Yêu cầu về vật liệu than chì của ngành công nghiệp bán dẫn đặc biệt cao, kích thước hạt mịn của than chì có độ chính xác cao, khả năng chịu nhiệt độ cao, độ bền cao, tổn thất nhỏ và các ưu điểm khác, chẳng hạn như: khuôn sản phẩm than chì thiêu kết.Do thiết bị graphite được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn (bao gồm cả máy sưởi và khuôn thiêu kết của chúng) phải chịu được các quá trình gia nhiệt và làm mát lặp đi lặp lại nên để kéo dài tuổi thọ của thiết bị graphite, thường yêu cầu vật liệu graphite được sử dụng phải có hiệu suất ổn định và chức năng chịu nhiệt, chịu va đập.
01 Phụ kiện Graphite cho quá trình phát triển tinh thể bán dẫn
Tất cả các quy trình sử dụng để nuôi tinh thể bán dẫn đều hoạt động trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn. Vùng nóng của lò nuôi tinh thể thường được trang bị các thành phần than chì có độ tinh khiết cao chịu nhiệt và chống ăn mòn, chẳng hạn như lò sưởi, nồi nấu, xi lanh cách điện, xi lanh dẫn hướng, điện cực, giá đỡ nồi nấu, đai ốc điện cực, v.v.
Chúng tôi có thể sản xuất tất cả các bộ phận than chì của thiết bị sản xuất tinh thể, có thể được cung cấp riêng lẻ hoặc theo bộ, hoặc các bộ phận than chì tùy chỉnh có nhiều kích cỡ khác nhau theo yêu cầu của khách hàng. Kích thước của sản phẩm có thể được đo tại chỗ và hàm lượng tro của thành phẩm có thể ít hơnhơn 5ppm.
02 Phụ kiện Graphite cho epitaxy bán dẫn
Quá trình epitaxial đề cập đến sự phát triển của một lớp vật liệu tinh thể đơn có cùng sự sắp xếp mạng như chất nền trên chất nền tinh thể đơn. Trong quá trình epitaxial, wafer được tải trên đĩa than chì. Hiệu suất và chất lượng của đĩa than chì đóng vai trò quan trọng trong chất lượng của lớp epitaxial của wafer. Trong lĩnh vực sản xuất epitaxial, cần rất nhiều than chì có độ tinh khiết cực cao và than chì có độ tinh khiết cao với lớp phủ SIC.
Cơ sở than chì của công ty chúng tôi dùng cho epitaxy bán dẫn có nhiều ứng dụng, có thể phù hợp với hầu hết các thiết bị thông dụng trong ngành, có độ tinh khiết cao, lớp phủ đồng đều, tuổi thọ tuyệt vời, khả năng chống hóa chất và độ ổn định nhiệt cao.
03 Phụ kiện Graphite dùng cho cấy ion
Cấy ion là quá trình tăng tốc chùm tia plasma của boron, phốt pho và asen đến một năng lượng nhất định, sau đó tiêm vào lớp bề mặt của vật liệu wafer để thay đổi tính chất vật liệu của lớp bề mặt. Các thành phần của thiết bị cấy ion phải được làm bằng vật liệu có độ tinh khiết cao với khả năng chịu nhiệt tuyệt vời, độ dẫn nhiệt, ít bị ăn mòn do chùm ion và hàm lượng tạp chất thấp. Than chì có độ tinh khiết cao đáp ứng các yêu cầu ứng dụng và có thể được sử dụng cho ống bay, các khe hở khác nhau, điện cực, nắp điện cực, ống dẫn, đầu cuối chùm tia, v.v. của thiết bị cấy ion.
Chúng tôi không chỉ có thể cung cấp vỏ che chắn graphite cho nhiều loại máy cấy ion mà còn cung cấp điện cực graphite và nguồn ion có độ tinh khiết cao với khả năng chống ăn mòn cao theo nhiều thông số kỹ thuật khác nhau. Các model áp dụng: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM và các thiết bị khác. Ngoài ra, chúng tôi cũng có thể cung cấp các sản phẩm gốm, vonfram, molypden, nhôm và các bộ phận phủ phù hợp.
04 Vật liệu cách nhiệt graphite và các loại khác
Vật liệu cách nhiệt được sử dụng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn bao gồm nỉ cứng graphite, nỉ mềm, lá graphite, giấy graphite và dây graphite.
Tất cả nguyên liệu thô của chúng tôi đều là than chì nhập khẩu, có thể cắt theo kích thước cụ thể theo yêu cầu của khách hàng hoặc bán nguyên chiếc.
Khay cacbon-cacbon được sử dụng làm vật mang cho lớp phủ màng trong quá trình sản xuất pin mặt trời đơn tinh thể và đa tinh thể silic. Nguyên lý hoạt động là: đưa chip silic vào khay CFC và đưa vào ống lò để xử lý lớp phủ màng.
