අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත අවශ්යතා මිනිරන් ද්රව්ය අවශ්යතා විශේෂයෙන් ඉහළ ය, මිනිරන් වල සියුම් අංශු ප්රමාණය ඉහළ නිරවද්යතාවයක්, ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, ඉහළ ශක්තියක්, කුඩා පාඩුවක් සහ සින්ටර් කරන ලද මිනිරන් නිෂ්පාදන අච්චු වැනි අනෙකුත් වාසි ඇත.අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ භාවිතා කරන මිනිරන් උපකරණ (හීටර් සහ ඒවායේ සින්ටර් කරන ලද ඩයි ඇතුළුව) නැවත නැවත රත් කිරීමේ සහ සිසිලන ක්රියාවලීන්ට ඔරොත්තු දීමට අවශ්ය වන බැවින්, මිනිරන් උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම සඳහා, සාමාන්යයෙන් භාවිතා කරන මිනිරන් ද්රව්ය ස්ථායී කාර්ය සාධනයක් සහ තාප ප්රතිරෝධී බලපෑම් ක්රියාකාරිත්වයක් තිබීම අවශ්ය වේ.
අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වර්ධනය සඳහා මිනිරන් උපාංග 01ක්
අර්ධ සන්නායක ස්ඵටික වර්ධනය කිරීමට භාවිතා කරන සියලුම ක්රියාවලීන් ඉහළ උෂ්ණත්වයක් සහ විඛාදන පරිසරයක් යටතේ ක්රියාත්මක වේ. ස්ඵටික වර්ධන උදුනේ උණුසුම් කලාපය සාමාන්යයෙන් තාපකය, කබොල, පරිවාරක සිලින්ඩරය, මාර්ගෝපදේශක සිලින්ඩරය, ඉලෙක්ට්රෝඩය, කබොල රඳවනය, ඉලෙක්ට්රෝඩ නට් යනාදී තාප-ප්රතිරෝධී සහ විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන අධි-පිරිසිදු මිනිරන් සංරචක වලින් සමන්විත වේ.
අපට ස්ඵටික නිෂ්පාදන උපාංගවල සියලුම මිනිරන් කොටස් නිෂ්පාදනය කළ හැකි අතර, ඒවා තනි තනිව හෝ කට්ටල වශයෙන් සැපයිය හැකිය, නැතහොත් පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව විවිධ ප්රමාණයේ අභිරුචිකරණය කළ මිනිරන් කොටස්. නිෂ්පාදනවල ප්රමාණය අඩවියේම මැනිය හැකි අතර, නිමි භාණ්ඩවල අළු අන්තර්ගතය අඩු විය හැකිය.5ppm ට වඩා.
අර්ධ සන්නායක එපිටැක්සි සඳහා ග්රැෆයිට් උපාංග 02ක්
එපිටැක්සියල් ක්රියාවලිය යනු තනි ස්ඵටික උපස්ථරය මත උපස්ථරයට සමාන දැලිස් සැකැස්මක් සහිත තනි ස්ඵටික ද්රව්ය ස්ථරයක වර්ධනයයි. එපිටැක්සියල් ක්රියාවලියේදී, වේෆරය ග්රැෆයිට් තැටිය මත පටවනු ලැබේ. ග්රැෆයිට් තැටියේ ක්රියාකාරිත්වය සහ ගුණාත්මකභාවය වේෆරයේ එපිටැක්සියල් ස්ථරයේ ගුණාත්මකභාවය සඳහා වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. එපිටැක්සියල් නිෂ්පාදන ක්ෂේත්රය තුළ, SIC ආලේපනයක් සහිත අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ග්රැෆයිට් සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ග්රැෆයිට් පදනමක් අවශ්ය වේ.
