Barcaza de oblea de carburo de silicio recristalizado con recubrimiento CVD

Breve descripción:

El molde para obleas de carburo de silicio recristalizado de VET Energy es un producto de alto rendimiento diseñado para ofrecer un desempeño constante y confiable durante un período prolongado. Posee una excelente resistencia al calor y uniformidad térmica, alta pureza y resistencia a la erosión, lo que lo convierte en la solución ideal para aplicaciones de procesamiento de obleas.


Detalles del producto

Etiquetas de producto

Propiedades del carburo de silicio recristalizado

El carburo de silicio recristalizado (R-SiC) es un material de alto rendimiento con una dureza solo superada por el diamante, que se forma a una temperatura superior a 2000 ℃. Conserva muchas de las excelentes propiedades del SiC, como la resistencia a altas temperaturas, la fuerte resistencia a la corrosión, la excelente resistencia a la oxidación, la buena resistencia al choque térmico, etc.

● Excelentes propiedades mecánicas. El carburo de silicio recristalizado posee mayor resistencia y rigidez que la fibra de carbono, alta resistencia al impacto y un buen desempeño en entornos de temperaturas extremas, ofreciendo un mejor equilibrio en diversas situaciones. Además, cuenta con buena flexibilidad y no se daña fácilmente al estirarse o doblarse, lo que mejora notablemente su rendimiento.

● Alta resistencia a la corrosión. El carburo de silicio recristalizado presenta una alta resistencia a la corrosión en diversos medios, previene la erosión causada por estos y mantiene sus propiedades mecánicas durante mucho tiempo. Posee una fuerte adhesión, lo que le confiere una mayor vida útil. Además, cuenta con una buena estabilidad térmica, adaptándose a un rango determinado de variaciones de temperatura y mejorando su eficacia en diversas aplicaciones.

● La sinterización no produce contracción. Dado que el proceso de sinterización no produce contracción, no se generan tensiones residuales que provoquen deformación o agrietamiento del producto, y se pueden fabricar piezas con formas complejas y de alta precisión.

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重结晶碳化硅物理特性

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

使用温度/ Temperatura de funcionamiento (°C)

1600 °C (con oxígeno), 1700 °C (ambiente reductor)

Sic含量/ Contenido de SiC

> 99,96%

自由Si含量Contenido gratuito de Si

< 0,1%

体积密度/Densidad aparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率Porosidad aparente

< 16%

抗压强度/ Resistencia a la compresión

> 600MPa

常温抗弯强度/Resistencia a la flexión en frío

80-90 MPa (20 °C)

高温抗弯强度Resistencia al doblado en caliente

90-100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Expansión térmica a 1500 °C

4.70 10-6/°C

导热系数/Conductividad térmica a 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量/ Módulo de elasticidad

240 GPa

抗热震性Resistencia al choque térmico

Extremadamente bueno

VET Energy es elFabricante real de productos personalizados de grafito y carburo de silicio con recubrimiento CVD,puede suministrarvariosComponentes personalizados para la industria de semiconductores y fotovoltaica. ONuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede proporcionar soluciones de materiales más profesionales.para ti.

Desarrollamos continuamente procesos avanzados para proporcionar materiales más avanzados,yHan desarrollado una tecnología exclusiva patentada que permite una unión más firme entre el recubrimiento y el sustrato, reduciendo la probabilidad de desprendimiento.

Enfermedad cardiovascular SiC薄膜基本物理性能

Propiedades físicas básicas del SiC CVDrevestimiento

性质 / Propiedad

典型数值 / Valor típico

晶体结构 Estructura cristalina

Fase β de la FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densidad

3,21 g/cm³

硬度 / Dureza

2500 libras (carga de 500 g)

晶粒大小 / Tamaño del grano

2~10 μm

纯度 Pureza química

99,99995%

热容 Capacidad calorífica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 Temperatura de sublimación

2700℃

抗弯强度 / Resistencia a la flexión

415 MPa RT 4 puntos

杨氏模量 Módulo de Young

430 GPa, codo de 4 puntos, 1300 ℃

导热系数 / ThermalConductividad

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Expansión térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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