متطلبات صناعة أشباه الموصلات لمتطلبات مادة الجرافيت عالية بشكل خاص، حجم الجسيمات الدقيقة من الجرافيت لديه دقة عالية، ومقاومة درجات الحرارة العالية، والقوة العالية، والخسارة الصغيرة وغيرها من المزايا، مثل: قالب منتجات الجرافيت المسحوق.نظرًا لأن معدات الجرافيت المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات (بما في ذلك السخانات وقوالبها الملبدة) مطلوبة لتحمل عمليات التسخين والتبريد المتكررة، فمن أجل إطالة عمر خدمة معدات الجرافيت، عادة ما يكون مطلوبًا أن تتمتع مواد الجرافيت المستخدمة بأداء مستقر ووظيفة مقاومة للحرارة.
01 ملحقات الجرافيت لنمو بلورات أشباه الموصلات
جميع عمليات نمو بلورات أشباه الموصلات تجري في بيئة عالية الحرارة والتآكل. عادةً ما تكون المنطقة الساخنة لفرن نمو البلورات مُجهزة بمكونات جرافيت عالية النقاء مقاومة للحرارة والتآكل، مثل السخان، والبوتقة، وأسطوانة العزل، وأسطوانة التوجيه، والقطب الكهربائي، وحامل البوتقة، وصمولة القطب الكهربائي، وغيرها.
يمكننا تصنيع جميع قطع الجرافيت المستخدمة في أجهزة إنتاج البلورات، والتي يمكن توريدها بشكل فردي أو مجموعات، أو تخصيص قطع الجرافيت بأحجام مختلفة وفقًا لمتطلبات العملاء. يمكن قياس حجم المنتجات في الموقع، ويمكن تقليل محتوى الرماد في المنتجات النهائية.أقل من 5 جزء في المليون.
02 ملحقات الجرافيت لتكوين طبقات شبه الموصلات
تشير عملية التراكب إلى نمو طبقة من مادة بلورية أحادية بنفس ترتيب الشبكة الركيزة على هذه الطبقة. في هذه العملية، تُحمّل الرقاقة على قرص الجرافيت. يلعب أداء وجودة قرص الجرافيت دورًا حيويًا في جودة الطبقة التراكبية للرقاقة. في مجال إنتاج التراكب، هناك حاجة إلى كميات كبيرة من الجرافيت فائق النقاء وقاعدة الجرافيت عالية النقاء المطلية بطبقة SIC.
تتمتع قاعدة الجرافيت الخاصة بشركتنا لطبقة أشباه الموصلات بمجموعة واسعة من التطبيقات، ويمكن أن تتطابق مع معظم المعدات المستخدمة بشكل شائع في الصناعة، وتتمتع بنقاء عالي وطلاء موحد وعمر خدمة ممتاز ومقاومة كيميائية عالية واستقرار حراري.
03 ملحقات الجرافيت لزراعة الأيونات
يشير زرع الأيونات إلى عملية تسريع حزمة بلازما البورون والفوسفور والزرنيخ إلى طاقة معينة، ثم حقنها في الطبقة السطحية لمادة الرقاقة لتغيير خصائصها المادية. يجب أن تُصنع مكونات جهاز زرع الأيونات من مواد عالية النقاء، تتميز بمقاومة ممتازة للحرارة، وموصلية حرارية، ومقاومة أقل للتآكل الناتج عن حزمة الأيونات، ومحتوى منخفض من الشوائب. يلبي الجرافيت عالي النقاء متطلبات التطبيق، ويمكن استخدامه في أنبوب الطيران، والشقوق المختلفة، والأقطاب الكهربائية، وأغطية الأقطاب الكهربائية، والقنوات، ومُنهيات الحزمة، وغيرها من معدات زرع الأيونات.
لا يقتصر عملنا على توفير غطاء حماية من الجرافيت لمختلف أجهزة زرع الأيونات فحسب، بل نوفر أيضًا أقطاب جرافيت عالية النقاء ومصادر أيونات عالية المقاومة للتآكل بمواصفات متنوعة. الطرز المناسبة: إيتون، أزسيليس، كواتوم، فاريان، نيسين، أمات، لام، وغيرها من المعدات. كما نوفر أيضًا منتجات السيراميك والتنغستن والموليبدينوم والألمنيوم والأجزاء المطلية المتوافقة.
04 مواد عزل الجرافيت وغيرها
تشتمل مواد العزل الحراري المستخدمة في معدات إنتاج أشباه الموصلات على اللباد الصلب المصنوع من الجرافيت، واللباد الناعم، ورقائق الجرافيت، وورق الجرافيت، وحبل الجرافيت.
جميع المواد الخام لدينا هي الجرافيت المستورد، والتي يمكن قطعها وفقا للحجم المحدد لمتطلبات العميل أو بيعها ككل.
تُستخدم صينية الكربون-الكربون كحامل لطلاء الغشاء في عملية إنتاج خلايا السيليكون أحادية البلورة الشمسية ومتعددة البلورات. مبدأ العمل هو: إدخال رقاقة السيليكون في صينية مركبات الكلوروفلوروكربون، ثم إرسالها إلى أنبوب الفرن لمعالجة طلاء الغشاء.
