Sekepe sa Wafer sa Silicon Carbide se Nchafalitsoeng se nang le CVD Coating

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Sekepe sa Wafer sa Silicon Carbide se Nchafalitsoeng sa VET Energy ke sehlahisoa se sebetsang hantle se etselitsoeng ho fana ka ts'ebetso e tsitsitseng le e tšepahalang ka nako e telele. Se na le khanyetso e ntle haholo ea mocheso le ho tšoana ha mocheso, bohloeki bo phahameng, khanyetso ea khoholeho ea mobu, e leng se etsang hore e be tharollo e phethahetseng bakeng sa lits'ebetso tsa ts'ebetso ea wafer.

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Thepa ea carbide ea silicon e entsoeng hape

Carbide ea silicon e nchafalitsoeng (R-SiC) ke thepa e sebetsang hantle haholo e nang le boima bo latelang daemane feela, e entsoeng mochesong o phahameng o fetang 2000℃. E boloka thepa e mengata e ntle ea SiC, joalo ka matla a mocheso o phahameng, ho hanyetsa mafome ka matla, ho hanyetsa oxidation ka mokhoa o motle, ho hanyetsa hantle mocheso le tse ling.

● Thepa e ntle haholo ea mechini. Carbide ea silicon e nchafalitsoeng e na le matla le ho tiea ho feta fiber ea carbon, e hanyetsa ka matla a phahameng, e ka bapala ts'ebetso e ntle maemong a mocheso o feteletseng, e ka bapala ts'ebetso e ntle ea ho hanyetsa maemo maemong a fapaneng. Ho feta moo, e boetse e na le ho tenyetseha ho hoholo 'me ha e senyehe habonolo ka ho otlolla le ho kobeha, e leng se ntlafatsang ts'ebetso ea eona haholo.

● Ho hanyetsa ho hoholo ha mafome. Carbide ea silicon e nchafalitsoeng e na le ho hanyetsa ho hoholo ha mafome ho mefuta e fapaneng ea mecha ea phatlalatso, e ka thibela ho senyeha ha mefuta e fapaneng ea mecha ea phatlalatso e senyang, e ka boloka thepa ea eona ea mechini nako e telele, e na le ho khomarela ho matla, e le hore e be le bophelo bo bolelele ba tšebeletso. Ho phaella moo, e boetse e na le botsitso bo botle ba mocheso, e ka ikamahanya le mefuta e itseng ea liphetoho tsa mocheso, ea ntlafatsa phello ea ts'ebeliso ea eona.

● Ho sila ha ho fokotsehe. Hobane ts'ebetso ea ho sila ha e fokotsehe, ha ho na khatello e setseng e tla baka ho fetoha kapa ho petsoha ha sehlahisoa, 'me likarolo tse nang le libopeho tse rarahaneng le ho nepahala ho hoholo li ka lokisoa.

重结晶碳化硅物理特性 Thepa ea 'mele ea Silicon Carbide e Nchafalitsoeng
性质 / Thepa	典型数值 / Boleng bo Tloaelehileng
使用温度/ Mocheso o sebetsang (°C)	1600°C (ka oksijene), 1700°C (tikoloho e fokotsang)
SiC含量/ Dikahare tsa SiC	> 99.96%
自由Si含量/ Dikahare tsa mahala tsa Si	< 0.1%
体积密度/Bongata ba bongata	2.60-2.70 g/cm³
气孔率/ Ho bonahala eka ho na le masoba	< 16%
抗压强度/ Matla a khatello	> 600MPa
常温抗弯强度/Matla a ho koba a batang	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度Matla a ho koba a chesang	90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数/ Katoloso ea mocheso @1500°C	4.70 10^-6/°C
导热系数/Ho tsamaisa mocheso ka mocheso @1200°C	23Bophahamo/m•K
杨氏模量/ Modulus ea elastic	240 GPa
抗热震性/ Ho hanyetsa ho thothomela ha mocheso	E ntle haholo

VET Energy ke emoetsi oa 'nete oa lihlahisoa tsa graphite le silicon carbide tse ikhethileng tse nang le pente ea CVD,e ka fana katse fapanenglikarolo tse ikhethileng bakeng sa indasteri ea semiconductor le photovoltaic. OSehlopha sa rona sa botekgeniki se tsoa litsing tse holimo tsa lipatlisiso tsa lehae, se ka fana ka litharollo tse ling tsa lisebelisoa tsa profeshenalemolemong oa hau.

Re tsoela pele ho nts'etsapele lits'ebetso tse tsoetseng pele ho fana ka lisebelisoa tse tsoetseng pele haholoanyane,leba sebelitse theknoloji e ikhethang e nang le patente, e ka etsang hore kamano pakeng tsa sekoahelo le substrate e tiee le hore e se ke ea arohana habonolo.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Thepa ea motheo ea 'mele ea CVD SiCsekoahelo
性质 / Thepa	典型数值 / Boleng bo Tloaelehileng
晶体结构 / Sebopeho sa kristale	Mokhahlelo oa FCC β多晶，主要為（111）取向
密度 / Botenya	3.21 g/cm³
硬度 / Bothata	2500 维氏硬度 (moroalo oa 500g)
晶粒大小 / Sekala sa Lithollo	2 ~ 10μm
纯度 / Bohloeki ba Lik'hemik'hale	99.99995%
热容 / Bokgoni ba Mocheso	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Mocheso oa Sublimation	2700℃
抗弯强度 / Matla a ho Kobeha	415 MPa RT lintlha tse 4
杨氏模量 / Modulus ea Bacha	430 Gpa kobeho ea 4pt, 1300℃
导热系数 / ThermalHo khanna motlakase	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Katoloso ea Thermal (CTE)	4.5×10^-6K^-1