MOCVD கிராஃபைட் தட்டு என்றால் என்ன?

உலோக கரிம வேதியியல் ஆவிப் படிவு (MOCVD) தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் வேஃபர் எபிடாக்ஸியல் வளர்ச்சி அடையப்படுகிறது. இதில், அதிதூய வாயுக்கள் வினைக்கலனுக்குள் செலுத்தப்பட்டு, மிகத் துல்லியமாக அளவிடப்படுகின்றன. இதனால், அவை உயர் வெப்பநிலையில் ஒன்றிணைந்து வேதியியல் இடைவினைகளை ஏற்படுத்தி, குறைக்கடத்தி வேஃபர்களின் மீது மிக மெல்லிய அணு அடுக்குகளாகப் படியவைக்கப்பட்டு, பொருட்களின் எபிடாக்ஸி மற்றும் கூட்டு குறைக்கடத்திகளை உருவாக்குகின்றன.

CVD உபகரணத்தில், எபிடெக்சியல் படிவுக்காக அடி மூலக்கூறை நேரடியாக உலோகத்தின் மீதோ அல்லது வெறுமனே ஒரு அடித்தளத்தின் மீதோ வைக்க முடியாது, ஏனெனில் அது பல காரணிகளால் பாதிக்கப்படும். எனவே, அடி மூலக்கூறைத் தாங்குவதற்கு ஒரு தாங்கி அல்லது தட்டு தேவைப்படுகிறது, பின்னர் CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி அடி மூலக்கூறின் மீது எபிடெக்சியல் படிவு செய்யப்படுகிறது. இந்தத் தாங்கி என்பது ஒருMOCVD கிராஃபைட் சசெப்டர்(வேறு பெயரிலும்)MOCVD கிராஃபைட் தட்டு).

அதன் அமைப்பு கீழ்க்காணும் படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

கிராஃபைட் சசெப்டருக்கு CVD பூச்சு ஏன் தேவைப்படுகிறது?

கிராஃபைட் தாங்கி என்பது MOCVD உபகரணங்களில் உள்ள முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும். இது அடி மூலக்கூறின் தாங்கியாகவும் வெப்பமூட்டும் கூறாகவும் செயல்படுகிறது. வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்பச் சீரான தன்மை போன்ற அதன் செயல்திறன் அளவுருக்கள், எபிடெக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தில் ஒரு தீர்க்கமான பங்கைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் எபிடெக்சியல் மென்படலப் பொருட்களின் சீரான தன்மையையும் தூய்மையையும் நேரடியாகத் தீர்மானிக்கின்றன. எனவே, அதன் தரம் எபிடெக்சியல் வேஃபர்களின் தயாரிப்பை நேரடியாகப் பாதிக்கிறது. அதே நேரத்தில், பயன்பாடுகளின் எண்ணிக்கை அதிகரிப்பதாலும், வேலைச் சூழல்களில் ஏற்படும் மாற்றங்களாலும், இது எளிதில் தேய்ந்துபோகும் ஒரு நுகர்வுப் பொருளாகும். கிராஃபைட்டின் சிறந்த வெப்பக் கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மை, MOCVD உபகரணங்களின் ஒரு அடிப்படைக் கூறாக அதற்கு ஒரு பெரும் நன்மையை அளிக்கின்றன.

இருப்பினும், அது தூய கிராஃபைட்டாக மட்டுமே இருந்தால், சில சிக்கல்கள் ஏற்படும். உற்பத்திச் செயல்பாட்டின் போது, ​​எஞ்சிய அரிக்கும் வாயுக்களும் உலோகக் கரிமப் பொருட்களும் இருக்கும். அதனால், கிராஃபைட் தாங்கி அரித்து உதிர்ந்துவிடும், இது கிராஃபைட் தாங்கியின் சேவை ஆயுளைப் பெரிதும் குறைக்கிறது. அதே நேரத்தில், உதிரும் கிராஃபைட் தூள் வேஃபரையும் மாசுபடுத்தும். எனவே, அடித்தளத்தின் தயாரிப்புச் செயல்பாட்டிலேயே இந்தப் பிரச்சனைகளைத் தீர்க்க வேண்டும். பூச்சுத் தொழில்நுட்பமானது, மேற்பரப்புத் தூளை நிலைநிறுத்தவும், வெப்பக் கடத்துத்திறனை மேம்படுத்தவும், வெப்பப் பரவலைச் சமநிலைப்படுத்தவும் உதவுவதால், இந்தப் பிரச்சனையைத் தீர்ப்பதற்கான முக்கியத் தொழில்நுட்பமாக இது மாறியுள்ளது.

