Yarı iletken endüstrisinin grafit malzeme gereksinimleri özellikle yüksektir, grafitin ince parçacık boyutu yüksek hassasiyete, yüksek sıcaklık direncine, yüksek mukavemete, küçük kayba ve diğer avantajlara sahiptir, örneğin: sinterlenmiş grafit ürünleri kalıp.Yarı iletken endüstrisinde kullanılan grafit ekipmanlarının (ısıtıcılar ve sinterlenmiş kalıpları dahil) tekrarlanan ısıtma ve soğutma işlemlerine dayanması gerektiğinden, grafit ekipmanlarının kullanım ömrünü uzatmak için genellikle kullanılan grafit malzemelerin kararlı performansa ve ısıya dayanıklı darbe fonksiyonuna sahip olması gerekir.
01 Yarı iletken kristal büyümesi için grafit aksesuarları
Yarı iletken kristalleri büyütmek için kullanılan tüm işlemler yüksek sıcaklık ve aşındırıcı ortam altında çalışır. Kristal büyütme fırınının sıcak bölgesi genellikle ısıtıcı, pota, yalıtım silindiri, kılavuz silindiri, elektrot, pota tutucu, elektrot somunu vb. gibi ısıya ve korozyona dayanıklı yüksek saflıkta grafit bileşenlerle donatılmıştır.
Kristal üretim cihazlarının tüm grafit parçalarını, tek tek veya setler halinde tedarik edilebilir veya müşteri gereksinimlerine göre çeşitli boyutlarda özelleştirilmiş grafit parçaları üretebiliriz. Ürünlerin boyutu yerinde ölçülebilir ve bitmiş ürünlerin kül içeriği daha az olabilir5ppm'den fazla.
02 Yarı iletken epitaksi için grafit aksesuarları
Epitaksiyel işlem, tek kristal alt tabaka üzerinde alt tabaka ile aynı kafes düzenlemesine sahip tek kristal malzeme katmanının büyümesini ifade eder. Epitaksiyel işlemde, gofret grafit diske yüklenir. Grafit diskin performansı ve kalitesi, gofretin epitaksiyel tabakasının kalitesinde hayati bir rol oynar. Epitaksiyel üretim alanında, çok sayıda ultra yüksek saflıkta grafit ve SIC kaplamalı yüksek saflıkta grafit tabanına ihtiyaç duyulur.
Firmamızın yarı iletken epitaksi için ürettiği grafit taban, geniş bir uygulama yelpazesine sahip olup, sektörde yaygın olarak kullanılan ekipmanların çoğuyla eşleşebilmekte, yüksek saflıkta, homojen kaplamalı, mükemmel hizmet ömrüne ve yüksek kimyasal dirence ve termal kararlılığa sahiptir.
03 İyon implantasyonu için grafit aksesuarlar
İyon aşılama, bor, fosfor ve arsenik plazma ışınını belirli bir enerjiye hızlandırma ve ardından onu gofret malzemesinin yüzey katmanına enjekte ederek yüzey katmanının malzeme özelliklerini değiştirme sürecini ifade eder. İyon aşılama cihazının bileşenleri, mükemmel ısı direncine, ısıl iletkenliğe, iyon ışınının neden olduğu daha az korozyona ve düşük safsızlık içeriğine sahip yüksek saflıkta malzemelerden yapılmalıdır. Yüksek saflıkta grafit uygulama gereksinimlerini karşılar ve iyon aşılama ekipmanının uçuş tüpü, çeşitli yarıkları, elektrotları, elektrot kapakları, kanalları, ışın sonlandırıcıları vb. için kullanılabilir.
Çeşitli iyon implantasyon makineleri için sadece grafit koruma kılıfı sağlamakla kalmıyoruz, aynı zamanda çeşitli özelliklerde yüksek korozyon direncine sahip yüksek saflıkta grafit elektrotlar ve iyon kaynakları da sağlıyoruz. Uygulanabilir modeller: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ve diğer ekipmanlar. Ayrıca eşleşen seramik, tungsten, molibden, alüminyum ürünleri ve kaplamalı parçalar da sağlayabiliriz.
04 Grafit yalıtım malzemeleri ve diğerleri
Yarı iletken üretim ekipmanlarında kullanılan ısı yalıtım malzemeleri arasında grafit sert keçe, yumuşak keçe, grafit folyo, grafit kağıt ve grafit ip yer almaktadır.
Tüm hammaddelerimiz ithal grafit olup, müşterinin özel ihtiyaçlarına göre kesilebilir veya bütün olarak satılabilir.
Karbon-karbon tepsisi, güneş monokristalin silikon ve polikristalin silikon hücrelerinin üretim sürecinde film kaplaması için taşıyıcı olarak kullanılır. Çalışma prensibi şudur: silikon çipi CFC tepsisine yerleştirin ve film kaplamasını işlemek için fırın tüpüne gönderin.
