Կիսահաղորդչային արդյունաբերության գրաֆիտային նյութերի պահանջները հատկապես բարձր են, գրաֆիտի մանր մասնիկների չափսը բարձր ճշգրտություն, բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն, բարձր ամրություն, փոքր կորուստներ և այլ առավելություններ, ինչպիսիք են՝ սինթերացված գրաֆիտային արտադրանքի ձուլումը։Քանի որ կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ օգտագործվող գրաֆիտային սարքավորումները (ներառյալ ջեռուցիչները և դրանց սինթեզված մամլիչները) պետք է դիմակայեն կրկնվող տաքացման և սառեցման գործընթացներին, գրաֆիտային սարքավորումների ծառայության ժամկետը երկարացնելու համար սովորաբար պահանջվում է, որ օգտագործվող գրաֆիտային նյութերը ունենան կայուն աշխատանք և ջերմակայուն հարվածային ֆունկցիա։
01 Գրաֆիտային պարագաներ կիսահաղորդչային բյուրեղների աճեցման համար
Կիսահաղորդչային բյուրեղների աճեցման համար օգտագործվող բոլոր գործընթացները տեղի են ունենում բարձր ջերմաստիճանի և կոռոզիոն միջավայրում: Բյուրեղների աճեցման վառարանի տաք գոտին սովորաբար հագեցած է ջերմակայուն և կոռոզիոն դիմացկուն բարձր մաքրության գրաֆիտային բաղադրիչներով, ինչպիսիք են ջեռուցիչը, հալոցքը, մեկուսացման գլանը, ուղղորդող գլանը, էլեկտրոդը, հալոցքի պահիչը, էլեկտրոդի պտուտակը և այլն:
Մենք կարող ենք արտադրել բյուրեղների արտադրության սարքերի բոլոր գրաֆիտային մասերը, որոնք կարող են մատակարարվել անհատապես կամ հավաքածուներով, կամ պատվիրատուի պահանջներին համապատասխան՝ տարբեր չափերի գրաֆիտային մասեր։ Արտադրանքի չափը կարող է չափվել տեղում, և պատրաստի արտադրանքի մոխրի պարունակությունը կարող է ավելի քիչ լինել։քան 5 ppm:
02 Գրաֆիտային պարագաներ կիսահաղորդչային էպիտաքսիայի համար
Էպիտաքսիալ գործընթացը վերաբերում է միաբյուրեղային նյութի շերտի աճեցմանը, որը նույն ցանցային դասավորությունն ունի, ինչ միաբյուրեղային հիմքը։ Էպիտաքսիալ գործընթացում վաֆլին տեղադրվում է գրաֆիտային սկավառակի վրա։ Գրաֆիտային սկավառակի աշխատանքը և որակը կարևոր դեր են խաղում վաֆլիի էպիտաքսիալ շերտի որակի մեջ։ Էպիտաքսիալ արտադրության ոլորտում անհրաժեշտ է մեծ քանակությամբ գերբարձր մաքրության գրաֆիտ և բարձր մաքրության գրաֆիտային հիմք՝ SIC ծածկույթով։
Մեր ընկերության կիսահաղորդչային էպիտաքսիայի համար նախատեսված գրաֆիտային հիմքն ունի լայն կիրառություն, կարող է համապատասխանել արդյունաբերության մեջ լայնորեն օգտագործվող սարքավորումների մեծ մասին և ունի բարձր մաքրություն, միատարր ծածկույթ, գերազանց ծառայության ժամկետ, ինչպես նաև բարձր քիմիական դիմադրություն և ջերմային կայունություն։
03 Գրաֆիտային պարագաներ իոնային իմպլանտացիայի համար
Իոնային իմպլանտացիան վերաբերում է բորի, ֆոսֆորի և մկնդեղի պլազմային փնջի որոշակի էներգիայի արագացման գործընթացին, ապա դրա ներարկմանը վաֆլի նյութի մակերեսային շերտի մեջ՝ մակերեսային շերտի նյութական հատկությունները փոխելու համար: Իոնային իմպլանտացիայի սարքի բաղադրիչները պետք է պատրաստված լինեն բարձր մաքրության նյութերից՝ գերազանց ջերմակայունությամբ, ջերմահաղորդականությամբ, իոնային փնջից առաջացող քիչ կոռոզիայով և ցածր խառնուրդների պարունակությամբ: Բարձր մաքրության գրաֆիտը համապատասխանում է կիրառման պահանջներին և կարող է օգտագործվել իոնային իմպլանտացիայի սարքավորումների թռիչքային խողովակների, տարբեր ճեղքերի, էլեկտրոդների, էլեկտրոդների ծածկոցների, խողովակների, փնջի վերջնիչների և այլնի համար:
Մենք կարող ենք ոչ միայն ապահովել գրաֆիտային պաշտպանիչ ծածկույթ տարբեր իոնային իմպլանտացիայի մեքենաների համար, այլև ապահովել բարձր մաքրության գրաֆիտային էլեկտրոդներ և իոնային աղբյուրներ՝ տարբեր բնութագրերով բարձր կոռոզիոն դիմադրությամբ: Կիրառելի մոդելներ՝ Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM և այլ սարքավորումներ: Բացի այդ, մենք կարող ենք նաև ապահովել համապատասխան կերամիկական, վոլֆրամային, մոլիբդենային, ալյումինե արտադրանք և պատված մասեր:
04 Գրաֆիտային մեկուսիչ նյութեր և այլն
Կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումներում օգտագործվող ջերմամեկուսիչ նյութերից են գրաֆիտային կարծր թաղիքները, փափուկ թաղիքները, գրաֆիտային փայլաթիթեղը, գրաֆիտային թուղթը և գրաֆիտային պարանները։
Մեր բոլոր հումքները ներմուծված գրաֆիտ են, որը կարող է կտրվել հաճախորդի պահանջներին համապատասխան կամ վաճառվել ամբողջությամբ։
Ածխածնային-ածխածնային սկուտեղը օգտագործվում է որպես թաղանթային ծածկույթի կրող արևային մոնոբյուրեղային սիլիցիումի և պոլիբյուրեղային սիլիցիումի բջիջների արտադրության գործընթացում: Աշխատանքային սկզբունքն է. սիլիցիումային չիպը տեղադրեք CFC սկուտեղի մեջ և ուղարկեք այն վառարանի խողովակի մեջ՝ թաղանթային ծածկույթը մշակելու համար:
