सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या ग्रेफाइट मटेरियलच्या आवश्यकता विशेषतः जास्त आहेत, ग्रेफाइटच्या बारीक कण आकारात उच्च अचूकता, उच्च तापमान प्रतिरोधकता, उच्च शक्ती, लहान नुकसान आणि इतर फायदे आहेत, जसे की: सिंटर्ड ग्रेफाइट उत्पादने साचा.सेमीकंडक्टर उद्योगात वापरल्या जाणाऱ्या ग्रेफाइट उपकरणांना (हीटर्स आणि त्यांच्या सिंटर्ड डायसह) वारंवार गरम आणि थंड होण्याच्या प्रक्रियेचा सामना करावा लागतो, त्यामुळे ग्रेफाइट उपकरणांचे आयुष्य वाढवण्यासाठी, वापरल्या जाणाऱ्या ग्रेफाइट साहित्याची कार्यक्षमता स्थिर आणि उष्णता प्रतिरोधक असणे आवश्यक असते.
०१ सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वाढीसाठी ग्रेफाइट अॅक्सेसरीज
सेमीकंडक्टर क्रिस्टल्स वाढवण्यासाठी वापरल्या जाणाऱ्या सर्व प्रक्रिया उच्च तापमान आणि संक्षारक वातावरणात कार्यरत असतात. क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसचा हॉट झोन सहसा उष्णता-प्रतिरोधक आणि गंज-प्रतिरोधक उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट घटकांनी सुसज्ज असतो, जसे की हीटर, क्रूसिबल, इन्सुलेशन सिलेंडर, मार्गदर्शक सिलेंडर, इलेक्ट्रोड, क्रूसिबल होल्डर, इलेक्ट्रोड नट इ.
आम्ही क्रिस्टल उत्पादन उपकरणांचे सर्व ग्रेफाइट भाग तयार करू शकतो, जे वैयक्तिकरित्या किंवा सेटमध्ये पुरवले जाऊ शकतात किंवा ग्राहकांच्या गरजेनुसार विविध आकारांचे कस्टमाइज्ड ग्रेफाइट भाग बनवू शकतो. उत्पादनांचा आकार साइटवर मोजता येतो आणि तयार उत्पादनांमध्ये राखेचे प्रमाण कमी असू शकते.५ पीपीएम पेक्षा.
०२ सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठी ग्रेफाइट अॅक्सेसरीज
एपिटॅक्सियल प्रक्रिया म्हणजे सिंगल क्रिस्टल मटेरियलच्या थराची वाढ ज्यामध्ये सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेटवरील सब्सट्रेट प्रमाणेच जाळीची व्यवस्था असते. एपिटॅक्सियल प्रक्रियेत, वेफर ग्रेफाइट डिस्कवर लोड केला जातो. वेफरच्या एपिटॅक्सियल लेयरच्या गुणवत्तेत ग्रेफाइट डिस्कची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता महत्त्वाची भूमिका बजावते. एपिटॅक्सियल उत्पादनाच्या क्षेत्रात, SIC कोटिंगसह भरपूर अल्ट्रा-हाय प्युरिटी ग्रेफाइट आणि हाय प्युरिटी ग्रेफाइट बेस आवश्यक आहे.
आमच्या कंपनीच्या सेमीकंडक्टर एपिटॅक्सीसाठीच्या ग्रेफाइट बेसमध्ये विस्तृत अनुप्रयोग आहेत, ते उद्योगात सामान्यतः वापरल्या जाणाऱ्या बहुतेक उपकरणांशी जुळू शकतात आणि त्यात उच्च शुद्धता, एकसमान कोटिंग, उत्कृष्ट सेवा जीवन आणि उच्च रासायनिक प्रतिकार आणि थर्मल स्थिरता आहे.
०३ आयन इम्प्लांटेशनसाठी ग्रेफाइट अॅक्सेसरीज
आयन इम्प्लांटेशन म्हणजे बोरॉन, फॉस्फरस आणि आर्सेनिकच्या प्लाझ्मा बीमला एका विशिष्ट उर्जेपर्यंत गती देण्याची प्रक्रिया आणि नंतर ते वेफर मटेरियलच्या पृष्ठभागाच्या थरात इंजेक्ट करून पृष्ठभागाच्या थराचे भौतिक गुणधर्म बदलण्याची प्रक्रिया. आयन इम्प्लांटेशन डिव्हाइसचे घटक उच्च-शुद्धता असलेल्या सामग्रीपासून बनलेले असावेत ज्यामध्ये उत्कृष्ट उष्णता प्रतिरोधकता, थर्मल चालकता, आयन बीममुळे होणारे कमी गंज आणि कमी अशुद्धता सामग्री असेल. उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट अनुप्रयोग आवश्यकता पूर्ण करते आणि आयन इम्प्लांटेशन उपकरणांच्या फ्लाइट ट्यूब, विविध स्लिट्स, इलेक्ट्रोड्स, इलेक्ट्रोड कव्हर्स, कंड्युट्स, बीम टर्मिनेटर इत्यादींसाठी वापरले जाऊ शकते.
आम्ही विविध आयन इम्प्लांटेशन मशीनसाठी केवळ ग्रेफाइट शील्डिंग कव्हरच प्रदान करू शकत नाही, तर उच्च-शुद्धता असलेले ग्रेफाइट इलेक्ट्रोड आणि विविध वैशिष्ट्यांचे उच्च गंज प्रतिरोधक असलेले आयन स्रोत देखील प्रदान करू शकतो. लागू मॉडेल: ईटन, अझेलिस, क्वाटम, व्हेरियन, निसिन, एएमएटी, एलएएम आणि इतर उपकरणे. याव्यतिरिक्त, आम्ही जुळणारे सिरेमिक, टंगस्टन, मोलिब्डेनम, अॅल्युमिनियम उत्पादने आणि लेपित भाग देखील प्रदान करू शकतो.
०४ ग्रेफाइट इन्सुलेशन साहित्य आणि इतर
सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या थर्मल इन्सुलेशन मटेरियलमध्ये ग्रेफाइट हार्ड फेल्ट, सॉफ्ट फेल्ट, ग्रेफाइट फॉइल, ग्रेफाइट पेपर आणि ग्रेफाइट दोरी यांचा समावेश होतो.
आमचे सर्व कच्चे माल आयात केलेले ग्रेफाइट आहेत, जे ग्राहकांच्या गरजेनुसार विशिष्ट आकारानुसार कापले जाऊ शकतात किंवा संपूर्णपणे विकले जाऊ शकतात.
सौर मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन आणि पॉलीक्रिस्टलाइन सिलिकॉन पेशींच्या उत्पादन प्रक्रियेत फिल्म कोटिंगसाठी कार्बन-कार्बन ट्रेचा वापर केला जातो. कार्य तत्व असे आहे: सिलिकॉन चिप सीएफसी ट्रेमध्ये घाला आणि फिल्म कोटिंग प्रक्रिया करण्यासाठी फर्नेस ट्यूबमध्ये पाठवा.
