Захтеви полупроводничке индустрије за графитне материјале су посебно високи, фине честице графита имају високу прецизност, отпорност на високе температуре, високу чврстоћу, мале губитке и друге предности, као што су: калуп за синтероване графитне производе.Пошто графитна опрема која се користи у полупроводничкој индустрији (укључујући грејаче и њихове синтероване матрице) мора да издржи поновљене процесе загревања и хлађења, како би се продужио век трајања графитне опреме, обично се захтева да графитни материјали који се користе имају стабилне перформансе и отпорност на ударце на топлоту.
01 Графитни прибор за раст полупроводничких кристала
Сви процеси који се користе за узгој полупроводничких кристала одвијају се под високим температурама и корозивним окружењем. Врућа зона пећи за раст кристала је обично опремљена графитним компонентама високе чистоће отпорним на топлоту и корозију, као што су грејач, лончић, изолациони цилиндар, вођица цилиндра, електрода, држач лончића, навртка електроде итд.
Можемо произвести све графитне делове уређаја за производњу кристала, који се могу испоручити појединачно или у сетовима, или прилагођене графитне делове различитих величина према захтевима купца. Величина производа може се мерити на лицу места, а садржај пепела у готовим производима може бити мањи.више од 5 ппм.
02 Графитни прибор за полупроводничку епитаксију
Епитаксијални процес се односи на раст слоја монокристалног материјала са истим распоредом решетке као и подлога на монокристалној подлози. У епитаксијалном процесу, плочица се поставља на графитни диск. Перформансе и квалитет графитног диска играју виталну улогу у квалитету епитаксијалног слоја плочице. У области епитаксијалне производње, потребно је много графита ултра високе чистоће и графитне базе високе чистоће са SIC премазом.
Графитна база наше компаније за полупроводничку епитаксију има широк спектар примене, може се уклопити са већином уобичајено коришћене опреме у индустрији, и има високу чистоћу, уједначен премаз, одличан век трајања и високу хемијску отпорност и термичку стабилност.
03 Графитни прибор за јонску имплантацију
Јонска имплантација се односи на процес убрзавања плазма снопа бора, фосфора и арсена до одређене енергије, а затим његовог убризгавања у површински слој материјала плочице како би се променила својства површинског слоја. Компоненте уређаја за јонску имплантацију морају бити направљене од материјала високе чистоће са одличном отпорношћу на топлоту, топлотном проводљивошћу, мањом корозијом изазваном јонским снопом и ниским садржајем нечистоћа. Графит високе чистоће испуњава захтеве примене и може се користити за летну цев, разне прорезе, електроде, поклопце електрода, цеви, терминаторе снопа итд. опреме за јонску имплантацију.
Не само да можемо да обезбедимо графитне заштитне поклопце за разне машине за јонску имплантацију, већ и да обезбедимо високочисте графитне електроде и јонске изворе са високом отпорношћу на корозију различитих спецификација. Применљиви модели: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM и друга опрема. Поред тога, можемо да обезбедимо и одговарајуће керамичке, волфрамове, молибденске, алуминијумске производе и делове са премазом.
04 Графитни изолациони материјали и други
Материјали за топлотну изолацију који се користе у опреми за производњу полупроводника укључују тврди графитни филц, меки филц, графитну фолију, графитни папир и графитно уже.
Све наше сировине су увезени графит, који се може сећи према специфичним величинама захтева купца или продавати у целини.
Угљен-угљенични носач се користи као носач за премаз филмом у процесу производње соларних монокристалних силицијумских и поликристалних силицијумских ћелија. Принцип рада је: уметнути силицијумски чип у CFC носач и послати га у цев пећи да би се обрадио премаз филмом.
