მაღალი სისუფთავის კვარცის ნავი ვაფლის დამუშავებისთვის

კვარცის ვაფლის ნავიარის ნახევარგამტარების წარმოებაში, ფოტოელექტრული უჯრედების წარმოებასა და მოწინავე მასალების კვლევასა და განვითარებაში ძირითადი ინსტრუმენტი, რომელიც შექმნილია ვაფლების სტაბილური გადაცემისა და პოზიციონირებისთვის მაღალტემპერატურულ პროცესებში. ეს პროდუქტი დამზადებულია ულტრამაღალი სისუფთავის გამდნარი სილიციუმისგან (SiO2), შესანიშნავი ტემპერატურისადმი გამძლეობით, ქიმიური სტაბილურობით და ლითონის ულტრადაბალი დაბინძურების მახასიათებლებით, შესაფერისია დიფუზიური ღუმელისთვის, დაჟანგვის ღუმელისთვის, PECVD/LPCVD და სხვა აღჭურვილობისთვის, ფართოდ გამოიყენება ვაფლის დაფარვაში, იონური იმპლანტაციაში, მაღალტემპერატურულ გახურებასა და სხვა ბირთვულ პროცესებში.

VET Energy-ის კვარცის ნავის ძირითადი უპირატესობები:

• ულტრა მაღალი სისუფთავის მასალა
  სისუფთავე ≥99.99%: მინარევების შემცველობა (Na, K, Fe და ა.შ.) <5ppm, რაც ხელს უშლის ვაფლის დაბინძურებას და უზრუნველყოფს ჩიპის მოსავლიანობას.
  დაბალი ნალექი და ადსორბცია: ზედაპირი ზეგაპრიალებულია (Ra≤0.4μm) ნაწილაკების ადჰეზიისა და გაზის ნარჩენების შესამცირებლად.
• მაღალი ტემპერატურის სტაბილურობა
  ტემპერატურის ლიმიტი: გრძელვადიანი სამუშაო ტემპერატურა 1100℃, მოკლევადიანი პიკი 1300℃, დეფორმაციის გარეშე, კრისტალური ნალექის გარეშე.
  დაბალი თერმული გაფართოების კოეფიციენტი (5.5x10-7/℃), შესანიშნავი თერმული დარტყმისადმი მდგრადობა, ტემპერატურის სწრაფი მატებისა და ვარდნის პროცესისადმი ადაპტირება (მაგ. RTP სწრაფი გახურება).
• ზუსტი სტრუქტურული დიზაინი
  სლოტის სიზუსტე ± 0.1 მმ: 2”-დან 12”-მდე ვაფლის შესაბამისობა, დაშორების ერთგვაროვნების შეცდომა <0.05 მმ, რაც უზრუნველყოფს ვაფლებს არ ჰქონდეს გადახრა.
  მაღალი დატვირთვის ტევადობა: ერთ ნავში მაქსიმალური დატვირთვაა 50 ვაფლი (12 დიუმიანი ვაფლებისთვის), რაც ხელს უწყობს თხელი ვაფლების (≥100 მკმ) სტაბილურ გადატანას.
• ქიმიური ინერტულობა
  კოროზიისადმი მდგრადობა: მდგრადია მჟავას (გარდა HF), ტუტეების და ორგანული გამხსნელების კოროზიის მიმართ, თავსებადია CMP გაწმენდის პროცესთან.
  შესანიშნავი გაზის ჰერმეტულობა: გაჟონვის სიჩქარე <5x10-10 Pa.m3/s, შესაფერისია ვაკუუმური და დამცავი გაზის გარემოსთვის.
• ხანგრძლივი სიცოცხლე და მოვლა-პატრონობა
  სიცოცხლის ხანგრძლივობა ≥ 5000 ციკლი (ნორმალური სამუშაო პირობები), ზედაპირის განმეორებით გაწმენდა და გამოყენება შესაძლებელია, რაც ამცირებს საერთო ხარჯებს.
  მოდულური დიზაინი: მხარს უჭერს ნაწილობრივ ჩანაცვლებას (მაგ., ნავის ერთი კბილი), რაც ამცირებს შეფერხების დროს.

მომხმარებლის მოთხოვნების შესაბამისად, ჩვენ გთავაზობთ როგორც გამჭვირვალე, ასევე მქრქალ ზედაპირებს:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd არის მაღალტექნოლოგიური საწარმო, რომელიც ფოკუსირებულია მაღალი დონის მოწინავე მასალების წარმოებასა და გაყიდვაზე, მასალები და ტექნოლოგიები, მათ შორის გრაფიტი, სილიციუმის კარბიდი, კერამიკა, ზედაპირული დამუშავების ისეთი პროდუქტები, როგორიცაა SiC საფარი, TaC საფარი, მინისებრი ნახშირბადის საფარი, პიროლიზური ნახშირბადის საფარი და ა.შ., ეს პროდუქტები ფართოდ გამოიყენება ფოტოელექტრულ, ნახევარგამტარულ, ახალ ენერგეტიკულ, მეტალურგიულ და ა.შ. ინდუსტრიაში.

ჩვენი ტექნიკური გუნდი დაკომპლექტებულია წამყვანი ადგილობრივი კვლევითი ინსტიტუტებიდან და შეიმუშავა მრავალი დაპატენტებული ტექნოლოგია პროდუქტის მუშაობისა და ხარისხის უზრუნველსაყოფად, ასევე შეუძლია მომხმარებლებს შესთავაზოს პროფესიონალური მატერიალური გადაწყვეტილებები.