پوشش SiC/زیرلایه گرافیتی پوشش داده شده/سینی برای نیمه هادی

شرح مختصر:

سوسپتور گرافیتی روکش‌شده با SiC شرکت VET Energy برای رشد اپیتاکسیال، محصولی با کارایی بالا است که برای ارائه عملکرد پایدار و قابل اعتماد در یک دوره طولانی طراحی شده است. این محصول دارای مقاومت حرارتی و یکنواختی حرارتی فوق‌العاده خوب، خلوص بالا و مقاومت در برابر فرسایش است و آن را به راه‌حلی ایده‌آل برای کاربردهای پردازش ویفر تبدیل می‌کند.


جزئیات محصول

برچسب‌های محصول

پوشش SiC/پوشش داده شده از گرافیت سوسپتور برای نیمه هادی
 
زیرلایه گرافیتی روکش شده با SiCیک راهکار بسیار بادوام و کارآمد است که برای برآورده کردن نیازهای دقیق صنعت پردازش نیمه‌هادی طراحی شده است. دارای لایه‌ای از خلوص بالاپوشش کاربید سیلیکون (SiC)این زیرلایه پایداری حرارتی استثنایی، مقاومت در برابر اکسیداسیون و عمر مفید طولانی را ارائه می‌دهد و آن را برای کاربردهایی در فرآیندهای MOCVD، حامل‌های ویفر گرافیتی و سایر محیط‌های با دمای بالا ایده‌آل می‌کند.

 ویژگی‌ها: 
· مقاومت عالی در برابر شوک حرارتی
· مقاومت عالی در برابر ضربه فیزیکی
· مقاومت شیمیایی عالی
· خلوص فوق العاده بالا
· موجود بودن در شکل‌های پیچیده
· قابل استفاده در اتمسفر اکسید کننده

کاربرد:

۳

ویژگی‌ها و مزایای محصول:

۱. مقاومت حرارتی برتر:با خلوص بالاپوشش SiCاین زیرلایه در برابر دماهای بسیار بالا مقاومت می‌کند و عملکرد پایدار را در محیط‌های دشوار مانند اپیتاکسی و ساخت نیمه‌هادی تضمین می‌کند.

۲. دوام بیشتر:اجزای گرافیتی پوشش داده شده با SiC به گونه‌ای طراحی شده‌اند که در برابر خوردگی شیمیایی و اکسیداسیون مقاوم باشند و طول عمر زیرلایه را در مقایسه با زیرلایه‌های گرافیتی استاندارد افزایش دهند.

۳. گرافیت پوشش داده شده با شیشه:ساختار شیشه‌ای منحصر به فردپوشش SiCسختی سطح عالی را فراهم می‌کند و سایش و پارگی را در طول پردازش در دمای بالا به حداقل می‌رساند.

۴. پوشش SiC با خلوص بالا:زیرلایه ما حداقل آلودگی را در فرآیندهای نیمه‌هادی حساس تضمین می‌کند و قابلیت اطمینان را برای صنایعی که نیاز به خلوص دقیق مواد دارند، ارائه می‌دهد.

5. کاربرد گسترده در بازار:سوسپکتور گرافیتی روکش شده با SiCبا افزایش تقاضا برای محصولات پیشرفته روکش شده با SiC در تولید نیمه هادی، بازار همچنان در حال رشد است و این زیرلایه را به عنوان یک بازیگر کلیدی در بازار حامل ویفر گرافیتی و بازار سینی‌های گرافیتی روکش شده با کاربید سیلیکون قرار می‌دهد.

خواص معمول مواد گرافیت پایه:

چگالی ظاهری: ۱.۸۵ گرم بر سانتی‌متر مکعب
مقاومت الکتریکی: ۱۱ میکرواهم متر
استحکام خمشی: ۴۹ مگاپاسکال (۵۰۰ کیلوگرم نیرو بر سانتی‌متر مربع)
سختی ساحلی: 58
خاکستر: <5ppm
رسانایی حرارتی: ۱۱۶ وات بر میلی‌کلوین (۱۰۰ کیلوکالری بر میلی‌ساعت-℃)

 

بیماری‌های قلبی عروقی (CVD) SiC薄膜基本物理性能

خواص فیزیکی اولیه SiC به روش CVDپوشش

性质 / اموال

典型数值 / ارزش معمولی

晶体结构 / ساختار کریستالی

فاز β FCC 多晶,主要为(111)取向

密度 / تراکم

۳.۲۱ گرم بر سانتی‌متر مکعب

硬度 / سختی

2500 维氏硬度 (500 گرم بار)

晶粒大小 / Grain SiZe

2 تا 10 میکرومتر

纯度 / خلوص شیمیایی

۹۹.۹۹۹۹۵٪

热容 / ظرفیت گرمایی

۶۴۰ ژول · کیلوگرم-1·ک-1

升华温度 / دمای تصعید

۲۷۰۰ درجه سانتیگراد

抗弯强度 / قدرت خمشی

۴۱۵ مگاپاسکال RT چهار نقطه‌ای

杨氏模量 / مدول یانگ

خم 4 نقطه‌ای با مقاومت Gpa 430، دمای 1300 درجه سانتیگراد

导热系数 / رسانایی حرارتی

۳۰۰ وات بر متر مربع-1·ک-1

热膨胀系数 / انبساط حرارتی (CTE)

۴.۵×۱۰-6K-1

۱

۲

 

 

شرکت VET Energy تولیدکننده‌ی واقعی محصولات گرافیتی و کاربید سیلیکون سفارشی با پوشش‌های مختلف مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشه‌ای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره است و می‌تواند قطعات سفارشی متنوعی را برای صنعت نیمه‌رسانا و فتوولتائیک تأمین کند.

تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و می‌تواند راه‌حل‌های حرفه‌ای‌تری برای شما ارائه دهد.

ما به طور مداوم فرآیندهای پیشرفته‌ای را برای ارائه مواد پیشرفته‌تر توسعه می‌دهیم و یک فناوری انحصاری و ثبت شده را توسعه داده‌ایم که می‌تواند پیوند بین پوشش و زیرلایه را محکم‌تر و کمتر مستعد جدا شدن کند.

با گرمی از شما برای بازدید از کارخانه ما استقبال می‌کنیم، بیایید بحث بیشتری داشته باشیم!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • قبلی:
  • بعدی:

  • چت آنلاین واتس‌اپ!