الزامات صنعت نیمههادی برای مواد گرافیتی به ویژه بالا است، اندازه ذرات ریز گرافیت دارای دقت بالا، مقاومت در برابر دمای بالا، استحکام بالا، ضایعات کم و مزایای دیگر مانند قالبگیری محصولات گرافیتی متخلخل است.از آنجا که تجهیزات گرافیتی مورد استفاده در صنعت نیمههادی (از جمله بخاریها و قالبهای متخلخل آنها) باید در برابر فرآیندهای گرمایش و سرمایش مکرر مقاومت کنند، برای افزایش طول عمر تجهیزات گرافیتی، معمولاً لازم است که مواد گرافیتی مورد استفاده دارای عملکرد پایدار و عملکرد ضربه مقاوم در برابر حرارت باشند.
01 لوازم جانبی گرافیتی برای رشد کریستال نیمه هادی
تمام فرآیندهای مورد استفاده برای رشد کریستالهای نیمههادی در دمای بالا و محیط خورنده عمل میکنند. منطقه گرم کوره رشد کریستال معمولاً مجهز به اجزای گرافیتی با خلوص بالا و مقاوم در برابر حرارت و خوردگی مانند بخاری، بوته، سیلندر عایق، سیلندر راهنما، الکترود، نگهدارنده بوته، مهره الکترود و غیره است.
ما میتوانیم تمام قطعات گرافیتی دستگاههای تولید کریستال را تولید کنیم که میتوانند به صورت جداگانه یا به صورت مجموعه عرضه شوند، یا قطعات گرافیتی سفارشی با اندازههای مختلف را مطابق با نیاز مشتری تولید کنیم. اندازه محصولات را میتوان در محل اندازهگیری کرد و میزان خاکستر محصولات نهایی میتواند کمتر باشد.بیش از 5ppm
02 لوازم جانبی گرافیتی برای اپیتاکسی نیمه هادی
فرآیند اپیتاکسیال به رشد لایهای از ماده تک کریستالی با همان آرایش شبکهای زیرلایه روی زیرلایه تک کریستالی اشاره دارد. در فرآیند اپیتاکسیال، ویفر روی دیسک گرافیتی بارگذاری میشود. عملکرد و کیفیت دیسک گرافیتی نقش حیاتی در کیفیت لایه اپیتاکسیال ویفر دارد. در زمینه تولید اپیتاکسیال، به مقدار زیادی گرافیت با خلوص فوق العاده بالا و پایه گرافیت با خلوص بالا با پوشش SIC نیاز است.
پایه گرافیتی شرکت ما برای اپیتاکسی نیمههادی طیف گستردهای از کاربردها را دارد، میتواند با اکثر تجهیزات رایج در صنعت مطابقت داشته باشد و دارای خلوص بالا، پوشش یکنواخت، عمر مفید عالی و مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی بالا است.
03 لوازم جانبی گرافیتی برای کاشت یون
کاشت یون به فرآیند شتابدهی پرتو پلاسمای بور، فسفر و آرسنیک تا انرژی مشخصی و سپس تزریق آن به لایه سطحی ماده ویفر برای تغییر خواص ماده لایه سطحی اشاره دارد. اجزای دستگاه کاشت یون باید از مواد با خلوص بالا با مقاومت حرارتی عالی، رسانایی حرارتی، خوردگی کمتر ناشی از پرتو یون و محتوای ناخالصی کم ساخته شوند. گرافیت با خلوص بالا الزامات کاربرد را برآورده میکند و میتواند برای لوله پرواز، شکافهای مختلف، الکترودها، پوششهای الکترود، مجراها، پایانههای پرتو و غیره تجهیزات کاشت یون استفاده شود.
ما نه تنها میتوانیم پوشش محافظ گرافیتی را برای دستگاههای مختلف کاشت یون فراهم کنیم، بلکه الکترودهای گرافیتی با خلوص بالا و منابع یونی با مقاومت بالا در برابر خوردگی و مشخصات مختلف را نیز ارائه میدهیم. مدلهای قابل اجرا: Eaton، Azcelis، Quatum، Varian، Nissin، AMAT، LAM و سایر تجهیزات. علاوه بر این، ما میتوانیم محصولات سرامیکی، تنگستن، مولیبدن، آلومینیوم و قطعات پوشش داده شده منطبق را نیز ارائه دهیم.
04 مواد عایق گرافیتی و سایر موارد
مواد عایق حرارتی مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه هادی شامل نمد سخت گرافیتی، نمد نرم، فویل گرافیتی، کاغذ گرافیتی و طناب گرافیتی است.
تمام مواد اولیه ما گرافیت وارداتی است که میتواند بر اساس اندازه خاص مورد نیاز مشتری برش داده شود یا به صورت کلی فروخته شود.
سینی کربن-کربن به عنوان حامل پوشش فیلم در فرآیند تولید سلولهای خورشیدی سیلیکون تکبلوری و سیلیکون چندبلوری استفاده میشود. اصل کار این است: تراشه سیلیکونی را درون سینی CFC قرار دهید و آن را برای پردازش پوشش فیلم به داخل لوله کوره بفرستید.
