ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಉದ್ಯಮದ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿರುತ್ತವೆ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ನ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಕಣಗಳ ಗಾತ್ರವು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿ, ಕಡಿಮೆ ನಷ್ಟ ಮತ್ತು ಇತರ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ: ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಅಚ್ಚು.ಅರೆವಾಹಕ ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳು (ಹೀಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಅವುಗಳ ಸಿಂಟರ್ಡ್ ಡೈಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ) ಪುನರಾವರ್ತಿತ ತಾಪನ ಮತ್ತು ತಂಪಾಗಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳುವ ಅಗತ್ಯವಿರುವುದರಿಂದ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಲು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುಗಳು ಸ್ಥಿರ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಶಾಖ ನಿರೋಧಕ ಪ್ರಭಾವ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿರುವುದು ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ.
01 ಅರೆವಾಹಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪರಿಕರಗಳು
ಅರೆವಾಹಕ ಸ್ಫಟಿಕಗಳನ್ನು ಬೆಳೆಯಲು ಬಳಸುವ ಎಲ್ಲಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ನಾಶಕಾರಿ ವಾತಾವರಣದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಕುಲುಮೆಯ ಬಿಸಿ ವಲಯವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಶಾಖ-ನಿರೋಧಕ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು-ನಿರೋಧಕ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಘಟಕಗಳೊಂದಿಗೆ ಸಜ್ಜುಗೊಂಡಿದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಹೀಟರ್, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್, ನಿರೋಧನ ಸಿಲಿಂಡರ್, ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ ಸಿಲಿಂಡರ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್, ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಹೋಲ್ಡರ್, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ನಟ್, ಇತ್ಯಾದಿ.
ನಾವು ಸ್ಫಟಿಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಸಾಧನಗಳ ಎಲ್ಲಾ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು, ಇವುಗಳನ್ನು ಪ್ರತ್ಯೇಕವಾಗಿ ಅಥವಾ ಸೆಟ್ಗಳಲ್ಲಿ ಪೂರೈಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಗ್ರಾಹಕರ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರದ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಮಾಡಬಹುದು. ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಗಾತ್ರವನ್ನು ಸೈಟ್ನಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಬಹುದು ಮತ್ತು ಸಿದ್ಧಪಡಿಸಿದ ಉತ್ಪನ್ನಗಳ ಬೂದಿ ಅಂಶವು ಕಡಿಮೆ ಇರಬಹುದು.5ppm ಗಿಂತ.
02 ಅರೆವಾಹಕ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪರಿಕರಗಳು
ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲೆ ತಲಾಧಾರದಂತೆಯೇ ಅದೇ ಜಾಲರಿ ಜೋಡಣೆಯೊಂದಿಗೆ ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ವಸ್ತುವಿನ ಪದರದ ಬೆಳವಣಿಗೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಡಿಸ್ಕ್ ಮೇಲೆ ಲೋಡ್ ಮಾಡಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಡಿಸ್ಕ್ನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವು ವೇಫರ್ನ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಪದರದ ಗುಣಮಟ್ಟದಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರ ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, SIC ಲೇಪನದೊಂದಿಗೆ ಬಹಳಷ್ಟು ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೇಸ್ ಅಗತ್ಯವಿದೆ.
