Rekristalliséiert Siliziumkarbid-Waferboot mat CVD-Beschichtung

Rekristalliséiert Siliziumcarbid-Waferboot mat CVD-Beschichtung - Featured Image

Kuerz Beschreiwung:

De VET Energy Rekristalliséierte Siliziumkarbid-Waferboat ass e performant Produkt, dat entwéckelt gouf fir eng konsequent a verlässlech Leeschtung iwwer eng länger Zäit ze bidden. Et huet eng super gutt Hëtztbeständegkeet an thermesch Uniformitéit, héich Rengheet, Erosiounsbeständegkeet, wat et zur perfekter Léisung fir Waferveraarbechtungsapplikatioune mécht.

Schéckt eis eng E-Mail Als PDF eroflueden

Produktdetailer

Produkt Tags

Eegeschafte vu rekristalliséiertem Siliziumcarbid

Rekristalliséiert Siliziumcarbid (R-SiC) ass en héichperformant Material mat enger Häert, déi nëmmen no Diamant, deen bei héijer Temperatur iwwer 2000 ℃ geformt gëtt, iwwerschreit. Et behält vill exzellent Eegeschafte vu SiC, wéi z. B. Héichtemperaturfestigkeit, staark Korrosiounsbeständegkeet, exzellent Oxidatiounsbeständegkeet, gutt Widderstandsfäegkeet géint Thermoschocken a sou weider.

● Excellent mechanesch Eegeschaften. Rekristalliséiert Siliziumkarbid huet eng méi héich Festigkeit a Steifheet wéi Kuelefaser, eng héich Schlagfestigkeit, kann eng gutt Leeschtung an extremen Temperaturëmfeld leeschten, kann eng besser Géigegewiichtsleistung an enger Villfalt vu Situatiounen hunn. Zousätzlech huet et och eng gutt Flexibilitéit a gëtt net einfach duerch Strecken a Biegen beschiedegt, wat seng Leeschtung däitlech verbessert.

● Héich Korrosiounsbeständegkeet. Rekristalliséiert Siliziumcarbid huet eng héich Korrosiounsbeständegkeet géint eng Villfalt vu Medien, kann d'Erosioun vun enger Villfalt vu korrosive Medien verhënneren, kann seng mechanesch Eegeschafte laang behalen, huet eng staark Haftung, sou datt et eng méi laang Liewensdauer huet. Zousätzlech huet et och eng gutt thermesch Stabilitéit, kann sech un e bestëmmte Beräich vun Temperaturännerungen upassen, a verbessert säin Uwendungseffekt.

● Sintern schrumpft net. Well de Sinterprozess net schrumpft, verursaacht keng Reschtspannung Verformung oder Rëssbildung vum Produkt, an Deeler mat komplexe Formen an héijer Präzisioun kënnen hiergestallt ginn.

重结晶碳化硅物理特性 Physikalesch Eegeschafte vu rekristalliséiertem Siliziumcarbid
性质 / Immobilie	典型数值 / Typesche Wäert
使用温度/ Aarbechtstemperatur (°C)	1600°C (mat Sauerstoff), 1700°C (reduzéierend Ëmwelt)
SiC含量/ SiC-Gehalt	> 99,96%
自由Si 含量/ Gratis Si Inhalt	< 0,1%
体积密度/Volumendicht	2,60-2,70 g/cm³³
气孔率/ Scheinbar Porositéit	< 16%
抗压强度/ Kompressiounsstäerkt	> 600MPa
常温抗弯强度/Kalt Biegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Hëtzt Biegefestigkeit	90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数/ Thermesch Expansioun @1500°C	4,70 10^-6/°C
导热系数/Wärmeleitfäegkeet @1200°C	23 JoerW/m•K
杨氏模量/ Elastizitéitsmodul	240 GPa
抗热震性/ Widderstand géint Thermeschock	Extrem gutt

VET Energie ass denrichtege Produzent vu personaliséierte Graphit- a Siliziumcarbidprodukter mat CVD-Beschichtung,kann liwwerenverschiddenPersonnaliséiert Deeler fir d'Hallefleeder- a Photovoltaikindustrie. OEis technesch Equipe kënnt aus den Top-Fuerschungsinstituter aus dem Inland a kann méi professionell Materialléisungen ubiddenfir dech.

Mir entwéckelen kontinuéierlech fortgeschratt Prozesser fir méi fortgeschratt Materialien ze liwweren,anhunn eng exklusiv patentéiert Technologie entwéckelt, déi d'Verbindung tëscht der Beschichtung an dem Substrat méi enk a manner ufälleg fir Ofléisen maache kann.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis physikalesch Eegeschafte vu CVD SiCBeschichtung
性质 / Immobilie	典型数值 / Typesche Wäert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β Phase多晶，主要为（111) 取向
密度 / Dicht	3,21 g/cm³
硬度 / Häert	2500 维氏硬度（500g Belaaschtung）
晶粒大小 / Kärengréisst	2~10μm
纯度 / Chemesch Rengheet	99,99995%
热容 / Hëtztkapazitéit	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimatiounstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegfestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Young säi Modul	430 Gpa 4pt Bieg, 1300℃
导热系数 / ThermalKonduktivitéit	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermesch Expansioun (CTE)	4,5×10^-6K^-1