De easken foar grafytmateriaal yn 'e healgeleideryndustry binne benammen heech. De fyn dieltsjegrutte fan grafyt hat hege presyzje, hege temperatuerresistinsje, hege sterkte, lyts ferlies en oare foardielen, lykas: sintere grafytprodukten yn skimmels.Omdat de grafytapparatuer dy't brûkt wurdt yn 'e healgeleideryndustry (ynklusyf ferwaarmingsapparatuer en har sinterde matrijzen) ferplicht is om werhelle ferwaarmings- en koelprosessen te wjerstean, is it meastentiids fereaske dat de brûkte grafytmaterialen stabile prestaasjes en waarmtebestindige ynfloedfunksje hawwe om de libbensdoer fan grafytapparatuer te ferlingjen.
01 Grafytaccessoires foar healgeleiderkristalgroei
Alle prosessen dy't brûkt wurde om healgeleiderkristallen te groeien, wurkje ûnder hege temperatuer en korrosive omjouwing. De hjitte sône fan 'e kristalgroeioven is meastentiids foarsjoen fan hjittebestindige en korrosjebestindige grafytkomponinten mei hege suverens, lykas in ferwaarmingsapparaat, kroes, isolaasjesilinder, liedingsilinder, elektrode, kroeshâlder, elektrodemoer, ensfh.
Wy kinne alle grafytûnderdielen fan kristalproduksjeapparaten produsearje, dy't yndividueel of yn sets levere wurde kinne, of oanpaste grafytûnderdielen fan ferskate maten neffens klanteasken. De grutte fan produkten kin op lokaasje metten wurde, en it jiskegehalte fan ôfmakke produkten kin minder wêze.as 5ppm.
02 Grafytaccessoires foar healgeleider-epitaxy
Epitaksiale prosessen ferwize nei de groei fan in laach ienkristalmateriaal mei deselde roasterrangskikking as it substraat op it ienkristalsubstraat. Yn it epitaksiale proses wurdt de wafer op 'e grafytskiif laden. De prestaasjes en kwaliteit fan 'e grafytskiif spylje in wichtige rol yn 'e kwaliteit fan 'e epitaksiale laach fan 'e wafer. Op it mêd fan epitaksiale produksje binne in soad ultra-heechsuvere grafyt en heechsuvere grafytbasis mei SIC-coating nedich.
De grafytbasis fan ús bedriuw foar healgeleider-epitaxy hat in breed skala oan tapassingen, kin oerienkomme mei de measte fan 'e faak brûkte apparatuer yn' e yndustry, en hat hege suverens, unifoarme coating, poerbêste libbensdoer, en hege gemyske wjerstân en termyske stabiliteit.
03 Grafytaccessoires foar ionymplantaasje
Ionenymplantaasje ferwiist nei it proses fan it fersnellen fan 'e plasmastriel fan boar, fosfor en arseen nei in bepaalde enerzjy, en it dan ynjeksjearjen dêrfan yn 'e oerflaklaach fan it wafermateriaal om de materiaaleigenskippen fan 'e oerflaklaach te feroarjen. De ûnderdielen fan it ionenymplantaasjeapparaat moatte makke wurde fan materialen mei hege suverens mei poerbêste waarmtebestriding, termyske gelieding, minder korrosje feroarsake troch ionenstriel en leech ûnreinheidsgehalte. Heech suverens grafyt foldocht oan 'e tapassingseasken, en kin brûkt wurde foar de flechtbuis, ferskate sleuven, elektroden, elektrodedeksels, liedingen, strielterminators, ensfh. fan ionenymplantaasjeapparatuer.
Wy kinne net allinich grafytbeskerming leverje foar ferskate ionimplantaasjemasines, mar ek grafytelektroden mei hege suverens en ionboarnen mei hege korrosjebestriding fan ferskate spesifikaasjes. Tapasselike modellen: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM en oare apparatuer. Derneist kinne wy ek oerienkommende keramyk, wolfraam, molybdeen, aluminiumprodukten en bedekte ûnderdielen leverje.
04 Grafyt isolaasjematerialen en oaren
Termyske isolaasjematerialen dy't brûkt wurde yn apparatuer foar healgeleiderproduksje omfetsje grafythurdfilt, sêftfilt, grafytfolie, grafytpapier en grafyttou.
Al ús grûnstoffen binne ymportearre grafyt, dat kin wurde snien neffens de spesifike grutte fan 'e easken fan' e klant of as gehiel ferkocht.
De koalstof-koalstoflade wurdt brûkt as drager foar filmcoating yn it produksjeproses fan sinne-monokristallijne silisium- en polykristallijne silisiumsellen. It wurkprinsipe is: ynfoegje de silisiumchip yn 'e CFK-lade en stjoer it nei de ovenbuis om de filmcoating te ferwurkjen.
