Perahu Wafer Silikon Karbida Rekristalisasi dengan Lapisan CVD

Deskripsi Singkat:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, serta ketahanan terhadap erosi, menjadikannya solusi sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.


Detail Produk

Label Produk

Sifat-sifat silikon karbida yang mengalami rekristalisasi

Silikon karbida rekristalisasi (R-SiC) adalah material berkinerja tinggi dengan kekerasan hanya kalah dari intan, yang terbentuk pada suhu tinggi di atas 2000℃. Material ini mempertahankan banyak sifat unggul SiC, seperti kekuatan suhu tinggi, ketahanan korosi yang kuat, ketahanan oksidasi yang sangat baik, ketahanan terhadap guncangan termal yang baik, dan sebagainya.

● Sifat mekanik yang sangat baik. Silikon karbida yang direkristalisasi memiliki kekuatan dan kekakuan yang lebih tinggi daripada serat karbon, ketahanan benturan yang tinggi, dapat menunjukkan kinerja yang baik dalam lingkungan suhu ekstrem, dan dapat memberikan kinerja penyeimbang yang lebih baik dalam berbagai situasi. Selain itu, ia juga memiliki fleksibilitas yang baik dan tidak mudah rusak akibat peregangan dan pembengkokan, yang sangat meningkatkan kinerjanya.

● Ketahanan korosi yang tinggi. Silikon karbida yang direkristalisasi memiliki ketahanan korosi yang tinggi terhadap berbagai media, dapat mencegah erosi berbagai media korosif, dapat mempertahankan sifat mekaniknya dalam waktu lama, memiliki daya rekat yang kuat, sehingga memiliki masa pakai yang lebih lama. Selain itu, ia juga memiliki stabilitas termal yang baik, dapat beradaptasi dengan perubahan suhu dalam kisaran tertentu, sehingga meningkatkan efektivitas aplikasinya.

● Proses sintering tidak menyusut. Karena proses sintering tidak menyusut, tidak ada tegangan sisa yang akan menyebabkan deformasi atau retak pada produk, dan komponen dengan bentuk kompleks dan presisi tinggi dapat dibuat.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Sifat Fisik Silikon Karbida yang Mengalami Rekristalisasi

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

使用温度/ Suhu kerja (°C)

1600°C (dengan oksigen), 1700°C (lingkungan pereduksi)

SiC含量/ Konten SiC

> 99,96%

ituSi含量/ Konten Si gratis

< 0,1%

体积密度/Kepadatan curah

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Porositas tampak

< 16%

抗压强度Kekuatan tekan

> 600MPa

常温抗弯强度/Kekuatan lentur dingin

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Kekuatan tekukan panas

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数Ekspansi termal @1500°C

4.70 10-6/°C

导热系数/Konduktivitas termal @1200°C

23W/m•K

杨氏模量Modulus elastis

240 GPa

抗热震性Ketahanan terhadap guncangan termal

Sangat bagus

VET Energy adalah ituProdusen asli produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan pelapisan CVD,dapat memasokbermacam-macamKomponen khusus untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik. OTim teknis kami berasal dari lembaga penelitian terkemuka di dalam negeri, sehingga dapat memberikan solusi material yang lebih profesional.untukmu.

Kami terus mengembangkan proses-proses canggih untuk menyediakan material yang lebih maju,DanTelah mengembangkan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih erat dan kurang rentan terhadap pelepasan.

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能

Sifat fisik dasar SiC CVDlapisan

性质 / Properti

典型数值 / Nilai Khas

晶体结构 / Struktur Kristal

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Kepadatan

3,21 g/cm³

硬度 / Kekerasan

2500 维氏硬度(beban 500g)

晶粒大小 Ukuran Butir

2~10μm

纯度 Kemurnian Kimiawi

99,99995%

热容 / Kapasitas Panas

640 J·kg-1·K-1

升华温度 Suhu Sublimasi

2700℃

抗弯强度 Kekuatan Lentur

415 MPa RT 4-titik

杨氏模量 Modulus Young

430 Gpa 4pt bend, 1300℃

导热系数 / ThermalDaya konduksi

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Kami dengan senang hati mengundang Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari kita berdiskusi lebih lanjut!

生产设备

 

公司客户

 


  • Sebelumnya:
  • Berikutnya:

  • Obrolan Online WhatsApp!