Pembawa Grafit untuk proses PECVD

Deskripsi Singkat:

Energi VETPECVD Graphite Boat untuk Panel Surya adalah komponen canggih yang dirancang khusus untuk produksi panel surya berkinerja tinggi. Digunakan dalam proses Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), perahu grafit ini memastikan penanganan material yang optimal dan pengendapan lapisan tipis yang seragam pada sel surya. Direkayasa untuk presisi dan daya tahan, ia memberikan konduktivitas termal yang unggul, ketahanan korosi yang tinggi, dan kontaminasi minimal, yang sangat penting untuk produksi panel surya yang efisien dan berkualitas tinggi.

Kirim email kepada kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Energi VETPembawa grafit proses PECVD adalah bahan habis pakai berkualitas tinggi yang dirancang khusus untuk proses PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Pembawa grafit ini terbuat dari material grafit dengan kemurnian dan kepadatan tinggi, memiliki ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, stabilitas dimensi, dan karakteristik lainnya yang sangat baik, sehingga dapat menyediakan platform pembawa yang stabil untuk proses PECVD, untuk memastikan keseragaman dan kerataan pengendapan lapisan tipis.

Pembawa grafit untuk proses PECVD memiliki karakteristik sebagai berikut:

▪ Kemurnian tinggi: kandungan pengotor sangat rendah, menghindari kontaminasi film dan memastikan kualitas film.

▪ Kepadatan tinggi: kepadatan tinggi, kekuatan mekanik tinggi, mampu menahan suhu tinggi dan tekanan tinggi dalam lingkungan PECVD.

▪ Stabilitas dimensi yang baik: perubahan dimensi kecil pada suhu tinggi, memastikan stabilitas proses.

▪ Konduktivitas termal yang sangat baik: secara efektif mentransfer panas untuk mencegah wafer terlalu panas.

▪ Ketahanan korosi yang kuat: mampu menahan erosi oleh berbagai gas korosif dan plasma.

▪ Layanan yang disesuaikan: wadah grafit dengan berbagai ukuran dan bentuk dapat disesuaikan sesuai kebutuhan pelanggan.

Material grafit dari SGL:

Parameter umum: R6510
Indeks	Standar pengujian	Nilai	Satuan
Ukuran butir rata-rata	ISO 13320	10	mikrometer
Kepadatan curah	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Porositas terbuka	DIN66133	10	%
Ukuran pori sedang	DIN66133	1.8	mikrometer
Permeabilitas	DIN 51935	0,06	cm²/detik
Kekerasan Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Resistivitas listrik spesifik	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Kekuatan lentur	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kekuatan tekan	DIN 51910	130	MPa
Modulus Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Ekspansi termal (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Konduktivitas termal (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Produk ini dirancang khusus untuk manufaktur sel surya efisiensi tinggi, mendukung pemrosesan wafer ukuran besar G12. Desain pembawa yang dioptimalkan secara signifikan meningkatkan kapasitas produksi, memungkinkan tingkat hasil yang lebih tinggi dan biaya produksi yang lebih rendah.

Barang	Jenis	Pembawa wafer nomor
Perahu PEVCD Grephite - Seri 156	156-13 perahu grephite	144
	156-19 perahu grephite	216
	156-21 perahu grephite	240
	Perahu grafit 156-23	308
Perahu PEVCD Grephite - Seri 125	125-15 perahu grephite	196
	125-19 perahu grephite	252
	Perahu grafit 125-21	280