Revestimento de SiC/Sustrato/Bandexa de grafito revestido para semicondutores

Revestimento de SiC/Substrato/Bandexa de grafito revestido para semicondutores Imaxe destacada

Descrición curta:

O susceptor de grafito revestido de SiC de VET Energy para crecemento epitaxial é un produto de alto rendemento deseñado para proporcionar un rendemento consistente e fiable durante un período prolongado. Ten unha resistencia á calor e uniformidade térmica moi boas, alta pureza e resistencia á erosión, o que o converte na solución perfecta para aplicacións de procesamento de obleas.

Envíanos un correo electrónico Descargar como PDF

Detalle do produto

Etiquetas do produto

Revestimento de SiC/revestimento de susceptor de grafito para semicondutores

O/Asubstrato de grafito revestido de SiCé unha solución altamente duradeira e eficiente deseñada para cumprir as rigorosas esixencias da industria de procesamento de semicondutores. Presenta unha capa de alta purezarevestimento de carburo de silicio (SiC), este substrato ofrece unha estabilidade térmica excepcional, resistencia á oxidación e unha vida útil prolongada, o que o fai ideal para aplicacións en procesos MOCVD, portadores de obleas de grafito e outros ambientes de alta temperatura.

Características:
· Excelente resistencia ao choque térmico
· Excelente resistencia física aos impactos
· Excelente resistencia química
· Pureza superalta
· Dispoñibilidade en forma complexa
·Utilizable en atmosfera oxidante

Aplicación:

Características e vantaxes do produto:

1. Resistencia térmica superior:Cunha alta purezaRevestimento de SiC, o substrato soporta temperaturas extremas, o que garante un rendemento consistente en contornas esixentes como a epitaxia e a fabricación de semicondutores.

2. Durabilidade mellorada:Os compoñentes de grafito revestidos de SiC están deseñados para resistir a corrosión química e a oxidación, o que aumenta a vida útil do substrato en comparación cos substratos de grafito estándar.

3. Grafito con revestimento vítreo:A estrutura vítrea única doRevestimento de SiCproporciona unha excelente dureza superficial, minimizando o desgaste durante o procesamento a altas temperaturas.

4. Revestimento de SiC de alta pureza:O noso substrato garante unha contaminación mínima en procesos de semicondutores sensibles, o que ofrece fiabilidade para as industrias que requiren unha pureza de material rigorosa.

5. Aplicación ampla do mercado:O/ASusceptor de grafito revestido de SiCO mercado continúa a crecer a medida que aumenta a demanda de produtos avanzados con revestimento de SiC na fabricación de semicondutores, o que posiciona este substrato como un actor clave tanto no mercado de portadores de obleas de grafito como no mercado de bandexas de grafito con revestimento de carburo de silicio.

Propiedades típicas do material de grafito base:

Densidade aparente:	1,85 g/cm³
Resistividade eléctrica:	11 μΩm
Resistencia á flexión:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureza Shore:	58
Cinza:	<5 ppm
Condutividade térmica:	116 W/mK (100 kcal/mh-℃)

ECV SiC薄膜基本物理性能 Propiedades físicas básicas do SiC por CVDrevestimento
性质 / Propiedade	典型数值 / Valor típico
晶体结构 / Estrutura cristalina	FCC fase β 多晶，主要为（111）取向
密度 / Densidade	3,21 g/cm³
硬度 / Dureza	2500 维氏硬度（500g de carga）
晶粒大小 / Grain Size	2~10 μm
纯度 / Pureza química	99,99995%
热容 / Capacidade calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimación	2700 ℃
抗弯强度 / Resistencia á flexión	415 MPa RT de 4 puntos
杨氏模量 / Módulo de Young	Curva de 4 puntos de 430 Gpa, 1300 ℃
导热系数 / Condutividade térmica	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy é o fabricante real de produtos personalizados de grafito e carburo de silicio con diferentes revestimentos como revestimentos de SiC, revestimentos de TaC, revestimentos de carbono vítreo, revestimentos de carbono pirolítico, etc., e pode subministrar diversas pezas personalizadas para a industria de semicondutores e fotovoltaica.

O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e pode proporcionarche solucións de materiais máis profesionais.

Desenvolvemos continuamente procesos avanzados para ofrecer materiais máis avanzados e elaboramos unha tecnoloxía patentada exclusiva que pode facer que a unión entre o revestimento e o substrato sexa máis axustada e menos propensa ao desprendemento.

Unha calorosa benvida para visitar a nosa fábrica, imos falar máis a fondo!