Полупроводничките индустриски барања за графитни материјали се особено високи, фината големина на честичките од графит има висока прецизност, отпорност на високи температури, висока јачина, мали загуби и други предности, како што се: синтерувани графитни производи во мувла.Бидејќи графитната опрема што се користи во полупроводничката индустрија (вклучувајќи грејачи и нивните синтерувани калапи) е потребна да издржи повторени процеси на загревање и ладење, со цел да се продолжи работниот век на графитната опрема, обично е потребно употребените графитни материјали да имаат стабилни перформанси и отпорност на топлина на удар.
01 Графитни додатоци за раст на полупроводнички кристали
Сите процеси што се користат за одгледување на полупроводнички кристали работат во висока температура и корозивна средина. Топлата зона на печката за раст на кристали обично е опремена со графитни компоненти со висока чистота отпорни на топлина и корозија, како што се грејач, сад за садење, изолациски цилиндар, водечки цилиндар, електрода, држач на сад за садење, навртка на електрода итн.
Можеме да произведуваме сите графитни делови од уреди за производство на кристали, кои можат да се испорачаат поединечно или во комплети, или графитни делови по нарачка со различни големини според барањата на клиентот. Големината на производите може да се мери на лице место, а содржината на пепел во готовите производи може да биде помала.од 5 ppm.
02 Графитни додатоци за полупроводничка епитаксија
Епитаксијалниот процес се однесува на раст на слој од монокристален материјал со ист распоред на решетка како и подлогата на монокристалната подлога. Во епитаксијалниот процес, плочката се вчитува на графитниот диск. Перформансите и квалитетот на графитниот диск играат витална улога во квалитетот на епитаксијалниот слој на плочката. Во областа на епитаксијалното производство, потребна е голема количина графит со ултра висока чистота и графитна основа со висока чистота со SIC облога.
Графитната основа на нашата компанија за полупроводничка епитаксија има широк спектар на апликации, може да се совпадне со поголемиот дел од најчесто користената опрема во индустријата и има висока чистота, униформен слој, одличен век на траење и висока хемиска отпорност и термичка стабилност.
03 Графитни додатоци за јонска имплантација
Јонска имплантација се однесува на процес на забрзување на плазматскиот зрак од бор, фосфор и арсен до одредена енергија, а потоа негово инјектирање во површинскиот слој на материјалот од плочката за да се променат својствата на материјалот на површинскиот слој. Компонентите на уредот за јонска имплантација треба да бидат изработени од материјали со висока чистота со одлична отпорност на топлина, топлинска спроводливост, помала корозија предизвикана од јонски зрак и ниска содржина на нечистотии. Графитот со висока чистота ги исполнува барањата за примена и може да се користи за цевки за лет, разни процепи, електроди, капаци на електроди, цевки, терминатори на зраци итн. на опрема за јонска имплантација.
Можеме да обезбедиме не само графитна заштита за разни машини за јонска имплантација, туку и високочисти графитни електроди и јонски извори со висока отпорност на корозија со различни спецификации. Применливи модели: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM и друга опрема. Покрај тоа, можеме да обезбедиме и соодветни керамички, волфрамски, молибденски, алуминиумски производи и обложени делови.
04 Графитни изолациски материјали и други
Материјалите за топлинска изолација што се користат во опремата за производство на полупроводници вклучуваат графитен тврд филц, мек филц, графитна фолија, графитна хартија и графитно јаже.
Сите наши суровини се увезен графит, кој може да се сече според специфичната големина на барањата на клиентот или да се продава како целина.
Јаглерод-јаглеродната подлога се користи како носач за филмска облога во процесот на производство на соларни монокристални силициумски и поликристални силициумски ќелии. Принципот на работа е: вметнете го силиконскиот чип во подлогата од CFC и испратете го во цевката на печката за да се обработи филмската облога.
