Omkrystalliseret siliciumcarbidwaferbåd med CVD-belægning

Kort beskrivelse:

VET Energy Recrystallized Silicon Carbide Wafer Boat er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed og erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferforarbejdningsapplikationer.


Produktdetaljer

Produktmærker

Egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid

Omkrystalliseret siliciumcarbid (R-SiC) er et højtydende materiale med en hårdhed, der kun overgår diamant, da den dannes ved en høj temperatur over 2000 ℃. Det bevarer mange af SiC's fremragende egenskaber, såsom høj temperaturstyrke, stærk korrosionsbestandighed, fremragende oxidationsbestandighed, god termisk chokmodstand og så videre.

● Fremragende mekaniske egenskaber. Omkrystalliseret siliciumcarbid har højere styrke og stivhed end kulfiber, høj slagfasthed, kan yde god ydeevne i ekstreme temperaturmiljøer og en bedre modvægt i en række forskellige situationer. Derudover har det også god fleksibilitet og beskadiges ikke let ved strækning og bøjning, hvilket forbedrer dets ydeevne betydeligt.

● Høj korrosionsbestandighed. Omkrystalliseret siliciumcarbid har høj korrosionsbestandighed over for en række forskellige medier, kan forhindre erosion fra en række forskellige korrosive medier, kan bevare sine mekaniske egenskaber i lang tid, har en stærk vedhæftning, hvilket giver en længere levetid. Derudover har det også god termisk stabilitet, kan tilpasse sig et bestemt temperaturområde og forbedre dets anvendelseseffekt.

● Sintring krymper ikke. Da sintringsprocessen ikke krymper, vil der ikke opstå restspændinger, der forårsager deformation eller revner i produktet, og dele med komplekse former og høj præcision kan fremstilles.

IMG_9497
IMG_9503

重结晶碳化硅物理特性

Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid

性质 / Ejendom

典型数值 / Typisk værdi

使用温度/ Arbejdstemperatur (°C)

1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø)

SiC含量/ SiC-indhold

> 99,96%

自由Si含量/ Gratis Si-indhold

< 0,1%

体积密度/Rumdensitet

2,60-2,70 g/cm²3

气孔率/ Tilsyneladende porøsitet

< 16%

抗压强度/ Kompressionsstyrke

> 600MPa

常温抗弯强度/Kold bøjningsstyrke

80-90 MPa (20°C)

高温抗弯强度Varm bøjningsstyrke

90-100 MPa (1400°C)

热膨胀系数/ Termisk udvidelse @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Varmeledningsevne @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Elasticitetsmodul

240 GPa

抗热震性/ Termisk stødmodstand

Ekstremt god

VET Energi er deen rigtig producent af specialfremstillede grafit- og siliciumcarbidprodukter med CVD-belægning,kan levereforskelligeTilpassede dele til halvleder- og solcelleindustrien. OVores tekniske team kommer fra førende indenlandske forskningsinstitutioner og kan tilbyde mere professionelle materialeløsningerfor dig.

Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer,oghar udviklet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning

性质 / Ejendom

典型数值 / Typisk værdi

晶体结构 / Krystalstruktur

FCC β-fase多晶,主要为(111)取向

密度 / Tæthed

3,21 g/cm³

硬度 / Hårdhed

2500 维氏硬度(500g belastning)

晶粒大小 / Kornstørrelse

2~10 μm

纯度 / Kemisk renhed

99,99995%

热容 / Varmekapacitet

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Sublimeringstemperatur

2700 ℃

抗弯强度 / Bøjningsstyrke

415 MPa RT 4-punkts

杨氏模量 / Youngs modul

430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃

导热系数 / ThermalLedningsevne

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Termisk ekspansion (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Du er hjertelig velkommen til at besøge vores fabrik, lad os tale videre!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp onlinechat!