Graphite Carrier para sa proseso sa PECVD

Mubo nga Deskripsyon:

Enerhiya sa VETAng PECVD Graphite Boat para sa Solar Panel usa ka abante nga sangkap nga gidisenyo ilabi na alang sa paghimo og mga high-performance solar panel. Gigamit sa mga proseso sa Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), kini nga graphite boat nagsiguro sa labing maayo nga pagdumala sa materyal ug parehas nga pagdeposito sa nipis nga mga pelikula sa mga solar cell. Gidisenyo alang sa katukma ug kalig-on, kini naghatag og labaw nga thermal conductivity, taas nga resistensya sa corrosion, ug gamay nga kontaminasyon, nga hinungdanon alang sa paghimo og episyente ug taas nga kalidad nga mga solar panel.

Padad-i kami og email I-download isip PDF

Detalye sa Produkto

Mga Tag sa Produkto

Enerhiya sa VETAng PECVD process graphite carrier usa ka taas nga kalidad nga consumable nga gipahaom alang sa proseso sa PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Kini nga graphite carrier hinimo sa taas nga kaputli, taas nga densidad nga graphite nga materyal, nga adunay maayo kaayo nga resistensya sa taas nga temperatura, resistensya sa kaagnasan, kalig-on sa dimensyon ug uban pang mga kinaiya, nga makahatag usa ka lig-on nga plataporma sa carrier alang sa proseso sa PECVD, aron masiguro ang pagkaparehas ug pagkapatag sa thin film deposition.

Ang mga graphite carrier para sa proseso sa PECVD adunay mosunod nga mga kinaiya:

▪ Taas nga kaputli: ubos kaayo ang gidaghanon sa hugaw, nga naglikay sa kontaminasyon sa pelikula ug nagsiguro sa kalidad sa pelikula.

▪ Taas nga densidad: taas nga densidad, taas nga mekanikal nga kusog, makasugakod sa taas nga temperatura ug taas nga presyur nga palibot sa PECVD.

▪ Maayong kalig-on sa dimensyon: gamay nga pagbag-o sa dimensyon sa taas nga temperatura, nga nagsiguro sa kalig-on sa proseso.

▪ Maayo kaayong thermal conductivity: epektibong mobalhin sa kainit aron malikayan ang sobrang kainit sa wafer.

▪ Kusgan nga resistensya sa taya: makasugakod sa pagkaguba sa nagkalain-laing mga gas nga makadaot ug plasma.

▪ Gipahaom nga serbisyo: ang mga tigdala og graphite nga lain-laing gidak-on ug porma mahimong ipahaom sumala sa panginahanglan sa kustomer.

Materyal nga grapayt gikan sa SGL:

Kasagaran nga parametro: R6510
Indeks	Sumbanan sa pagsulay	Bili	Yunit
Kasagaran nga gidak-on sa lugas	ISO 13320	10	μm
Densidad sa kadaghanan	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Bukas nga porosidad	DIN66133	10	%
Medium nga gidak-on sa lungag	DIN66133	1.8	μm
Pagkamabalhinon	DIN 51935	0.06	cm²/s
Katig-a sa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Piho nga resistensya sa kuryente	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kusog sa pag-flex	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kusog sa pag-compress	DIN 51910	130	MPa
Modulus ni Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Pagpalapad sa kainit (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktibidad sa kainit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Kini espesipikong gidisenyo alang sa high-efficiency solar cell manufacturing, nga nagsuporta sa G12 large-size wafer processing. Ang na-optimize nga carrier design makapausbaw pag-ayo sa throughput, nga makapahimo sa mas taas nga yield rates ug mas ubos nga gasto sa produksiyon.

Butang	Matang	Numero sa wafer carrier
PEVCD Grephite nga sakayan - Ang seryeng 156	156-13 nga sakayan nga grephite	144
	156-19 nga sakayan nga grephite	216
	156-21 nga sakayan nga grephite	240
	156-23 nga sakayan nga grapayt	308
PEVCD Grephite nga sakayan - Ang serye sa 125	125-15 nga sakayan nga grephite	196
	125-19 nga sakayan nga grephite	252
	125-21 nga sakayan nga griphite	280