Ọkọ̀ ojú omi Silikoni Carbide Wafer tí a tún ṣe àtúnṣe pẹ̀lú ìbòrí CVD

Àpèjúwe Kúkúrú:

Ọkọ̀ ojú omi VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat jẹ́ ọjà tó ní agbára gíga tí a ṣe láti pèsè iṣẹ́ tó dúró ṣinṣin àti tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé fún àkókò gígùn. Ó ní agbára ìdènà ooru tó dára gan-an àti ìṣọ̀kan ooru, mímọ́ tó ga, àti agbára ìfọ́, èyí tó mú kí ó jẹ́ ojútùú pípé fún àwọn ohun èlò ṣíṣe wafer.


Àlàyé Ọjà

Àwọn àmì ọjà

Àwọn ohun ìní ti atunlo carbide silikoni

Atunlo silikoni carbide (R-SiC) jẹ́ ohun èlò tó ní agbára gíga pẹ̀lú líle tó ga ju diamond lọ, èyí tó wà ní ìwọ̀n otútù tó ga ju 2000℃ lọ. Ó ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ànímọ́ tó dára jùlọ ti SiC, bíi agbára ooru tó ga, agbára ìpalára tó lágbára, agbára ìdènà oxidation tó dára, agbára ìdènà ooru tó dára àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.

● Àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ tó dára gan-an. Agbára àti líle tó ga ju okùn erogba lọ, agbára ìdènà tó ga, ó lè ṣe iṣẹ́ tó dára ní àwọn àyíká otútù tó le koko, ó lè ṣe iṣẹ́ tó dára ní onírúurú ipò. Ní àfikún, ó tún ní ìyípadà tó dára, kì í sì í rọrùn láti nà àti títẹ̀, èyí tó mú kí iṣẹ́ rẹ̀ sunwọ̀n sí i.

● Agbara ipata giga. Atunlo carbide silicon ti a tunṣe ni agbara ipata giga si ọpọlọpọ awọn media, o le ṣe idiwọ iparun ti ọpọlọpọ media ibajẹ, o le ṣetọju awọn agbara ẹrọ rẹ fun igba pipẹ, o ni asopọ to lagbara, nitorinaa o ni igbesi aye iṣẹ gigun. Ni afikun, o tun ni iduroṣinṣin ooru to dara, o le ṣe deede si awọn iyipada iwọn otutu kan, mu ipa lilo rẹ dara si.

● Sísíntì kì í dínkù. Nítorí pé ìlànà sísíntì kì í dínkù, kò sí ìdààmú tó kù tó lè fa ìbàjẹ́ tàbí fífọ́ ọjà náà, a sì lè pèsè àwọn apá tó ní àwọn ìrísí tó díjú àti ìpele tó ga.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Àwọn ohun ìní ti ara ti Atunlo Silikoni Carbide

性质 / Ohun-ini

典型数值 / Iye deede

使用温度/ Iwọn otutu iṣiṣẹ (°C)

1600°C (pẹ̀lú atẹ́gùn), 1700°C (àyíká tó ń dínkù)

SiC含量/ Àkóónú SiC

> 99.96%

自由Si含量/ Akoonu Si ọfẹ

< 0.1%

体积密度/Ìwọ̀n púpọ̀

2.60-2.70 g/cm3

气孔率/ Àwọn ihò tó hàn gbangba

< 16%

抗压强度/ Agbára ìfúnpọ̀

> 600MPA

常温抗弯强度/Agbára títẹ̀ tútù

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Agbara titẹ gbigbona

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Ìfàsẹ́yìn ooru @1500°C

4.70 10-6/°C

导热系数/Ìlànà ìgbóná ooru @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Modulu rirọ

240 GPA

抗热震性/ Iduroṣinṣin mọnamọna ooru

O dara pupọ

Agbara VET ni Àwọn nǹkan wọ̀nyí ló fà á tí wọ́n fi ń ṣe àtúnṣe sí ara wọn.olupese gidi ti awọn ọja graphite ti a ṣe adani ati silikoni carbide pẹlu ibora CVD,le peseoriṣiriṣiawọn ẹya ti a ṣe adani fun ile-iṣẹ semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic. OẸgbẹ imọ-ẹrọ rẹ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile oke, le pese awọn solusan ohun elo ọjọgbọn diẹ siifun e.

A n ṣe agbekalẹ awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju diẹ sii,àtiti ṣe àgbékalẹ̀ ìmọ̀-ẹ̀rọ tí a fọwọ́ sí, èyí tí ó lè mú kí ìsopọ̀ láàárín ìbòrí àti ohun èlò ìṣàlẹ̀ náà le koko jù, kí ó sì má baà jẹ́ kí wọ́n ya ara wọn sọ́tọ̀.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCibora

性质 / Ohun-ini

典型数值 / Iye deede

晶体结构 / Ìṣètò Kírísítà

Ìpele FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / Ìwọ̀n

3.21 g/cm³

硬度 / Líle

2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)

晶粒大小 / Iwọn ọkà

2 ~ 10μm

纯度 / Ìmọ́tótó Kẹ́míkà

99.99995%

热容 / Agbara Ooru

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Iwọn otutu sublimation

2700℃

抗弯强度 / Agbára Rírọ̀

415 MPa RT 4-point

杨氏模量 / Modulu Young

430 GPA 4pt tẹ, 1300℃

导热系数 / ThermalÌgbékalẹ̀ ìṣiṣẹ́

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Ìfàsẹ́yìn Ooru (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

Ẹ kí yin káàbọ̀ pẹ̀lú ayọ̀ láti wá sí ilé iṣẹ́ wa, ẹ jẹ́ kí a tún jíròrò rẹ̀!

生产设备

 

公司客户

 


  • Ti tẹlẹ:
  • Itele:

  • Iwiregbe lori ayelujara WhatsApp!