ನಮ್ಮ ಕಂಪನಿಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೇಸ್ ವ್ಯಾಪಕ ಶ್ರೇಣಿಯ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಉದ್ಯಮದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗಬಹುದು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಏಕರೂಪದ ಲೇಪನ, ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸೇವಾ ಜೀವನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ರಾಸಾಯನಿಕ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
03 ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ಗಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪರಿಕರಗಳು
ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಎಂದರೆ ಬೋರಾನ್, ರಂಜಕ ಮತ್ತು ಆರ್ಸೆನಿಕ್ಗಳ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಕಿರಣವನ್ನು ಒಂದು ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಶಕ್ತಿಗೆ ವೇಗಗೊಳಿಸುವ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಸೂಚಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಅದನ್ನು ವೇಫರ್ ವಸ್ತುವಿನ ಮೇಲ್ಮೈ ಪದರಕ್ಕೆ ಇಂಜೆಕ್ಟ್ ಮಾಡಿ ಮೇಲ್ಮೈ ಪದರದ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ. ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಸಾಧನದ ಘಟಕಗಳು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಶಾಖ ಪ್ರತಿರೋಧ, ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ, ಅಯಾನ್ ಕಿರಣದಿಂದ ಉಂಟಾಗುವ ಕಡಿಮೆ ತುಕ್ಕು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಅಶುದ್ಧತೆಯ ಅಂಶದೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿರಬೇಕು. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಪೂರೈಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಉಪಕರಣಗಳ ಫ್ಲೈಟ್ ಟ್ಯೂಬ್, ವಿವಿಧ ಸ್ಲಿಟ್ಗಳು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ಗಳು, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಕವರ್ಗಳು, ವಾಹಕಗಳು, ಕಿರಣದ ಟರ್ಮಿನೇಟರ್ಗಳು ಇತ್ಯಾದಿಗಳಿಗೆ ಬಳಸಬಹುದು.
ನಾವು ವಿವಿಧ ಅಯಾನ್ ಇಂಪ್ಲಾಂಟೇಶನ್ ಯಂತ್ರಗಳಿಗೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಶೀಲ್ಡ್ ಕವರ್ ಒದಗಿಸುವುದಲ್ಲದೆ, ವಿವಿಧ ವಿಶೇಷಣಗಳ ಹೆಚ್ಚಿನ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯೊಂದಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ಗಳು ಮತ್ತು ಅಯಾನ್ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸಬಹುದು. ಅನ್ವಯವಾಗುವ ಮಾದರಿಗಳು: ಈಟನ್, ಅಜ್ಸೆಲಿಸ್, ಕ್ವಾಟಮ್, ವೇರಿಯನ್, ನಿಸ್ಸಿನ್, AMAT, LAM ಮತ್ತು ಇತರ ಉಪಕರಣಗಳು. ಹೆಚ್ಚುವರಿಯಾಗಿ, ನಾವು ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಸೆರಾಮಿಕ್, ಟಂಗ್ಸ್ಟನ್, ಮಾಲಿಬ್ಡಿನಮ್, ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು ಮತ್ತು ಲೇಪಿತ ಭಾಗಗಳನ್ನು ಸಹ ಒದಗಿಸಬಹುದು.
04 ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ನಿರೋಧನ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಇತರೆ
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಉಪಕರಣಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಉಷ್ಣ ನಿರೋಧನ ಸಾಮಗ್ರಿಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹಾರ್ಡ್ ಫೆಲ್ಟ್, ಸಾಫ್ಟ್ ಫೆಲ್ಟ್, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಾಯಿಲ್, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಪೇಪರ್ ಮತ್ತು ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹಗ್ಗ ಸೇರಿವೆ.
ನಮ್ಮ ಎಲ್ಲಾ ಕಚ್ಚಾ ವಸ್ತುಗಳು ಆಮದು ಮಾಡಿಕೊಂಡ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಆಗಿದ್ದು, ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯತೆಗಳ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಗಾತ್ರಕ್ಕೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕತ್ತರಿಸಬಹುದು ಅಥವಾ ಒಟ್ಟಾರೆಯಾಗಿ ಮಾರಾಟ ಮಾಡಬಹುದು.
ಸೌರ ಮಾನೋಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲಿನ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕೋಶಗಳ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನಕ್ಕೆ ಕಾರ್ಬನ್-ಕಾರ್ಬನ್ ಟ್ರೇ ಅನ್ನು ವಾಹಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಣಾ ತತ್ವವೆಂದರೆ: ಸಿಲಿಕಾನ್ ಚಿಪ್ ಅನ್ನು CFC ಟ್ರೇಗೆ ಸೇರಿಸಿ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಲೇಪನವನ್ನು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೊಳಿಸಲು ಫರ್ನೇಸ್ ಟ್ಯೂಬ್ಗೆ ಕಳುಹಿಸಿ.
