Wafer di carburo di silicio ricristallizzato con rivestimento CVD

Breve descrizione:

Il wafer in carburo di silicio ricristallizzato VET Energy è un prodotto ad alte prestazioni progettato per garantire prestazioni costanti e affidabili per un lungo periodo. Vanta un'eccellente resistenza al calore e uniformità termica, elevata purezza e resistenza all'erosione, caratteristiche che lo rendono la soluzione ideale per le applicazioni di lavorazione dei wafer.


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Proprietà del carburo di silicio ricristallizzato

Il carburo di silicio ricristallizzato (R-SiC) è un materiale ad alte prestazioni con una durezza seconda solo a quella del diamante, che si forma ad un'alta temperatura superiore a 2000 °C. Conserva molte delle eccellenti proprietà del SiC, come l'elevata resistenza alle alte temperature, la forte resistenza alla corrosione, l'eccellente resistenza all'ossidazione, la buona resistenza agli shock termici e così via.

● Eccellenti proprietà meccaniche. Il carburo di silicio ricristallizzato ha una resistenza e una rigidità superiori rispetto alla fibra di carbonio, un'elevata resistenza agli urti, può svolgere un buon lavoro in ambienti con temperature estreme e può garantire un migliore bilanciamento in diverse situazioni. Inoltre, possiede anche una buona flessibilità e non si danneggia facilmente con allungamenti e piegamenti, il che ne migliora notevolmente le prestazioni.

● Elevata resistenza alla corrosione. Il carburo di silicio ricristallizzato presenta un'elevata resistenza alla corrosione in diversi ambienti, prevenendo l'erosione causata da agenti corrosivi, mantenendo a lungo le proprie proprietà meccaniche e garantendo una forte adesione, con conseguente maggiore durata. Inoltre, possiede una buona stabilità termica, adattandosi a un certo intervallo di variazioni di temperatura e migliorando le prestazioni applicative.

● La sinterizzazione non provoca contrazione. Poiché il processo di sinterizzazione non comporta contrazione, non si verificano tensioni residue che causano deformazioni o crepe nel prodotto, consentendo la realizzazione di componenti con forme complesse e di elevata precisione.

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重结晶碳化硅物理特性

Proprietà fisiche del carburo di silicio ricristallizzato

性质 / Proprietà

典型数值 / Valore tipico

使用温度/ Temperatura di esercizio (°C)

1600 °C (con ossigeno), 1700 °C (in ambiente riducente)

SiC含量/ Contenuto di SiC

> 99,96%

自由Si含量/ Contenuto di Si libero

< 0,1%

体积密度/densità apparente

2,60-2,70 g/cm3

气孔率Porosità apparente

< 16%

抗压强度/ Resistenza alla compressione

> 600MPa

常温抗弯强度/resistenza alla flessione a freddo

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度resistenza alla piegatura a caldo

90-100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Dilatazione termica a 1500 °C

4,70 10-6/°C

导热系数/Conduttività termica a 1200 °C

23W/m•K

杨氏模量/ Modulo elastico

240 GPa

抗热震性/ Resistenza agli shock termici

Estremamente buono

VETF Energy è ILvero produttore di prodotti personalizzati in grafite e carburo di silicio con rivestimento CVD,può fornirevariComponenti personalizzati per l'industria dei semiconduttori e del fotovoltaico. OIl nostro team tecnico proviene dai migliori istituti di ricerca nazionali ed è in grado di fornire soluzioni materiali più professionali.per te.

Sviluppiamo continuamente processi avanzati per fornire materiali più avanzati,Ehanno sviluppato una tecnologia brevettata esclusiva, in grado di rendere l'adesione tra il rivestimento e il substrato più forte e meno soggetta al distacco.

Malattia cardiovascolare SiC薄膜基本物理性能

Proprietà fisiche di base del SiC CVDrivestimento

性质 / Proprietà

典型数值 / Valore tipico

晶体结构 / Struttura cristallina

Fase β FCC多晶,主要为(111)取向

密度 / Densità

3,21 g/cm³

硬度 / Durezza

2500 tonnellate di carico (carico da 500 g)

晶粒大小 / Dimensione del grano

2~10μm

纯度 / Purezza chimica

99,99995%

热容 / Capacità termica

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Temperatura di sublimazione

2700℃

抗弯强度 / Resistenza alla flessione

415 MPa RT 4 punti

杨氏模量 Modulo di Young

430 GPa piegatura a 4 punti, 1300℃

导热系数 / ThermalConduttività

300 W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Dilatazione termica (CTE)

4,5×10-6K-1

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Vi diamo un caloroso benvenuto a visitare il nostro stabilimento, saremo lieti di discuterne ulteriormente!

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