes-estalkiak eskaintzen, baita hainbat zehaztapenekin korrosioarekiko erresistentzia handiko grafito elektrodoak eta ioi iturri puruak ere. Aplikagarriak diren modeloak: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM eta beste ekipamendu batzuk. Horrez gain, zeramikazko, tungstenozko, molibdenozko eta aluminiozko produktuak eta estalitako piezak ere eskain ditzakegu.
04 Grafitozko isolamendu materialak eta beste batzuk
Erdieroaleen ekoizpen-ekipoetan erabiltzen diren isolamendu termikoko materialen artean daude grafitozko feltro gogorra, feltro biguna, grafito-xafla, grafito-papera eta grafito-soka.
Gure lehengai guztiak inportatutako grafitoa dira, bezeroaren eskakizunen tamaina zehatzaren arabera moztu edo osorik saldu daitezkeenak.
Karbono-karbono erretilua silizio monokristalino eta polikristalinozko zelulen ekoizpen prozesuan film-estalduraren euskarri gisa erabiltzen da. Funtzionamendu-printzipioa hau da: siliziozko txipa CFC erretiluan sartu eta labearen hodira bidali film-estaldura prozesatzeko.
