Thuyền đựng tấm wafer silicon carbide tái kết tinh với lớp phủ CVD

Mô tả ngắn gọn:

Khay đựng wafer silicon carbide tái kết tinh VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để cung cấp hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Sản phẩm có khả năng chịu nhiệt và độ đồng đều nhiệt tuyệt vời, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn, trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Tính chất của cacbua silic tái kết tinh

Silicon carbide tái kết tinh (R-SiC) là một vật liệu hiệu năng cao với độ cứng chỉ đứng sau kim cương, được hình thành ở nhiệt độ cao trên 2000℃. Nó giữ lại nhiều đặc tính tuyệt vời của SiC, chẳng hạn như độ bền ở nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn mạnh, khả năng chống oxy hóa tuyệt vời, khả năng chịu sốc nhiệt tốt, v.v.

● Tính chất cơ học tuyệt vời. Silicon carbide tái kết tinh có độ bền và độ cứng cao hơn sợi carbon, khả năng chống va đập cao, có thể hoạt động tốt trong môi trường nhiệt độ khắc nghiệt, có thể đóng vai trò đối trọng tốt hơn trong nhiều tình huống khác nhau. Ngoài ra, nó còn có độ dẻo tốt và không dễ bị hư hại khi kéo giãn và uốn cong, giúp cải thiện đáng kể hiệu suất của nó.

● Khả năng chống ăn mòn cao. Cacbua silic tái kết tinh có khả năng chống ăn mòn cao với nhiều loại môi trường, có thể ngăn chặn sự ăn mòn của nhiều loại môi trường ăn mòn, có thể duy trì các tính chất cơ học trong thời gian dài, có độ bám dính mạnh, do đó có tuổi thọ cao hơn. Ngoài ra, nó cũng có độ ổn định nhiệt tốt, có thể thích ứng với một phạm vi thay đổi nhiệt độ nhất định, nâng cao hiệu quả ứng dụng.

● Quá trình thiêu kết không gây co ngót. Do quá trình thiêu kết không gây co ngót, nên sẽ không có ứng suất dư gây biến dạng hoặc nứt vỡ sản phẩm, và có thể chế tạo các chi tiết có hình dạng phức tạp và độ chính xác cao.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Tính chất vật lý của cacbua silic tái kết tinh

性质 / Tài sản

典型数值 Giá trị điển hình

使用温度/ Nhiệt độ hoạt động (°C)

1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử)

SiC含量Hàm lượng SiC

> 99,96%

自由Si含量Hàm lượng Si tự do

< 0,1%

体积密度/Mật độ khối

2,60-2,70 g/cm³3

气孔率Độ xốp biểu kiến

< 16%

抗压强度/ Độ bền nén

> 600MPa

常温抗弯强度/Độ bền uốn nguội

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Độ bền uốn nóng

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Sự giãn nở nhiệt ở 1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Độ dẫn nhiệt ở 1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Mô đun đàn hồi

240 GPa

抗热震性/ Khả năng chống sốc nhiệt

Cực kỳ tốt

VET Energy là cáiNhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với lớp phủ CVD.có thể cung cấpnhiềuCác linh kiện tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.Dành cho bạn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu chất lượng cao hơn.Chúng tôi đã phát triển một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt hơn và ít bị bong tróc hơn.

Bệnh tim mạch SiC薄膜基本物理性能

Các tính chất vật lý cơ bản của SiC CVDlớp phủ

性质 / Tài sản

典型数值 Giá trị điển hình

晶体结构 Cấu trúc tinh thể

Pha β của FCC多晶, 主要为(111)取向

密度 / Tỉ trọng

3,21 g/cm³

硬度 Độ cứng

2500 维氏硬度(tải 500g)

晶粒大小 / Kích thước hạt

2~10μm

纯度 Độ tinh khiết hóa học

99,99995%

热容 / Dung lượng nhiệt

640 J·kg-1·K-1

升华温度 Nhiệt độ thăng hoa

2700℃

抗弯强度 Sức mạnh uốn cong

415 MPa RT 4 điểm

杨氏模量 Mô đun Young

Uốn cong 4 điểm, 430 GPa, 1300℃

导热系数 / ThermalĐộ dẫn điện

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 Hệ số giãn nở nhiệt (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Rất hân hạnh được đón tiếp quý khách đến thăm nhà máy của chúng tôi, hãy cùng trao đổi thêm nhé!

生产设备

 

公司客户

 


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến qua WhatsApp!