கிராஃபைட் அடித்தளத்தின் பயன்பாட்டுச் சூழல் மற்றும் பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, மேற்பரப்புப் பூச்சானது பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்:

1. அதிக அடர்த்தி மற்றும் முழுமையான பாதுகாப்பு:கிராஃபைட் அடித்தளம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் தன்மை கொண்ட வேலைச் சூழலில் உள்ளது. அதன் மேற்பரப்பு முழுமையாக மூடப்பட்டிருக்க வேண்டும், மேலும் ஒரு நல்ல பாதுகாப்புப் பங்கை ஆற்றுவதற்கு அந்தப் பூச்சு நல்ல அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

2. நல்ல மேற்பரப்பு சமதளம்:ஒற்றைப் படிக வளர்ச்சிக்குப் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் அடித்தளத்திற்கு மிக உயர்ந்த மேற்பரப்பு சமதளத்தன்மை தேவைப்படுவதால், பூச்சு தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு அடித்தளத்தின் அசல் சமதளத்தன்மை பராமரிக்கப்பட வேண்டும், அதாவது, பூச்சின் மேற்பரப்பு சீராக இருக்க வேண்டும்.

3. நல்ல பிணைப்பு வலிமை:கிராஃபைட் அடித்தளத்திற்கும் பூச்சுப் பொருளுக்கும் இடையிலான வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைப்பதன் மூலம், அவற்றுக்கிடையேயான பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்த முடியும். உயர் மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை வெப்ப சுழற்சிகளை எதிர்கொண்ட பிறகு, பூச்சில் விரிசல் ஏற்படுவது எளிதல்ல.

4. உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறன்:உயர்தர சில்லு வளர்ச்சிக்கு, கிராஃபைட் அடித்தளம் வேகமான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை வழங்க வேண்டும், எனவே பூச்சுப் பொருள் அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

5. உயர் உருகுநிலை, உயர் வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு:அந்தப் மேற்பூச்சானது, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் தன்மை கொண்ட பணிச்சூழலிலும் நிலையாகச் செயல்படும் திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் பிற செயல்திறன் அளவுருக்கள்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்எபிடெக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தில் இது ஒரு தீர்க்கமான பங்கை வகிப்பதால், இது MOCVD உபகரணங்களின் மைய முக்கிய அங்கமாகும்.

β-SiC (3C-SiC) படிக வடிவம் பூச்சாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டுள்ளது. மற்ற படிக வடிவங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​இந்தப் படிக வடிவம் நல்ல வெப்ப இயக்கவியல் நிலைத்தன்மை, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற பல சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. அதே நேரத்தில், இது கிராஃபைட்டின் வெப்பக் கடத்துத்திறனுடன் அடிப்படையில் ஒத்துப்போகும் வெப்பக் கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இதனால் கிராஃபைட் அடித்தளத்திற்கு சிறப்புப் பண்புகளை அளிக்கிறது. இது உயர்-வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பு, மற்றும் பயன்பாட்டின் போது ஏற்படும் தூள் இழப்பு ஆகியவற்றால் ஏற்படும் கிராஃபைட் அடித்தளத்தின் செயலிழப்பைத் திறம்படத் தீர்க்கிறது. மேலும், கிராஃபைட் அடித்தளத்தின் மேற்பரப்பை அடர்த்தியானதாகவும், நுண்துளைகளற்றதாகவும், உயர்-வெப்பநிலையைத் தாங்கக்கூடியதாகவும், அரிப்பு எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் பிற பண்புகளைக் கொண்டதாகவும் ஆக்குகிறது. இதன் மூலம், படிகப் புறவளர்ச்சித் தரத்தையும் கிராஃபைட் அடித்தளத்தின் சேவைக்காலத்தையும் இது மேம்படுத்துகிறது (SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அடித்தளத்தின் சேவைக்காலம் உலைகளில் அளவிடப்படுகிறது).

