ग्रेफाइट सामग्रीको लागि अर्धचालक उद्योग आवश्यकताहरू विशेष गरी उच्च छन्, ग्रेफाइटको सूक्ष्म कण आकारमा उच्च परिशुद्धता, उच्च तापक्रम प्रतिरोध, उच्च शक्ति, सानो क्षति र अन्य फाइदाहरू छन्, जस्तै: सिन्टर्ड ग्रेफाइट उत्पादन मोल्ड।अर्धचालक उद्योगमा प्रयोग हुने ग्रेफाइट उपकरणहरू (हीटरहरू र तिनीहरूको सिन्टर्ड डाइज सहित) बारम्बार तताउने र चिसो पार्ने प्रक्रियाहरू सामना गर्न आवश्यक हुने भएकाले, ग्रेफाइट उपकरणहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्न, सामान्यतया प्रयोग गरिने ग्रेफाइट सामग्रीहरूको प्रदर्शन स्थिर र ताप प्रतिरोधी हुनु आवश्यक हुन्छ।
०१ अर्धचालक क्रिस्टल वृद्धिको लागि ग्रेफाइट सामानहरू
अर्धचालक क्रिस्टलहरू बढाउन प्रयोग गरिने सबै प्रक्रियाहरू उच्च तापक्रम र संक्षारक वातावरणमा सञ्चालन हुन्छन्। क्रिस्टल वृद्धि भट्टीको तातो क्षेत्र सामान्यतया ताप-प्रतिरोधी र संक्षारक-प्रतिरोधी उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट घटकहरू, जस्तै हीटर, क्रुसिबल, इन्सुलेशन सिलिन्डर, गाइड सिलिन्डर, इलेक्ट्रोड, क्रुसिबल होल्डर, इलेक्ट्रोड नट, आदिले सुसज्जित हुन्छ।
हामी क्रिस्टल उत्पादन उपकरणहरूका सबै ग्रेफाइट भागहरू निर्माण गर्न सक्छौं, जुन व्यक्तिगत रूपमा वा सेटहरूमा आपूर्ति गर्न सकिन्छ, वा ग्राहकको आवश्यकता अनुसार विभिन्न आकारका अनुकूलित ग्रेफाइट भागहरू। उत्पादनहरूको आकार साइटमा मापन गर्न सकिन्छ, र तयार उत्पादनहरूको खरानी सामग्री कम हुन सक्छ।५ppm भन्दा।
अर्धचालक एपिटाक्सीको लागि ०२ ग्रेफाइट सामानहरू
एपिटेक्सियल प्रक्रियाले एकल क्रिस्टल सब्सट्रेटमा सब्सट्रेट जस्तै जाली व्यवस्था भएको एकल क्रिस्टल सामग्रीको तहको वृद्धिलाई जनाउँछ। एपिटेक्सियल प्रक्रियामा, वेफर ग्रेफाइट डिस्कमा लोड हुन्छ। ग्रेफाइट डिस्कको प्रदर्शन र गुणस्तरले वेफरको एपिटेक्सियल तहको गुणस्तरमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। एपिटेक्सियल उत्पादनको क्षेत्रमा, धेरै अल्ट्रा-उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र SIC कोटिंगको साथ उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आधार आवश्यक पर्दछ।
हाम्रो कम्पनीको अर्धचालक एपिटाक्सीको लागि ग्रेफाइट आधारमा अनुप्रयोगहरूको विस्तृत दायरा छ, उद्योगमा सामान्यतया प्रयोग हुने अधिकांश उपकरणहरूसँग मेल खान सक्छ, र उच्च शुद्धता, एकसमान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन, र उच्च रासायनिक प्रतिरोध र थर्मल स्थिरता छ।
०३ आयन प्रत्यारोपणको लागि ग्रेफाइट सामानहरू
आयन इम्प्लान्टेसनले बोरोन, फस्फोरस र आर्सेनिकको प्लाज्मा बीमलाई निश्चित ऊर्जामा तीव्र पार्ने प्रक्रियालाई जनाउँछ, र त्यसपछि सतह तहको भौतिक गुणहरू परिवर्तन गर्न वेफर सामग्रीको सतह तहमा इन्जेक्ट गर्ने प्रक्रियालाई जनाउँछ। आयन इम्प्लान्टेसन उपकरणका घटकहरू उत्कृष्ट ताप प्रतिरोध, थर्मल चालकता, आयन बीमको कारणले कम क्षरण र कम अशुद्धता सामग्री भएको उच्च-शुद्धता सामग्रीबाट बनेका हुनुपर्छ। उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटले अनुप्रयोग आवश्यकताहरू पूरा गर्दछ, र आयन इम्प्लान्टेसन उपकरणहरूको उडान ट्यूब, विभिन्न स्लिटहरू, इलेक्ट्रोडहरू, इलेक्ट्रोड कभरहरू, कन्ड्युटहरू, बीम टर्मिनेटरहरू, आदिको लागि प्रयोग गर्न सकिन्छ।
हामी विभिन्न आयन इम्प्लान्टेसन मेसिनहरूको लागि ग्रेफाइट शिल्डिंग कभर मात्र प्रदान गर्न सक्दैनौं, तर विभिन्न विशिष्टताहरूको उच्च जंग प्रतिरोधको साथ उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट इलेक्ट्रोडहरू र आयन स्रोतहरू पनि प्रदान गर्न सक्छौं। लागू हुने मोडेलहरू: ईटन, एजसेलिस, क्वाटम, भेरियन, निसिन, एएमएटी, एलएएम र अन्य उपकरणहरू। यसको अतिरिक्त, हामी मिल्दो सिरेमिक, टंगस्टन, मोलिब्डेनम, एल्युमिनियम उत्पादनहरू र लेपित भागहरू पनि प्रदान गर्न सक्छौं।
०४ ग्रेफाइट इन्सुलेशन सामग्री र अन्य
अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूमा प्रयोग हुने थर्मल इन्सुलेशन सामग्रीहरूमा ग्रेफाइट हार्ड फेल्ट, नरम फेल्ट, ग्रेफाइट पन्नी, ग्रेफाइट पेपर, र ग्रेफाइट डोरी समावेश छन्।
हाम्रा सबै कच्चा पदार्थहरू आयातित ग्रेफाइट हुन्, जुन ग्राहकको आवश्यकताको विशिष्ट आकार अनुसार काट्न सकिन्छ वा सम्पूर्ण रूपमा बेच्न सकिन्छ।
सौर्य मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकन र पोलिक्रिस्टलाइन सिलिकन सेलहरूको उत्पादन प्रक्रियामा कार्बन-कार्बन ट्रेलाई फिल्म कोटिंगको लागि वाहकको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। काम गर्ने सिद्धान्त यो हो: सिलिकन चिपलाई CFC ट्रेमा घुसाउनुहोस् र फिल्म कोटिंग प्रशोधन गर्न फर्नेस ट्यूबमा पठाउनुहोस्।
