ለአየር ማናፈሻ-አውት ዋፈር-ደረጃ ማሸጊያ የአልትራቫዮሌት ማቀነባበሪያ

የንፋስ መውጪያ ደረጃ ማሸጊያ (FOWLP) በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ወጪ ቆጣቢ ዘዴ ነው። ነገር ግን የዚህ ሂደት የተለመዱ የጎንዮሽ ጉዳቶች ማዛባት እና ቺፕ ማካካሻ ናቸው። የዋፈር ደረጃ እና የፓነል ደረጃ ማራገቢያ ቴክኖሎጂ ቀጣይነት ያለው መሻሻል ቢኖርም፣ ከመቅረጽ ጋር የተያያዙ እነዚህ ችግሮች አሁንም አሉ።

ዋርፒንግ የሚከሰተው ከሻጋታ በኋላ በሚደርቅበት እና በሚቀዘቅዝበት ጊዜ በሚደርቅበት እና በሚቀዘቅዝበት ጊዜ የፈሳሽ መጭመቂያ ሻጋታ ውህድ (LCM) ኬሚካላዊ መጥበብ ምክንያት ነው። ለመወርወር ሁለተኛው ምክንያት በሲሊኮን ቺፕ፣ በሻጋታ ቁሳቁስ እና በንጣፍ መካከል ባለው የሙቀት መስፋፋት (CTE) መካከል አለመመጣጠን ነው። ማካካሻው ከፍተኛ ሙሌት ያላቸው ዝልግልግ ሻጋታ ቁሳቁሶች ብዙውን ጊዜ በከፍተኛ ሙቀት እና ከፍተኛ ግፊት ስር ብቻ ጥቅም ላይ ሊውሉ ስለሚችሉ ነው። ቺፑ በጊዜያዊ ትስስር አማካኝነት ከአጓጓዡ ጋር ሲስተካከል የሙቀት መጨመር ማጣበቂያውን ያለሰልሳል፣ በዚህም የማጣበቂያ ጥንካሬውን ያዳክማል እና ቺፑን የመጠገን አቅሙን ይቀንሳል። ለማካካሻው ሁለተኛው ምክንያት ለመቅረጽ የሚያስፈልገው ግፊት በእያንዳንዱ ቺፕ ላይ ውጥረት ስለሚፈጥር ነው።

ለእነዚህ ተግዳሮቶች መፍትሄ ለማግኘት፣ DELO ቀላል አናሎግ ቺፕን በማያያዝ የአዋጭነት ጥናት አካሂዷል። በማዋቀር ረገድ፣ ተሸካሚው ዋፈር በጊዜያዊ ትስስር ማጣበቂያ ተሸፍኖ ቺፑ ፊት ለፊት ይቀመጣል። በመቀጠልም፣ ዋፈሩ በዝቅተኛ viscosity DELO ማጣበቂያ ተቀርጾ ተሸካሚው ዋፈር ከመወገዱ በፊት በአልትራቫዮሌት ጨረር ታክሟል። በእንደዚህ ዓይነት አፕሊኬሽኖች ውስጥ፣ ከፍተኛ viscosity ቴርሞሴቲንግ ሻጋታ ውህዶች በተለምዶ ጥቅም ላይ ይውላሉ።

DELO በሙከራው ውስጥ የቴርሞሴቲንግ ሻጋታ ቁሳቁሶችን እና የአልትራቫዮሌት የተፈወሱ ምርቶችን መበላሸት አነጻጽሯል፣ ውጤቶቹም ቴርሞሴቲንግ ከተደረገ በኋላ በሚቀዘቅዝበት ጊዜ የተለመዱ የሻጋታ ቁሳቁሶች እንደሚበላሹ አሳይተዋል። ስለዚህ፣ ከማሞቅ ይልቅ የክፍል ሙቀት አልትራቫዮሌት ማከምን መጠቀም በሻጋታ ውህድ እና ተሸካሚው መካከል ያለውን የሙቀት ማስፋፊያ ኮፊሸንት አለመመጣጠን ተጽዕኖ በእጅጉ ሊቀንስ ይችላል፣ በዚህም ምክንያት መወዛወዝን በተቻለ መጠን ይቀንሳል።

የአልትራቫዮሌት ማከሚያ ቁሳቁሶችን መጠቀም የመሙያዎችን አጠቃቀም ሊቀንስ ይችላል፣ በዚህም viscosity እና የያንግ ሞዱለስን ይቀንሳል። በሙከራው ውስጥ ጥቅም ላይ የዋለው የሞዴል ማጣበቂያ viscosity 35000 mPa ·s ሲሆን የያንግ ሞዱለስ ደግሞ 1 GPa ነው። በመቅረጽ ቁሳቁስ ላይ ማሞቂያ ወይም ከፍተኛ ግፊት ባለመኖሩ የቺፕ ማካካሻ በተቻለ መጠን በከፍተኛ ደረጃ ሊቀንስ ይችላል። የተለመደው የመቅረጽ ውህድ 800000 mPa ·s viscosity እና በሁለት አሃዞች ክልል ውስጥ የያንግ ሞዱለስ አለው።

በአጠቃላይ፣ ጥናቶች እንደሚያሳዩት ለትልቅ ቦታ መቅረጽ የአልትራቫዮሌት የተፈወሱ ቁሳቁሶችን መጠቀም የቺፕ መሪ የአየር ማራገቢያ ዋፈር ደረጃ ማሸጊያ ለማምረት ጠቃሚ ሲሆን፣ የቺፕ መሸፈኛ እና የቺፕ መሸፈኛ በተቻለ መጠን በከፍተኛ ደረጃ መቀነስን ይቀንሳል። ጥቅም ላይ በሚውሉት ቁሳቁሶች መካከል ባለው የሙቀት መስፋፋት ጥምርታ ላይ ከፍተኛ ልዩነቶች ቢኖሩም፣ ይህ ሂደት የሙቀት ልዩነት ባለመኖሩ ምክንያት አሁንም በርካታ አፕሊኬሽኖች አሉት። በተጨማሪም፣ የአልትራቫዮሌት ማከሚያ የማከሚያ ጊዜ እና የኃይል ፍጆታን ሊቀንስ ይችላል።

ከሙቀት ማከሚያ ይልቅ UV በአየር ማራገቢያ-ደረጃ ማሸጊያ ውስጥ የጦርነት እና የሞት ለውጥን ይቀንሳል

በሙቀት የተፈወሰ፣ ከፍተኛ ሙሌት ያለው ውህድ (A) እና በUV-የተፈወሰ ውህድ (B) በመጠቀም የ12 ኢንች ሽፋን ያላቸው ዋፈርዎችን ማወዳደር