Pembawa Grafit untuk proses PECVD

Deskripsi Singkat:

Energi VETPerahu Grafit PECVD untuk Panel Surya merupakan komponen canggih yang dirancang khusus untuk produksi panel surya berkinerja tinggi. Digunakan dalam proses Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), perahu grafit ini memastikan penanganan material yang optimal dan pengendapan lapisan tipis yang seragam pada sel surya. Direkayasa untuk presisi dan daya tahan, perahu ini memberikan konduktivitas termal yang unggul, ketahanan korosi yang tinggi, dan kontaminasi minimal, yang penting untuk produksi panel surya yang efisien dan berkualitas tinggi.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Energi VETPembawa grafit proses PECVD merupakan bahan habis pakai berkualitas tinggi yang dirancang khusus untuk proses PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Pembawa grafit ini terbuat dari material grafit dengan kemurnian tinggi dan kepadatan tinggi, dengan ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, stabilitas dimensi, dan karakteristik lainnya yang sangat baik, dapat menyediakan platform pembawa yang stabil untuk proses PECVD, guna memastikan keseragaman dan kerataan pengendapan lapisan tipis.

Pembawa grafit untuk proses PECVD memiliki karakteristik sebagai berikut:

▪ Kemurnian tinggi: kandungan pengotor sangat rendah, menghindari kontaminasi film dan memastikan kualitas film.

▪ Kepadatan tinggi: kepadatan tinggi, kekuatan mekanis tinggi, mampu menahan suhu tinggi dan lingkungan PECVD tekanan tinggi.

▪ Stabilitas dimensi yang baik: perubahan dimensi kecil pada suhu tinggi, memastikan stabilitas proses.

▪ Konduktivitas termal yang sangat baik: mentransfer panas secara efektif untuk mencegah wafer terlalu panas.

▪ Ketahanan korosi yang kuat: mampu menahan erosi oleh berbagai gas korosif dan plasma.

▪ Layanan yang disesuaikan: pembawa grafit dengan berbagai ukuran dan bentuk dapat disesuaikan menurut kebutuhan pelanggan.

Bahan grafit dari SGL:

Parameter tipikal: R6510
Indeks	Standar pengujian	Nilai	Satuan
Ukuran butiran rata-rata	Standar ISO13320	10	mikrometer
Kepadatan massal	Standar IEC 60413/204	1.83	gram/cm³
Porositas terbuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedang	DIN66133	1.8	mikrometer
Permeabilitas	Nomor Seri 51935	0,06	cm²/detik
Kekerasan Rockwell HR5/100	Standar IEC 60413/303	90	HR
Resistivitas listrik spesifik	Standar IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuatan lentur	Standar IEC 60413/501	60	MPa
Kekuatan tekan	DIN51910	130	MPa
Modulus Young	Nomor Seri 51915	11,5×10³	MPa
Ekspansi termal (20-200℃)	Nomor Seri 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN51908	105	Wm^-1K^-1

Produk ini secara khusus dirancang untuk produksi sel surya efisiensi tinggi, yang mendukung pemrosesan wafer berukuran besar G12. Desain pembawa yang dioptimalkan secara signifikan meningkatkan hasil produksi, sehingga memungkinkan tingkat hasil yang lebih tinggi dan biaya produksi yang lebih rendah.

Barang	Jenis	Pembawa wafer nomor
Perahu Grephite PEVCD - Seri 156	perahu grefit 156-13	144
	perahu grefit 156-19	216
	perahu grefit 156-21	240
	perahu grafit 156-23	308
Perahu Grephite PEVCD - Seri 125	perahu grefit 125-15	196
	perahu grefit 125-19	252
	perahu grfit 125-21	280