உயர் வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பைத் தாங்கக்கூடிய MOCVD கிராஃபைட் ட்ரே/சசெப்டரை எவ்வாறு தேர்ந்தெடுப்பது?

தேர்ந்தெடுக்கும்போதுMOCVDக்கான கிராஃபைட் தட்டு அல்லது சஸ்பெக்டர்உயர் வெப்பநிலை அரிப்பை எதிர்க்கும் தன்மையுடையதாக இருக்க, பின்வரும் முக்கிய காரணிகளைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்:

1. பொருளின் தூய்மை:உயர் தூய்மை கொண்ட கிராஃபைட் பொருட்கள், அதிக வெப்பநிலையில் ஏற்படும் அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை சிறப்பாக எதிர்க்கவும், படிதல் செயல்முறையில் அசுத்தங்களின் தாக்கத்தைக் குறைக்கவும் வல்லவை.

2. அடர்த்தி மற்றும் நுண்துளைத்தன்மை:அதிக அடர்த்தி மற்றும் குறைந்த நுண்துளைத்தன்மை கொண்ட கிராஃபைட் தட்டுகள் சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டிருப்பதுடன், வாயு ஊடுருவல் மற்றும் பொருள் அரிப்பைத் திறம்படத் தடுக்கவும் செய்கின்றன.

3. வெப்பக் கடத்துத்திறன்:அதிக வெப்பக் கடத்துத்திறன் கொண்ட கிராஃபைட் தட்டு, வெப்பத்தைச் சீராகப் பரப்பவும், வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்கவும், உபகரணத்தின் நிலைத்தன்மை மற்றும் சேவை ஆயுளை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது.

4. மேற்பரப்புப் பதப்படுத்துதல்:பூச்சு அல்லது முலாம் பூசுதல் போன்ற சிறப்பு மேற்பரப்பு சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்பட்ட கிராஃபைட் பலகைகள், அவற்றின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் தேய்மான எதிர்ப்புத் திறனை மேலும் மேம்படுத்தும்.

5. அளவு மற்றும் வடிவம்:MOCVD உபகரணத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப, தட்டு உபகரணத்துடன் இணக்கமாக இருப்பதையும், இயக்குவதற்கான வசதியையும் உறுதிசெய்யும் வகையில் பொருத்தமான அளவு மற்றும் வடிவத்தைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

6. உற்பத்தியாளரின் நற்பெயர்:தயாரிப்பின் தரம் மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவையின் நம்பகத்தன்மையை உறுதிசெய்ய, நல்ல நற்பெயரும் நிறைந்த அனுபவமும் கொண்ட ஒரு உற்பத்தியாளரைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

7. செலவுத் திறன்:தொழில்நுட்பத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யும் அடிப்படையில், செலவுத் திறனைக் கருத்தில் கொண்டு, சிறந்த செலவு செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்புகளைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

VET எனர்ஜி ஒரு உயர் தூய்மை கிராஃபைட் சசெப்டர் வழங்குநர் ஆகும். நாங்கள் பலதரப்பட்ட வகைகளை வழங்குகிறோம், மேலும் இவை வெவ்வேறு பிராண்டுகள், மாடல்கள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளைக் கொண்ட MOCVD உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படலாம்.SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சசெப்டர்VET எனர்ஜியால் தயாரிக்கப்பட்டவற்றில் பூச்சுடன் தொடர்பு கொள்ளும் புள்ளிகளோ அல்லது பலவீனமான இணைப்புகளோ இல்லை. சேவை ஆயுளைப் பொறுத்தவரை, அவை பல்வேறு தேவைகளைக் கொண்ட வாடிக்கையாளர்களின் (குளோரின் கலந்த சூழல்களின் பயன்பாடு உட்பட) தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்யக்கூடியவை. மேலும், வாடிக்கையாளர்கள் கலந்தாலோசிக்கவும் விசாரிக்கவும் வரவேற்கப்படுகிறார்கள்.