Plaquette de carbure de silicium recristallisé avec revêtement CVD

Brève description :

La nacelle de plaquettes en carbure de silicium recristallisé VET Energy est un produit haute performance conçu pour offrir des performances constantes et fiables sur une longue période. Elle présente une excellente résistance à la chaleur et une excellente uniformité thermique, une grande pureté et une résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution idéale pour les applications de traitement de plaquettes.


Détails du produit

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Propriétés du carbure de silicium recristallisé

Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau hautes performances, d'une dureté surpassant celle du diamant. Il est formé à des températures supérieures à 2 000 °C. Il conserve de nombreuses propriétés remarquables du SiC, telles que sa résistance aux températures élevées, sa forte résistance à la corrosion, son excellente résistance à l'oxydation et sa bonne résistance aux chocs thermiques.

● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recristallisé offre une résistance et une rigidité supérieures à celles de la fibre de carbone, une résistance élevée aux chocs, une excellente performance dans des environnements à températures extrêmes et un meilleur équilibre dans diverses situations. De plus, il présente une bonne flexibilité et résiste aux déformations, ce qui améliore considérablement ses performances.

● Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recristallisé présente une résistance élevée à la corrosion dans divers milieux, prévient l'érosion due à divers agents corrosifs, conserve ses propriétés mécaniques à long terme et possède une forte adhérence, ce qui prolonge sa durée de vie. De plus, il présente une bonne stabilité thermique, s'adapte à certaines variations de température et améliore son efficacité d'application.

● Frittage sans retrait. Grâce à ce procédé, aucune contrainte résiduelle ne provoque de déformation ou de fissuration du produit, et des pièces aux formes complexes et de haute précision peuvent être préparées.

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重结晶碳化硅物理特性

Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

使用温度/ Température de fonctionnement (°C)

1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur)

SiC含量/ Teneur en SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Contenu Si gratuit

< 0,1%

体积密度/Densité apparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Porosité apparente

< 16%

抗压强度/ Résistance à la compression

> 600MPa

常温抗弯强度/Résistance à la flexion à froid

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Résistance à la flexion à chaud

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Dilatation thermique à 1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Conductivité thermique à 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量/ Module d'élasticité

240 GPa

抗热震性/ Résistance aux chocs thermiques

Extrêmement bon

VET Energy est levéritable fabricant de produits personnalisés en graphite et carbure de silicium avec revêtement CVD,peut fournirdiverspièces personnalisées pour l'industrie des semi-conducteurs et du photovoltaïque. ONotre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut fournir des solutions matérielles plus professionnelles.pour toi.

Nous développons continuellement des procédés avancés pour fournir des matériaux plus avancés,etont mis au point une technologie brevetée exclusive, qui permet de rendre la liaison entre le revêtement et le substrat plus étroite et moins sujette au détachement.

maladies cardiovasculaires SiC薄膜基本物理性能

Propriétés physiques de base du SiC CVDrevêtement

性质 / Propriété

典型数值 / Valeur typique

晶体结构 / Structure cristalline

Phase β du FCC多晶,主要为(111)

密度 / Densité

3,21 g/cm³

硬度 / Dureté

2 500 维氏硬度 (charge de 500 g)

晶粒大小 / Granulométrie

2 à 10 μm

纯度 / Pureté chimique

99,99995%

热容 / Capacité thermique

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Température de sublimation

2700℃

抗弯强度 / Résistance à la flexion

415 MPa RT 4 points

杨氏模量 / Module de Young

430 Gpa 4pt courbé, 1300℃

导热系数 / ThermalConductivité

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatation thermique (CTE)

4,5 × 10-6K-1

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