Barco de wafer de carboneto de silício recristalizado com revestimento CVD

Descrição curta:

O Wafer Boat de Carboneto de Silício Recristalizado VET Energy é um produto de alto desempenho projetado para proporcionar desempenho consistente e confiável por um longo período. Possui excelente resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza e resistência à erosão, tornando-o a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.


Detalhes do produto

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Propriedades do carboneto de silício recristalizado

O carboneto de silício recristalizado (R-SiC) é um material de alto desempenho com dureza inferior apenas ao diamante, formado em altas temperaturas acima de 2000°C. Ele retém muitas das excelentes propriedades do SiC, como resistência a altas temperaturas, forte resistência à corrosão, excelente resistência à oxidação, boa resistência ao choque térmico, entre outras.

● Excelentes propriedades mecânicas. O carboneto de silício recristalizado possui maior resistência e rigidez do que a fibra de carbono, além de alta resistência ao impacto, podendo apresentar bom desempenho em ambientes com temperaturas extremas e melhor desempenho de contrapeso em diversas situações. Além disso, possui boa flexibilidade e não é facilmente danificado por estiramento e flexão, o que melhora significativamente seu desempenho.

● Alta resistência à corrosão. O carboneto de silício recristalizado possui alta resistência à corrosão em diversos meios, previne a erosão em diversos meios corrosivos, mantém suas propriedades mecânicas por muito tempo e possui forte adesão, o que lhe confere uma vida útil mais longa. Além disso, possui boa estabilidade térmica, adapta-se a uma determinada faixa de variações de temperatura e melhora seu efeito de aplicação.

● A sinterização não causa retração. Como o processo de sinterização não causa retração, nenhuma tensão residual causará deformação ou rachaduras no produto, permitindo a preparação de peças com formas complexas e alta precisão.

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重结晶碳化硅物理特性

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado

性质 / Propriedade

典型数值 / Valor típico

使用温度/ Temperatura de trabalho (°C)

1600°C (com oxigênio), 1700°C (ambiente redutor)

SiC含量/ Conteúdo de SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Conteúdo Si grátis

< 0,1%

体积密度/Densidade aparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Porosidade aparente

< 16%

抗压强度/ Resistência à compressão

> 600MPa

常温抗弯强度/Resistência à flexão a frio

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Resistência à flexão a quente

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Expansão térmica a 1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Condutividade térmica a 1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Módulo de elasticidade

240 GPa

抗热震性/ Resistência ao choque térmico

Extremamente bom

A VET Energy é overdadeiro fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com revestimento CVD,pode fornecerváriospeças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica. ONossa equipe técnica vem das principais instituições de pesquisa nacionais, pode fornecer soluções de materiais mais profissionaispara você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados,edesenvolveram uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa ao descolamento.

DCV SiC薄膜基本物理性能

Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento

性质 / Propriedade

典型数值 / Valor típico

晶体结构 / Estrutura Cristalina

Fase β da FCC多晶, 主要为(111)取向

密度 / Densidade

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 unidades (carga de 500g)

晶粒大小 / Tamanho do grão

2~10μm

纯度 / Pureza Química

99,99995%

热容 / Capacidade de Calor

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura de Sublimação

2700℃

抗弯强度 / Resistência à flexão

415 MPa RT 4 pontos

杨氏模量 / Módulo de Young

430 Gpa 4pt curva, 1300℃

导热系数 / TermaeuCondutividade

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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