Taas nga Kaputli nga Quartz Boat para sa Pagproseso sa Wafer

Bangka nga Quartz Waferusa ka importanteng gamit sa pagdala sa semiconductor manufacturing, photovoltaic cell production ug advanced material research and development, nga gidisenyo para sa stable wafer transfer ug positioning sa mga proseso nga taas og temperatura. Kini nga produkto hinimo sa ultra-high purity fused silica (SiO2), nga adunay maayo kaayong temperature resistance, chemical stability ug ultra-low metal contamination characteristics, nga angay para sa diffusion furnace, oxidation furnace, PECVD/LPCVD ug uban pang kagamitan, nga kaylap nga gigamit sa wafer coating, ion implantation, high temperature annealing ug uban pang core processes.

Ang Kinauyokan nga mga Bentaha sa quartz boat sa VET Energy:

• Ultra-taas nga kaputli nga materyal
  Kaputli ≥99.99%: Kontent sa hugaw (Na, K, Fe, ug uban pa) <5ppm, malikayan ang kontaminasyon sa wafer ug garantiya ang ani sa chip.
  Ubos nga ulan ug adsorption: ang nawong super-polish (Ra≤0.4μm) aron makunhuran ang pagtapot sa partikulo ug nahabilin nga gas.
• Kalig-on sa taas nga temperatura
  Limitasyon sa temperatura: Dugay nga temperatura sa pagtrabaho nga 1100 ℃, mubo nga peak nga 1300 ℃, walay deformation, walay kristal nga ulan.
  Ubos nga thermal expansion coefficient (5.5x10-7/℃), maayo kaayong thermal shock resistance, dali nga mapahiangay sa paspas nga pagsaka ug pag-ubos sa temperatura (pananglitan ang RTP rapid annealing).
• Tukma nga disenyo sa istruktura
  Katukma sa slot ±0.1mm: pagpares sa 2” ngadto sa 12” nga mga wafer, sayop sa pagkaparehas sa gilay-on <0.05mm, nga nagsiguro nga ang mga wafer walay offset.
  Taas nga kapasidad sa karga: Kinatas-ang karga nga 50 ka wafer (sa termino sa 12” nga wafer) sa usa ka sakayan, nga nagsuporta sa lig-on nga pagbalhin sa nipis nga mga wafer (≥100um).
• Kemikal nga pagkawalay-lihok
  Pagsukol sa kaagnasan: Dili maapektuhan sa asido (gawas sa HF), alkali ug organikong solvent nga kaagnasan, nga nahiuyon sa proseso sa pagpanglimpyo sa CMP.
  Maayo kaayong pagkahugot sa gas: Ang rate sa pagtulo <5x10-10 Pa.m3/s, angay alang sa vacuum ug protective gas nga palibot.
• Taas nga kinabuhi ug pagka-maintainable
  Ang gidahom nga kinabuhi ≥ 5000 ka siklo (normal nga kondisyon sa pagtrabaho), ang nawong mahimong balik-balik nga limpyohan ug gamiton, nga makapakunhod sa kinatibuk-ang gasto.
  Modular nga disenyo: nagsuporta sa partial nga pag-ilis (pananglitan usa ka ngipon sa sakayan), nga nagpamenos sa downtime.

Nagtanyag kami og transparent ug frosted nga mga nawong sumala sa mga kinahanglanon sa kustomer:

Ang Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd usa ka high-tech nga negosyo nga nagpunting sa produksiyon ug pagbaligya sa mga high-end advanced nga materyales, ang mga materyales ug teknolohiya lakip ang graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment sama sa SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, ug uban pa, kini nga mga produkto kaylap nga gigamit sa photovoltaic, semiconductor, bag-ong enerhiya, metalurhiya, ug uban pa.

Ang among teknikal nga grupo gikan sa mga nanguna nga institusyon sa panukiduki sa nasud, ug nakaugmad og daghang patentadong mga teknolohiya aron masiguro ang performance ug kalidad sa produkto, ug makahatag usab sa mga kustomer og propesyonal nga solusyon sa materyal.