Kërkesat e industrisë gjysmëpërçuese për materiale grafiti janë veçanërisht të larta, madhësia e grimcave të imëta të grafitit ka saktësi të lartë, rezistencë ndaj temperaturës së lartë, forcë të lartë, humbje të vogla dhe avantazhe të tjera, të tilla si: produktet e grafitit të sinterizuar për myk.Meqenëse pajisjet e grafitit të përdorura në industrinë e gjysmëpërçuesve (duke përfshirë ngrohësit dhe matricat e tyre të sinterizuara) duhet t'i rezistojnë proceseve të përsëritura të ngrohjes dhe ftohjes, për të zgjatur jetëgjatësinë e pajisjeve të grafitit, zakonisht kërkohet që materialet e grafitit të përdorura të kenë performancë të qëndrueshme dhe funksion rezistent ndaj ndikimit të nxehtësisë.
01 Pajisje shtesë grafiti për rritjen e kristaleve gjysmëpërçuese
Të gjitha proceset e përdorura për të rritur kristale gjysmëpërçuese funksionojnë në temperatura të larta dhe mjedise korrozive. Zona e nxehtë e furrës së rritjes së kristaleve zakonisht është e pajisur me komponentë grafiti me pastërti të lartë rezistentë ndaj nxehtësisë dhe korrozionit, të tilla si ngrohës, enë shpimi, cilindri izolues, cilindri udhëzues, elektroda, mbajtësja e enës shpimi, arra e elektrodës etj.
Ne mund të prodhojmë të gjitha pjesët grafiti të pajisjeve të prodhimit të kristaleve, të cilat mund të furnizohen individualisht ose në grupe, ose pjesë grafiti të personalizuara të madhësive të ndryshme sipas kërkesave të klientit. Madhësia e produkteve mund të matet në vend, dhe përmbajtja e hirit të produkteve të gatshme mund të jetë më e vogël.se 5 ppm.
02 Pajisje shtesë grafiti për epitaksi gjysmëpërçuese
Procesi epitaksial i referohet rritjes së një shtrese materiali monokristali me të njëjtën rregullim rrjete si substrati në substratin monokristali. Në procesin epitaksial, pllaka ngarkohet në diskun e grafitit. Performanca dhe cilësia e diskut të grafitit luajnë një rol jetësor në cilësinë e shtresës epitaksiale të pllakës. Në fushën e prodhimit epitaksial, nevojitet shumë grafit me pastërti ultra të lartë dhe bazë grafiti me pastërti të lartë me veshje SIC.
Baza e grafitit e kompanisë sonë për epitaksi gjysmëpërçuese ka një gamë të gjerë aplikimesh, mund të përputhet me shumicën e pajisjeve të përdorura zakonisht në industri dhe ka pastërti të lartë, veshje uniforme, jetëgjatësi të shkëlqyer shërbimi, rezistencë të lartë kimike dhe stabilitet termik.
03 Aksesorë grafiti për implantimin e joneve
Implantimi jonik i referohet procesit të përshpejtimit të rrezes së plazmës së borit, fosforit dhe arsenikut në një energji të caktuar, dhe më pas injektimit të saj në shtresën sipërfaqësore të materialit të pllakës për të ndryshuar vetitë materiale të shtresës sipërfaqësore. Komponentët e pajisjes së implantimit jonik duhet të jenë të bërë nga materiale me pastërti të lartë me rezistencë të shkëlqyer ndaj nxehtësisë, përçueshmëri termike, më pak korrozion të shkaktuar nga rrezja jonike dhe përmbajtje të ulët papastërtish. Grafiti me pastërti të lartë përmbush kërkesat e aplikimit dhe mund të përdoret për tubin e fluturimit, çarje të ndryshme, elektroda, mbulesa elektrodash, kanale, terminatorë rrezesh etj. të pajisjeve të implantimit jonik.
Ne jo vetëm që mund të ofrojmë mbulesë mbrojtëse grafiti për makina të ndryshme implantimi jonik, por gjithashtu ofrojmë elektroda grafiti me pastërti të lartë dhe burime jonike me rezistencë të lartë ndaj korrozionit me specifikime të ndryshme. Modele të zbatueshme: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM dhe pajisje të tjera. Përveç kësaj, ne gjithashtu mund të ofrojmë produkte qeramike, tungsteni, molibdeni, alumini dhe pjesë të veshura që përputhen.
04 Materiale izoluese prej grafiti dhe të tjera
Materialet e izolimit termik të përdorura në pajisjet e prodhimit të gjysmëpërçuesve përfshijnë grafit të fortë, grafit të butë, fletë grafiti, letër grafiti dhe litar grafiti.
Të gjitha lëndët tona të para janë grafit i importuar, i cili mund të pritet sipas madhësisë specifike të kërkesave të klientit ose të shitet i plotë.
Tabaka karbon-karbon përdoret si bartës për veshjen e filmit në procesin e prodhimit të qelizave të silikonit monokristalin diellor dhe silikonit polikristalin. Parimi i punës është: futja e çipit të silikonit në tabaka CFC dhe dërgimi i tij në tubin e furrës për të përpunuar veshjen e filmit.
