Tha riatanasan gu sònraichte àrd ann an gnìomhachas leth-sheoltairean airson stuthan grafait. Tha buannachdan aig grafait le cruinneas àrd, strì an aghaidh teòthachd àrd, neart àrd, call beag agus mar sin air adhart, leithid: molltair airson toraidhean grafait shintéirichte.Leis gu bheil feum air an uidheamachd grafait a thathas a’ cleachdadh ann an gnìomhachas nan leth-chonnsadairean (a’ gabhail a-steach teasadairean agus na bàsan sintearachd aca) seasamh an aghaidh phròiseasan teasachaidh is fuarachaidh a-rithist is a-rithist, gus beatha seirbheis uidheamachd grafait a leudachadh, mar as trice feumar gum bi coileanadh seasmhach agus gnìomh buaidh teas-dhìonach aig na stuthan grafait a thathas a’ cleachdadh.
01 Goireasan grafait airson fàs criostail leth-chonnsachaidh
Bidh a h-uile pròiseas a thathar a’ cleachdadh airson criostalan leth-chonnsachaidh fhàs ag obair fo theodhachd àrd agus àrainneachd chreimneach. Mar as trice bidh sòn teth àmhainn fàis criostail uidheamaichte le co-phàirtean grafait àrd-ghlan a tha an aghaidh teas agus creimeadh, leithid teasadair, crois-bhòrd, siolandair inslitheachaidh, siolandair treòrachaidh, electrod, neach-gleidhidh crois-bhòrd, cnò electrod, msaa.
Is urrainn dhuinn a h-uile pàirt grafait de dh’ innealan cinneasachaidh criostail a dhèanamh, a dh’ fhaodar a thoirt seachad leotha fhèin no ann an seataichean, no pàirtean grafait gnàthaichte de dhiofar mheudan a rèir riatanasan luchd-ceannach. Faodar meud thoraidhean a thomhas air an làrach, agus faodaidh susbaint luaithre thoraidhean crìochnaichte a bhith nas lugha.na 5ppm.
02 Goireasan grafait airson epitaxy leth-chonnsachaidh
Tha pròiseas epitaxial a’ toirt iomradh air fàs sreath de stuth criostail singilte leis an aon rèiteachadh laitís ris an t-substrate air an t-substrate criostail singilte. Anns a’ phròiseas epitaxial, tha an wafer air a luchdachadh air an diosc grafait. Tha coileanadh agus càileachd an diosc grafait a’ cluich pàirt chudromach ann an càileachd sreath epitaxial an wafer. Ann an raon cinneasachadh epitaxial, tha feum air tòrr grafait fìor àrd-ghlan agus bunait grafait àrd-ghlan le còmhdach SIC.
Tha raon farsaing de thagraidhean aig bunait grafait na companaidh againn airson epitaxy leth-chonnsachaidh, faodaidh e a bhith co-ionnan ris a’ mhòr-chuid den uidheamachd a thathas a’ cleachdadh gu cumanta sa ghnìomhachas, agus tha purrachd àrd aige, còmhdach èideadh, beatha seirbheis sàr-mhath, agus strì an aghaidh cheimigeach agus seasmhachd teirmeach àrd.
03 Goireasan grafait airson implantachadh ian
Tha implantachadh ian a’ toirt iomradh air a’ phròiseas a bhith a’ luathachadh gath plasma de bhòron, fosfar agus arsanaig gu lùth sònraichte, agus an uairsin ga stealladh a-steach do shreath uachdar an stuth wafer gus feartan an stuth atharrachadh. Feumaidh pàirtean an inneil implantachaidh ian a bhith air an dèanamh de stuthan àrd-ghlanachd le strì an aghaidh teas sàr-mhath, giùlan teirmeach, nas lugha de chreimeadh air adhbhrachadh le gath ian agus susbaint neo-ghlainead ìosal. Bidh grafait àrd-ghlanachd a’ coinneachadh ri riatanasan an tagraidh, agus faodar a chleachdadh airson an tiùb itealaich, diofar sliotan, electrodan, còmhdaichean electrod, giùlan, crìochnachaidhean gath, msaa. de uidheamachd implantachaidh ian.
Chan e a-mhàin gun urrainn dhuinn còmhdach dìon grafait a thoirt seachad airson diofar innealan implantachaidh ian, ach cuideachd electrodan grafait àrd-ghlan agus stòran ian le strì an aghaidh creimeadh àrd de dhiofar shònrachaidhean a thoirt seachad. Modalan iomchaidh: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM agus uidheamachd eile. A bharrachd air an sin, is urrainn dhuinn cuideachd toraidhean ceirmeag, tungsten, molybdenum, alùmanum co-ionnan agus pàirtean còmhdaichte a thoirt seachad.
04 Stuthan inslithe grafait agus feadhainn eile
Am measg nan stuthan inslithe teirmeach a thathas a’ cleachdadh ann an uidheamachd cinneasachaidh leth-chonnsachaidh tha faireachdainn cruaidh grafait, faireachdainn bog, foil grafait, pàipear grafait, agus ròpa grafait.
Is e grafait a chaidh a thoirt a-steach a th’ anns a h-uile stuth amh againn, agus faodar a ghearradh a rèir meud sònraichte riatanasan an neach-ceannach no a reic gu h-iomlan.
Tha an treidhe carbon-carbon air a chleachdadh mar an giùlan airson còmhdach film ann am pròiseas cinneasachaidh ceallan silicon monocrystalline grèine agus ceallan silicon polycrystalline. Is e am prionnsapal obrach: cuir a’ chip silicon a-steach don treidhe CFC agus cuir a-steach e don tiùb àmhainn gus an còmhdach film a phròiseasadh.
