Omkristalliserad kiselkarbidwaferbåt med CVD-beläggning

Kort beskrivning:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat är en högpresterande produkt utformad för att ge konsekvent och pålitlig prestanda över en längre period. Den har supergod värmebeständighet och termisk likformighet, hög renhet och erosionsbeständighet, vilket gör den till den perfekta lösningen för waferbearbetningsapplikationer.


Produktinformation

Produktetiketter

Egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid

Omkristalliserad kiselkarbid (R-SiC) är ett högpresterande material med en hårdhet som är näst efter diamant, vilken bildas vid en hög temperatur över 2000 ℃. Den behåller många av SiC:s utmärkta egenskaper, såsom hög temperaturhållfasthet, stark korrosionsbeständighet, utmärkt oxidationsbeständighet, god termisk chockbeständighet och så vidare.

● Utmärkta mekaniska egenskaper. Omkristalliserad kiselkarbid har högre hållfasthet och styvhet än kolfiber, hög slagtålighet, kan prestera bra i extrema temperaturmiljöer och ge bättre motviktsprestanda i en mängd olika situationer. Dessutom har den god flexibilitet och skadas inte lätt av sträckning och böjning, vilket avsevärt förbättrar dess prestanda.

● Hög korrosionsbeständighet. Omkristalliserad kiselkarbid har hög korrosionsbeständighet mot en mängd olika medier, kan förhindra erosion av en mängd olika korrosiva medier, kan bibehålla sina mekaniska egenskaper under lång tid, har stark vidhäftning, vilket ger en längre livslängd. Dessutom har den god termisk stabilitet, kan anpassa sig till ett visst temperaturområde och förbättra dess appliceringseffekt.

● Sintring krymper inte. Eftersom sintringsprocessen inte krymper kommer ingen kvarvarande spänning att orsaka deformation eller sprickbildning i produkten, och delar med komplexa former och hög precision kan framställas.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

使用温度/ Arbetstemperatur (°C)

1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö)

Sic含量/ SiC-innehåll

> 99,96 %

自由Si含量/ Gratis Si-innehåll

< 0,1 %

体积密度/Skrymdensitet

2,60–2,70 g/cm²3

气孔率/ Skenbar porositet

< 16 %

抗压强度/ Kompressionsstyrka

> 600MPa

常温抗弯强度/Kall böjhållfasthet

80–90 MPa (20 °C)

高温抗弯强度Varm böjhållfasthet

90–100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Termisk expansion vid 1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Värmeledningsförmåga vid 1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Elasticitetsmodul

240 GPa

抗热震性/ Termisk chockbeständighet

Extremt bra

VET Energy är deriktig tillverkare av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikaanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. OVårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda mer professionella materiallösningarför dig.

Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material,ochhar utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning

性质 / Fastighet

典型数值 / Typiskt värde

晶体结构 / Kristallstruktur

FCC β-fas多晶,主要为(111)取向

密度 / Densitet

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhet

2500 维氏硬度(500g last)

晶粒大小 / Kornstorlek

2~10 μm

纯度 / Kemisk renhet

99,99995 %

热容 / Värmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Böjhållfasthet

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃

导热系数 / TermajagLedningsförmåga

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidigare:
  • Nästa:

  • WhatsApp onlinechatt!