Патрабаванні паўправадніковай прамысловасці да графітавых матэрыялаў асабліва высокія, графіт мае высокую дакладнасць, высокую тэрмаўстойлівасць, высокую трываласць, малыя страты і іншыя перавагі, такія як: спечаныя графітавыя вырабы ў форме.Паколькі графітавае абсталяванне, якое выкарыстоўваецца ў паўправадніковай прамысловасці (у тым ліку награвальнікі і іх спечаныя штампы), павінна вытрымліваць паўторныя працэсы награвання і астуджэння, для падаўжэння тэрміну службы графітавага абсталявання звычайна патрабуецца, каб выкарыстоўваныя графітавыя матэрыялы мелі стабільныя характарыстыкі і ўстойлівасць да ўдараў.
01 Графітавыя аксэсуары для вырошчвання крышталяў паўправаднікоў
Усе працэсы, якія выкарыстоўваюцца для вырошчвання паўправадніковых крышталяў, праходзяць ва ўмовах высокай тэмпературы і агрэсіўнага асяроддзя. Гарачая зона печы для вырошчвання крышталяў звычайна абсталявана цеплаўстойлівымі і каразійна-ўстойлівымі кампанентамі з высокачыстага графіту, такімі як награвальнік, тыгель, ізаляцыйны цыліндр, накіроўвалы цыліндр, электрод, трымальнік тыгля, гайка электрода і г.д.
Мы можам вырабіць усе графітавыя дэталі для прылад па вытворчасці крышталяў, якія могуць пастаўляцца асобна або ў камплектах, альбо вырабляць графітавыя дэталі розных памераў па індывідуальнай замове ў адпаведнасці з патрабаваннямі заказчыка. Памер вырабаў можна вымераць на месцы, а ўтрыманне попелу ў гатовых вырабах можа быць меншым.чым 5 праміле.
02 Графітавыя аксэсуары для паўправадніковай эпітаксіі
Эпітаксіяльны працэс азначае вырошчванне пласта монакрышталічнага матэрыялу з такой жа структурай рашоткі, як і падкладка, на монакрышталічнай падкладцы. Пры эпітаксіяльным працэсе пласціна размяшчаецца на графітавым дыску. Характарыстыкі і якасць графітавага дыска адыгрываюць жыццёва важную ролю ў якасці эпітаксіяльнага пласта пласціны. У галіне эпітаксіяльнай вытворчасці патрабуецца шмат графіту звышвысокай чысціні і графітавай асновы высокай чысціні з пакрыццём SIC.
Графітавая аснова нашай кампаніі для паўправадніковай эпітаксіі мае шырокі спектр прымянення, падыходзіць для большасці распаўсюджаных у прамысловасці прылад, мае высокую чысціню, аднастайнае пакрыццё, выдатны тэрмін службы, высокую хімічную ўстойлівасць і тэрмічную стабільнасць.
03 Графітавыя аксэсуары для іённай імплантацыі
Іонная імплантацыя — гэта працэс паскарэння плазменнага пучка бору, фосфару і мыш'яку да пэўнай энергіі, а затым яго ўвядзення ў павярхоўны пласт матэрыялу пласціны для змены ўласцівасцей павярхоўнага пласта. Кампаненты прылады для іоннай імплантацыі павінны быць выраблены з высокачыстых матэрыялаў з выдатнай цеплаўстойлівасцю, цеплаправоднасцю, меншай карозіяй, выкліканай іонным пучком, і нізкім утрыманнем прымешак. Высокачысты графіт адпавядае патрабаванням прымянення і можа быць выкарыстаны для палётнай трубкі, розных шчылін, электродаў, накрывак электродаў, каналаў, тэрмінатараў пучка і г.д. абсталявання для іоннай імплантацыі.
Мы можам не толькі забяспечыць графітавае ахоўнае пакрыццё для розных машын для іоннай імплантацыі, але і забяспечыць высакаякасныя графітавыя электроды і крыніцы іонаў з высокай каразійнай устойлівасцю розных спецыфікацый. Падыходзіць для мадэляў: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM і іншага абсталявання. Акрамя таго, мы можам таксама забяспечыць адпаведныя керамічныя, вальфрамавыя, малібдэнавыя, алюмініевыя вырабы і дэталі з пакрыццём.
04 Графітавыя ізаляцыйныя матэрыялы і іншыя
Цеплаізаляцыйныя матэрыялы, якія выкарыстоўваюцца ў абсталяванні для вытворчасці паўправаднікоў, ўключаюць цвёрды графітавы лямец, мяккі лямец, графітавую фальгу, графітавую паперу і графітавы шнур.
Уся наша сыравіна - гэта імпартны графіт, які можна нарэзаць у адпаведнасці з канкрэтнымі памерамі патрабаванняў заказчыка або прадаць цалкам.
Вуглярод-вугляродны латок выкарыстоўваецца ў якасці носьбіта для плёнкавага пакрыцця ў працэсе вытворчасці сонечных монакрышталічных і полікрышталічных крэмніевых элементаў. Прынцып працы наступны: устаўце крэмніевы чып у латок CFC і адпраўце яго ў трубу печы для апрацоўкі плёнкавага пакрыцця.