අපගේ සමාගමේ අර්ධ සන්නායක එපිටැක්සි සඳහා වන ග්රැෆයිට් පදනම පුළුල් පරාසයක යෙදුම් ඇත, කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන බොහෝ උපකරණ සමඟ සැසඳිය හැකි අතර ඉහළ සංශුද්ධතාවය, ඒකාකාර ආලේපනය, විශිෂ්ට සේවා කාලය සහ ඉහළ රසායනික ප්රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායිතාව ඇත.
අයන බද්ධ කිරීම සඳහා ග්රැෆයිට් උපාංග 03ක්
අයන බද්ධ කිරීම යනු බෝරෝන්, පොස්පරස් සහ ආසනික් වල ප්ලාස්මා කදම්භය යම් ශක්තියකට වේගවත් කිරීමේ ක්රියාවලිය වන අතර පසුව මතුපිට ස්ථරයේ ද්රව්යමය ගුණාංග වෙනස් කිරීම සඳහා වේෆර් ද්රව්යයේ මතුපිට ස්ථරයට එන්නත් කරයි. අයන බද්ධ කිරීමේ උපාංගයේ සංරචක විශිෂ්ට තාප ප්රතිරෝධයක්, තාප සන්නායකතාවයක්, අයන කදම්භයක් නිසා ඇතිවන අඩු විඛාදනයක් සහ අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතයක් සහිත ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ද්රව්ය වලින් සෑදිය යුතුය. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ග්රැෆයිට් යෙදුම් අවශ්යතා සපුරාලන අතර, අයන බද්ධ කිරීමේ උපකරණවල පියාසැරි නළය, විවිධ ස්ලිට්, ඉලෙක්ට්රෝඩ, ඉලෙක්ට්රෝඩ ආවරණ, වාහක, කදම්භ පර්යන්ත ආදිය සඳහා භාවිතා කළ හැකිය.
අපට විවිධ අයන බද්ධ කිරීමේ යන්ත්ර සඳහා ග්රැෆයිට් ආවරණ ආවරණයක් සැපයීමට පමණක් නොව, විවිධ පිරිවිතරයන්ගේ ඉහළ විඛාදන ප්රතිරෝධයක් සහිත ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ග්රැෆයිට් ඉලෙක්ට්රෝඩ සහ අයන ප්රභවයන් ද සැපයිය හැකිය. අදාළ ආකෘති: ඊටන්, ඇසෙලිස්, ක්වාටම්, වේරියන්, නිසින්, AMAT, LAM සහ අනෙකුත් උපකරණ. ඊට අමතරව, අපට ගැලපෙන සෙරමික්, ටංස්ටන්, මොලිබ්ඩිනම්, ඇලුමිනියම් නිෂ්පාදන සහ ආලේපිත කොටස් ද සැපයිය හැකිය.
04 මිනිරන් පරිවාරක ද්රව්ය සහ අනෙකුත්
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා වන තාප පරිවාරක ද්රව්ය අතර ග්රැෆයිට් දෘඩ ෆීල්ට්, මෘදු ෆීල්ට්, ග්රැෆයිට් තීරු, ග්රැෆයිට් කඩදාසි සහ ග්රැෆයිට් ලණු ඇතුළත් වේ.
අපගේ සියලුම අමුද්රව්ය ආනයනය කරන ලද මිනිරන් වන අතර, ඒවා පාරිභෝගිකයාගේ අවශ්යතාවල නිශ්චිත ප්රමාණයට අනුව කපා ගත හැකිය, නැතහොත් සමස්තයක් ලෙස විකිණිය හැකිය.
සූර්ය ඒකස්ඵටික සිලිකන් සහ බහුස්ඵටික සිලිකන් සෛල නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී පටල ආලේපනය සඳහා කාබන්-කාබන් තැටිය වාහකය ලෙස භාවිතා කරයි. ක්රියාකාරී මූලධර්මය නම්: සිලිකන් චිපය CFC තැටියට ඇතුළු කර පටල ආලේපනය සැකසීම සඳහා උදුන නළයට යැවීමයි.
