Рекристалізована вафельна човен з карбіду кремнію з покриттям CVD

Рекристалізована пластина з карбіду кремнію з покриттям CVD, зображене на зображенні

Короткий опис:

Човник для пластин з рекристалізованого карбіду кремнію від VET Energy – це високопродуктивний продукт, розроблений для забезпечення стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду. Він має надзвичайно добру термостійкість та термічну однорідність, високу чистоту та стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

Властивості рекристалізованого карбіду кремнію

Рекристалізований карбід кремнію (R-SiC) – це високоефективний матеріал, твердість якого поступається лише алмазу. Він утворюється за високої температури понад 2000℃. Він зберігає багато чудових властивостей SiC, таких як міцність на високі температури, висока корозійна стійкість, відмінна стійкість до окислення, хороша термостійкість тощо.

● Відмінні механічні властивості. Рекристалізований карбід кремнію має вищу міцність і жорсткість, ніж вуглецеве волокно, високу ударостійкість, може добре працювати в екстремальних температурах, краще збалансовувати в різних ситуаціях. Крім того, він також має добру гнучкість і не легко пошкоджується при розтягуванні та згинанні, що значно покращує його експлуатаційні характеристики.

● Висока корозійна стійкість. Рекристалізований карбід кремнію має високу корозійну стійкість до різних середовищ, може запобігати ерозії в різних агресивних середовищах, може довго зберігати свої механічні властивості, має міцну адгезію, завдяки чому має довший термін служби. Крім того, він також має добру термостабільність, може адаптуватися до певного діапазону температурних коливань, покращуючи свій ефект застосування.

● Спікання не стискається. Оскільки процес спікання не стискається, залишкові напруження не спричиняють деформації чи розтріскування виробу, і можна виготовляти деталі складної форми з високою точністю.

重结晶碳化硅物理特性 Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію
性质 / Нерухомість	典型数值 / Типове значення
使用温度/ Робоча температура (°C)	1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище)
Карбід кремнію含量/ Вміст карбіду кремнію	> 99,96%
自由Si含量/ Безкоштовний контент Si	< 0,1%
体积密度/Насипна щільність	2,60-2,70 г/см³
气孔率/ Видима пористість	< 16%
抗压强度/ Міцність на стиск	> 600МПа
常温抗弯强度/Міцність на холодний вигин	80-90 МПа (20°C)
高温抗弯强度Міцність на гарячий вигин	90-100 МПа (1400°C)
热膨胀系数/ Теплове розширення при 1500°C	4.70 10^-6/°C
导热系数/Теплопровідність при 1200°C	23Вт/м•К
杨氏模量/ Модуль пружності	240 ГПа
抗热震性/ Стійкість до термічних ударів	Надзвичайно добре

Енергетика VET – це той/та/тесправжній виробник виробів з графіту та карбіду кремнію на замовлення з CVD-покриттям,може постачатирізнідеталі на замовлення для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. OНаша технічна команда походить з провідних вітчизняних дослідницьких установ і може запропонувати більш професійні рішення щодо матеріалівдля тебе.

Ми постійно розробляємо передові процеси, щоб забезпечити ще більш досконалі матеріали,ірозробили ексклюзивну запатентовану технологію, яка може зробити зчеплення між покриттям та основою міцнішим та менш схильним до відшаровування.

серцево-судинних захворювань SiC薄膜基本物理性能 Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття
性质 / Нерухомість	典型数值 / Типове значення
晶体结构 / Кристалічна структура	β-фаза ГЦК多晶，主要为（111）取向
密度 / Щільність	3,21 г/см³
硬度 / Твердість	2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)
晶粒大小 / Розмір зерна	2~10 мкм
纯度 / Хімічна чистота	99,99995%
热容 / Теплоємність	640 Дж·кг^-1·К^-1
升华温度 / Температура сублімації	2700℃
抗弯强度 / Міцність на згин	415 МПа RT 4-точковий
杨氏模量 / Модуль Юнга	430 ГПа, вигин 4 пт, 1300℃
导热系数 / ТермалПровідність	300 Вт·м^-1·К^-1
热膨胀系数 / Теплове розширення (КТР)	4,5×10^-6K^-1