די באדערפענישן פון די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע פֿאַר גראַפיט מאַטעריאַל זענען באַזונדערס הויך, און די מעלות פון גראַפיט זענען זייער פיין און האָבן הויך פּינטלעכקייט, הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, הויך שטאַרקייט און קליין אָנווער, אַזאַ ווי: סינטערד גראַפיט פּראָדוקטן אין פורעם.ווייל די גראַפיט עקוויפּמענט געניצט אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע (אַרייַנגערעכנט כיטערז און זייערע סינטערד דייז) מוזן וויטשטיין ריפּיטיד הייצונג און קילונג פּראָצעסן, כּדי צו פֿאַרלענגערן די לעבן פון גראַפיט עקוויפּמענט, איז עס געוויינטלעך פארלאנגט אַז די גראַפיט מאַטעריאַלס געניצט האָבן סטאַביל פאָרשטעלונג און היץ-קעגנשטעליק פּראַל פונקציע.
01 גראַפיט אַקסעסאָריעס פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַל וווּקס
אלע פּראָצעסן געניצט צו וואַקסן האַלב-קאָנדוקטאָר קריסטאַלן אַרבעטן אונטער הויך טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו סוויווע. די הייסע זאָנע פון קריסטאַל וווּקס אויוון איז געוויינטלעך יקוויפּט מיט היץ-קעגנשטעליק און קעראָוזשאַן-קעגנשטעליק הויך-ריינקייט גראַפיט קאַמפּאָונאַנץ, אַזאַ ווי כיטער, קרוסיבל, ינסאַליישאַן צילינדער, פירער צילינדער, עלעקטראָד, קרוסיבל האָלדער, עלעקטראָד נוס, עטק.
מיר קענען פאַבריצירן אַלע גראַפיט טיילן פון קריסטאַל פּראָדוקציע דעוויסעס, וואָס קענען זיין סאַפּלייד ינדיווידזשואַלי אָדער אין סעץ, אָדער קאַסטאַמייזד גראַפיט טיילן פון פאַרשידענע סיזעס לויט קונה באדערפענישן. די גרייס פון פּראָדוקטן קענען זיין געמאסטן אויף פּלאַץ, און די אַש אינהאַלט פון פאַרטיק פּראָדוקטן קען זיין ווייניקער.ווי 5 ppm.
02 גראַפיט אַקסעסאָריעס פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר עפּיטאַקסי
עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס באַציט זיך צו דער וואוקס פון אַ שיכט פון איין קריסטאַל מאַטעריאַל מיט דער זעלבער גיטער אָרדענונג ווי דער סאַבסטראַט אויף דעם איין קריסטאַל סאַבסטראַט. אין דעם עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס, ווערט דער וועיפער לאָודיד אויף דער גראַפיט דיסק. די פאָרשטעלונג און קוואַליטעט פון דער גראַפיט דיסק שפּילן אַ וויכטיקע ראָלע אין דער קוואַליטעט פון דער עפּיטאַקסיאַל שיכט פון דער וועיפער. אין דעם פעלד פון עפּיטאַקסיאַל פּראָדוקציע, איז נויטיק אַ סך פון אולטראַ-הויך ריינקייט גראַפיט און הויך ריינקייט גראַפיט באַזע מיט SIC קאָוטינג.
אונדזער פירמע'ס גראַפיט באַזע פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר עפּיטאַקסי האט אַ ברייט קייט פון אַפּלאַקיישאַנז, קען גלייַכן רובֿ פון די אָפט געניצט ויסריכט אין דער אינדוסטריע, און האט הויך ריינקייט, מונדיר קאָוטינג, ויסגעצייכנט דינסט לעבן, און הויך כעמיש קעגנשטעל און טערמישע פעסטקייט.
03 גראַפיט אַקסעסאָריעס פֿאַר יאָן ימפּלאַנטיישאַן
יאָן אימפּלאַנטאַציע באַציט זיך צום פּראָצעס פון פאַרגיכערן דעם פּלאַזמע שטראַל פון באָר, פאָספאָר און אַרסעניק צו אַ געוויסע ענערגיע, און דערנאָך אינדזשעקטירן עס אין דער ייבערפלאַך שיכט פון דעם וועיפער מאַטעריאַל צו ענדערן די מאַטעריאַל אייגנשאַפטן פון דער ייבערפלאַך שיכט. די קאָמפּאָנענטן פון דעם יאָן אימפּלאַנטאַציע מיטל זאָלן זיין געמאַכט פון הויך-ריינקייט מאַטעריאַלן מיט ויסגעצייכנט היץ קעגנשטעל, טערמיש קאַנדאַקטיוויטי, ווייניקער קעראָוזשאַן געפֿירט דורך יאָן שטראַל און נידעריק פאַרפּעסטיקונג אינהאַלט. הויך-ריינקייט גראַפיט טרעפט די אַפּלאַקיישאַן רעקווירעמענץ, און קען זיין געניצט פֿאַר די פלי רער, פאַרשידן ספּליץ, עלעקטראָדז, עלעקטראָד דעקל, קאַנאַליז, שטראַל טערמינייטערז, עטק. פון יאָן אימפּלאַנטאַציע ויסריכט.
מיר קענען נישט נאָר צושטעלן גראַפיט שילדינג דעקונג פֿאַר פֿאַרשידענע יאָן ימפּלאַנטיישאַן מאַשינען, נאָר אויך צושטעלן הויך-ריינקייט גראַפיט עלעקטראָודז און יאָן קוואלן מיט הויך קעראָוזשאַן קעגנשטעל פון פֿאַרשידענע ספּעסיפיקאַציעס. אָנווענדלעך מאָדעלס: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM און אנדערע ויסריכט. אין דערצו, מיר קענען אויך צושטעלן מאַטשינג קעראַמיק, טאַנגסטאַן, מאָליבדענום, אַלומינום פּראָדוקטן און קאָוטאַד טיילן.
04 גראַפיט איזאָלאַציע מאַטעריאַלן און אַנדערע
טערמישע איזאָלאַציע מאַטעריאַלן געניצט אין האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע עקוויפּמענט אַרייַננעמען גראַפיט שווער פילץ, ווייך פילץ, גראַפיט פאָליע, גראַפיט פּאַפּיר, און גראַפיט שטריק.
אַלע אונדזערע רוי מאַטעריאַלן זענען אימפּאָרטירטע גראַפיט, וואָס קען ווערן געשניטן לויט דער ספּעציפֿישער גרייס פֿון די קונה'ס באַדערפֿנישן אָדער פֿאַרקויפֿט ווי אַ גאַנצע.
דער קאַרבאָן-קאַרבאָן טאַץ ווערט גענוצט ווי דער טרעגער פֿאַר פֿילם באַשייצונג אין דעם פּראָדוקציע פּראָצעס פֿון זונ מאָנאָקריסטאַלינע סיליקאָן און פּאָליקריסטאַלין סיליקאָן צעלן. דער אַרבעט פּרינציפּ איז: אַרײַנשטעלן דעם סיליקאָן טשיפּ אין דעם CFC טאַץ און שיקן עס אין דעם אויוון רער צו פּראָצעסירן די פֿילם באַשייצונג.
