Egzijans endistri semi-kondiktè yo pou materyèl grafit yo patikilyèman wo, gwosè patikil amann grafit la gen gwo presizyon, rezistans tanperati ki wo, gwo fòs, ti pèt ak lòt avantaj, tankou: mwazi pwodwi grafit sinterize.Paske ekipman grafit yo itilize nan endistri semi-kondiktè a (ki gen ladan aparèy chofaj ak mwazi sinterize yo) oblije reziste pwosesis chofaj ak refwadisman repete, pou pwolonje lavi sèvis ekipman grafit yo, li anjeneral nesesè pou materyèl grafit yo itilize yo gen yon pèfòmans ki estab ak yon fonksyon enpak rezistan a chalè.
01 Akseswa grafit pou kwasans kristal semi-kondiktè
Tout pwosesis yo itilize pou fè kristal semi-kondiktè grandi yo ap fonksyone anba tanperati ki wo ak yon anviwònman koroziv. Zòn cho founo kwasans kristal la anjeneral ekipe ak konpozan grafit ki reziste chalè ak korozyon, tankou aparèy chofaj, kribib, silenn izolasyon, silenn gid, elektwòd, sipò kribib, nwa elektwòd, elatriye.
Nou ka fabrike tout pati grafit pou aparèy pwodiksyon kristal, nou ka founi yo endividyèlman oubyen an gwoup, oubyen pati grafit pèsonalize nan divès gwosè selon bezwen kliyan yo. Nou ka mezire gwosè pwodwi yo sou plas, epi kontni sann nan pwodwi fini yo ka pi ba.pase 5ppm.
02 Akseswa grafit pou epitaksi semikondiktè
Pwosesis epitaksiyal la refere a kwasans yon kouch materyèl monokristal ak menm aranjman rezo ak substra a sou substra monokristal la. Nan pwosesis epitaksiyal la, yo chaje waf la sou disk grafit la. Pèfòmans ak kalite disk grafit la jwe yon wòl enpòtan nan kalite kouch epitaksiyal waf la. Nan domèn pwodiksyon epitaksiyal la, yo bezwen anpil grafit ultra-pi ak baz grafit pite segondè ak kouch SIC.
Baz grafit konpayi nou an pou epitaksi semi-kondiktè gen yon pakèt aplikasyon, li ka matche ak pifò ekipman yo itilize souvan nan endistri a, epi li gen yon pite segondè, yon kouch inifòm, yon lavi sèvis ekselan, ak yon rezistans chimik segondè ak estabilite tèmik.
03 Akseswa grafit pou enplantasyon iyon
Enplantasyon iyon refere a pwosesis pou akselere gwo bout bwa plasma bor, fosfò ak asenik rive nan yon sèten enèji, epi answit enjekte li nan kouch sifas materyèl waf la pou chanje pwopriyete materyèl kouch sifas la. Konpozan aparèy enplantasyon iyon an dwe fèt ak materyèl ki gen gwo pite ak ekselan rezistans chalè, konduktivite tèmik, mwens korozyon ki koze pa gwo bout bwa iyon an ak yon kontni enpurte ki ba. Grafit ki gen gwo pite a satisfè egzijans aplikasyon an, epi li ka itilize pou tib vòl, divès fant, elektwòd, kouvèti elektwòd, konduit, tèminateur gwo bout bwa, elatriye nan ekipman enplantasyon iyon.
Nou pa sèlman ka bay pwoteksyon grafit pou plizyè machin enplantasyon iyon, men tou nou bay elektwòd grafit ki gen gwo pite ak sous iyon ki gen gwo rezistans korozyon nan divès espesifikasyon. Modèl ki aplikab yo: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ak lòt ekipman. Anplis de sa, nou ka bay tou pwodwi seramik, tengstèn, molibdèn, aliminyòm ak pati ki kouvri.
04 Materyèl izolasyon grafit ak lòt
Materyèl izolasyon tèmik yo itilize nan ekipman pwodiksyon semi-kondiktè yo enkli grafit di, grafit mou, papye grafit, papye grafit, ak kòd grafit.
Tout matyè premyè nou yo se grafit enpòte, ki ka koupe selon gwosè espesifik bezwen kliyan an oswa vann kòm yon antye.
Plato kabòn-kabòn nan itilize kòm sipò pou kouch fim nan pwosesis pwodiksyon selil silikon monokristalin solè ak selil silikon polikristalin. Prensip fonksyònman an se: mete chip silikon an nan plato CFC a epi voye l nan tib founo a pou trete kouch fim nan.
