Epitaxial Epi Graphite Barril Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barril Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barril SusceptorDeposizio edo epitaxia prozesuak bezalako fabrikazio prozesuetan erdieroale substratuak eusteko eta berotzeko bereziki diseinatutako euskarri eta berogailu gailu bat da.

Bere egiturak normalean zilindrikoa edo upel itxurakoa du, gainazalak hainbat poltsiko edo plataforma ditu obleak jartzeko, eta diseinu solidoa edo hutsa izan daiteke, berotze metodoaren arabera.

Epitaxial upel suszeptorearen funtzio nagusiak:

1. Oblea-garraiatzailea eta tenperatura-kontrola
Suszeptorearen gainazala hainbat oblea-poltsikorekin diseinatuta dago (hexagono edo oktogonal moduan, adibidez), eta aldi berean 6-15 oblea eutsi ditzake. Grafito puruaren eroankortasun termiko altuak (120-150W/mK) bero-transferentzia azkarra bermatzen du, errotazio-funtzioarekin (5-20 RPM) konbinatuta, eta ondorioz, oblearen gainazaleko tenperaturaren desbideratzea <± 1 ℃ eta epitaxial geruzaren lodieraren uniformetasuna <% 1 da.

2. Erreaktiboen gas-fluxuaren norabidearen optimizazioa
Suszeptorearen gainazalaren mikroegiturak muga-geruzaren efektua hautsi dezake, erreakzio-gasen (SiH4, NH3 bezalakoak) banaketa uniformea ​​ahalbidetuz eta deposizio-tasaren koherentzia hobetuz.

3. Kutsaduraren eta korrosioaren aurkako babesa
Grafitozko substratuak deskonposatzeko joera dute eta metalezko ezpurutasunak (Fe,Ni bezalakoak) askatzen dituzte tenperatura altuetan, eta 100μm-ko lodierako CVD SiC estaldura batek hesi trinko bat sor dezake grafitoaren lurruntzea murrizteko, eta ondorioz, oblearen akats-tasa <0,1 akats/cm²-koa da.

Aplikazioak:
-Batez ere siliziozko epitaxial hazkuntzarako erabiltzen da
-GaAs, InP, etab. bezalako beste erdieroale material batzuen epitaxiarako ere aplikagarria.

VET Energy-k CVD-SiC estaldura duen grafito purua erabiltzen du egonkortasun kimikoa hobetzeko:

1. Grafitozko material purua
Eroankortasun termiko handia: grafitoaren eroankortasun termikoa silizioarena baino hiru aldiz handiagoa da, eta horrek berogailu-iturritik obleara beroa azkar transferi dezake eta berogailu-denbora laburtu.
Erresistentzia mekanikoa: Grafitoaren dentsitate isostatikoa ≥ 1.85 g/cm³-koa da, eta 1200 ℃-tik gorako tenperatura altuak deformatu gabe jasateko gai da.

2. CVD SiC estaldura
β-SiC geruza bat sortzen da grafitoaren gainazalean lurrun-deposizio kimikoaren (CVD) bidez, % 99,99995 ≥-ko purutasunarekin, estalduraren lodieraren uniformetasun-errorea ± % 5 baino txikiagoa da, eta gainazalaren zimurtasuna Ra0,5 um baino txikiagoa da.

3. Errendimenduaren hobekuntza:
Korrosioarekiko erresistentzia: Cl2, HCl eta abar bezalako gas korrosibo handiak jasan ditzake, eta GaN epitaxiaren iraupena hirukoiztu dezake NH3 ingurunean.
Egonkortasun termikoa: Hedapen termikoaren koefizientea (4,5 × 10-6/℃) grafitoarekin bat dator, tenperatura-gorabeherek eragindako estalduraren pitzadurak saihesteko.
Gogortasuna eta higadurarekiko erresistentzia: Vickers gogortasunak 28 GPa-ra iristen da, grafitoarena baino 10 aldiz handiagoa dena eta oblearen marradura arriskua murriztu dezakeena.