La postuloj de la duonkonduktaĵa industrio pri grafito estas aparte altaj. La fajna partikla grandeco de grafito havas altan precizecon, altan temperaturreziston, altan forton, malgrandan perdon kaj aliajn avantaĝojn, kiel ekzemple: sinteritaj grafitoproduktoj estas muldiloj.Ĉar la grafita ekipaĵo uzata en la duonkondukta industrio (inkluzive de hejtiloj kaj iliaj sinteritaj ŝimoj) devas elteni ripetajn hejtajn kaj malvarmigajn procezojn, por plilongigi la servodaŭron de grafita ekipaĵo, kutime necesas, ke la uzataj grafitaj materialoj havu stabilan funkciadon kaj varmorezistan efikon.
01 Grafitaj akcesoraĵoj por kresko de duonkonduktaĵaj kristaloj
Ĉiuj procezoj uzataj por kreskigi duonkonduktaĵajn kristalojn funkcias sub altaj temperaturoj kaj korodaj medioj. La varma zono de kristalkreskiga forno kutime estas ekipita per varmorezistaj kaj korodorezistaj altpurecaj grafitaj komponantoj, kiel ekzemple hejtilo, krisolo, izola cilindro, gvidcilindro, elektrodo, krisolo-tenilo, elektroda nukso, ktp.
Ni povas fabriki ĉiujn grafitajn partojn de kristalaj produktadaj aparatoj, kiuj povas esti liveritaj individue aŭ en aroj, aŭ personecigitajn grafitajn partojn de diversaj grandecoj laŭ la bezonoj de la kliento. La grandeco de la produktoj povas esti mezurata surloke, kaj la cindroenhavo de la finitaj produktoj povas esti malpli.ol 5 ppm.
02 Grafitaj akcesoraĵoj por duonkondukta epitaksio
Epitaksia procezo rilatas al la kresko de tavolo de unu-kristala materialo kun la sama kradaranĝo kiel la substrato sur la unu-kristala substrato. En la epitaksia procezo, la silo estas ŝarĝita sur la grafitan diskon. La rendimento kaj kvalito de la grafita disko ludas gravan rolon en la kvalito de la epitaksia tavolo de la silo. En la kampo de epitaksia produktado, multe da ultra-pureca grafito kaj alt-pureca grafita bazo kun SIC-tegaĵo estas bezonataj.
La grafita bazo de nia kompanio por duonkonduktaĵa epitaksio havas vastan gamon da aplikoj, povas kongrui kun la plej multaj ofte uzataj ekipaĵoj en la industrio, kaj havas altan purecon, unuforman tegaĵon, bonegan servodaŭron, kaj altan kemian reziston kaj termikan stabilecon.
03 Grafitaj akcesoraĵoj por jona implantado
Jona implantado rilatas al la procezo de akcelo de la plasmofasko de boro, fosforo kaj arseno ĝis certa energio, kaj poste injektado de ĝi en la surfacan tavolon de la skvama materialo por ŝanĝi la materialajn ecojn de la surfaca tavolo. La komponantoj de la jona implanta aparato devas esti faritaj el altpurecaj materialoj kun bonega varmorezisto, varmokondukteco, malpli da korodo kaŭzita de jona fasko kaj malalta malpuraĵa enhavo. Altpureca grafito plenumas la aplikajn postulojn kaj povas esti uzata por la flugtubo, diversaj fendoj, elektrodoj, elektrodkovriloj, konduktiloj, faskofiniloj, ktp. de jona implanta ekipaĵo.
Ni povas ne nur provizi grafitan ŝirmkovrilon por diversaj jonaj implantaĵmaŝinoj, sed ankaŭ provizi altpurecajn grafitajn elektrodojn kaj jonfontojn kun alta korodrezisto de diversaj specifoj. Aplikeblaj modeloj: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM kaj aliaj ekipaĵoj. Krome, ni ankaŭ povas provizi kongruajn ceramikajn, volframajn, molibdenajn, aluminiajn produktojn kaj tegitajn partojn.
04 Grafitaj izolaj materialoj kaj aliaj
Termikaj izolaj materialoj uzataj en semikonduktaĵaj produktadekipaĵoj inkluzivas grafitan malmolan felton, molan felton, grafitan folion, grafitan paperon kaj grafitan ŝnuron.
Ĉiuj niaj krudmaterialoj estas importita grafito, kiu povas esti tranĉita laŭ la specifa grandeco de la postuloj de la kliento aŭ vendita kiel tuto.
La karbon-karbona pleto estas uzata kiel portanto por filmtegaĵo en la produktada procezo de sunaj monokristalaj silicio- kaj polikristalaj silicio-ĉeloj. La funkciprincipo estas: enigu la silician peceton en la CFC-pleton kaj sendu ĝin en la forntubon por prilabori la filmtegaĵon.
