L-ippakkjar fil-livell tal-wejfer fan out (FOWLP) huwa metodu kosteffettiv fl-industrija tas-semikondutturi. Iżda l-effetti sekondarji tipiċi ta' dan il-proċess huma t-tgħawwiġ u l-offset taċ-ċippa. Minkejja t-titjib kontinwu tat-teknoloġija tal-fan out fil-livell tal-wejfer u tal-pannell, dawn il-kwistjonijiet relatati mal-iffurmar għadhom jeżistu.
It-tgħawwiġ huwa kkawżat mit-tnaqqis kimiku tal-kompost tal-iffurmar bil-kompressjoni likwida (LCM) waqt it-tqaddid u t-tkessiħ wara l-iffurmar. It-tieni raġuni għat-tgħawwiġ hija n-nuqqas ta' qbil fil-koeffiċjent tal-espansjoni termali (CTE) bejn iċ-ċippa tas-silikon, il-materjal tal-iffurmar, u s-sottostrat. L-ispostament huwa dovut għall-fatt li materjali tal-iffurmar viskużi b'kontenut għoli ta' mili ġeneralment jistgħu jintużaw biss taħt temperatura għolja u pressjoni għolja. Peress li ċ-ċippa hija mwaħħla mat-trasportatur permezz ta' twaħħil temporanju, iż-żieda fit-temperatura se tirtab l-adeżiv, u b'hekk iddgħajjef is-saħħa tal-adeżiv tagħha u tnaqqas il-kapaċità tagħha li tiffissa ċ-ċippa. It-tieni raġuni għall-ispostament hija li l-pressjoni meħtieġa għall-iffurmar toħloq stress fuq kull ċippa.
Sabiex issib soluzzjonijiet għal dawn l-isfidi, DELO wettqet studju ta' fattibbiltà billi waħħlet ċippa analoga sempliċi ma' trasportatur. F'termini ta' setup, il-wejfer tat-trasportatur huwa miksi b'adeżiv ta' twaħħil temporanju, u ċ-ċippa titqiegħed wiċċha 'l isfel. Sussegwentement, il-wejfer ġie ffurmat bl-użu ta' adeżiv DELO b'viskożità baxxa u vulkanizzat b'radjazzjoni ultravjola qabel ma tneħħa l-wejfer tat-trasportatur. F'applikazzjonijiet bħal dawn, tipikament jintużaw kompożiti tal-iffurmar termosetting b'viskożità għolja.
DELO qabblet ukoll it-tgħawwiġ ta' materjali tal-iffurmar termosetting u prodotti vulkanizzati bl-UV fl-esperiment, u r-riżultati wrew li materjali tal-iffurmar tipiċi jitgħawġu matul il-perjodu tat-tkessiħ wara t-termosetting. Għalhekk, l-użu ta' vulkanizzazzjoni ultravjola f'temperatura tal-kamra minflok vulkanizzazzjoni bis-sħana jista' jnaqqas ħafna l-impatt tad-diskrepanza tal-koeffiċjent tal-espansjoni termali bejn il-kompost tal-iffurmar u t-trasportatur, u b'hekk jimminimizza t-tgħawwiġ kemm jista' jkun.
L-użu ta' materjali ta' tqaddid ultravjola jista' wkoll inaqqas l-użu ta' fillers, u b'hekk inaqqas il-viskożità u l-modulu ta' Young. Il-viskożità tal-kolla tal-mudell użata fit-test hija ta' 35000 mPa · s, u l-modulu ta' Young huwa ta' 1 GPa. Minħabba n-nuqqas ta' tisħin jew pressjoni għolja fuq il-materjal tal-iffurmar, l-offset taċ-ċippa jista' jiġi minimizzat kemm jista' jkun. Kompost tal-iffurmar tipiku għandu viskożità ta' madwar 800000 mPa · s u modulu ta' Young fil-medda ta' żewġ ċifri.
B'mod ġenerali, ir-riċerka wriet li l-użu ta' materjali vulkanizzati bl-UV għall-iffurmar ta' żona kbira huwa ta' benefiċċju għall-produzzjoni ta' imballaġġ fil-livell tal-wejfer fan out tal-mexxejja taċ-ċippa, filwaqt li jiġi minimizzat kemm jista' jkun it-tgħawwiġ u l-offset taċ-ċippa. Minkejja differenzi sinifikanti fil-koeffiċjenti tal-espansjoni termali bejn il-materjali użati, dan il-proċess xorta għandu applikazzjonijiet multipli minħabba n-nuqqas ta' varjazzjoni fit-temperatura. Barra minn hekk, it-tqaddid bl-UV jista' wkoll inaqqas il-ħin tat-tqaddid u l-konsum tal-enerġija.
L-UV minflok it-tqaddid termali jnaqqas it-tgħawwiġ u l-ispostament tad-die fl-ippakkjar fil-livell tal-wejfer fan-out
Paragun ta' wejfers miksija ta' 12-il pulzier bl-użu ta' kompost imwebbes termalment u b'ħafna mili (A) u kompost imwebbes bl-UV (B)
Ħin tal-posta: 05 ta' Novembru 2024