MOCVD கிராஃபைட் தட்டு என்றால் என்ன?

உலோக கரிம வேதியியல் நீராவி படிவு (MOCVD) தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் வேஃபர் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி அடையப்படுகிறது, இதில் மிகத் தூய்மையான வாயுக்கள் உலைக்குள் செலுத்தப்பட்டு நேர்த்தியாக அளவிடப்படுகின்றன, இதனால் அவை உயர்ந்த வெப்பநிலையில் ஒன்றிணைந்து வேதியியல் தொடர்புகளை ஏற்படுத்துகின்றன மற்றும் மிக மெல்லிய அணு அடுக்குகளில் குறைக்கடத்தி செதில்களில் டெபாசிட் செய்யப்பட்டு பொருட்கள் மற்றும் கூட்டு குறைக்கடத்திகளின் எபிடாக்ஸியை உருவாக்குகின்றன.

CVD உபகரணங்களில், அடி மூலக்கூறை நேரடியாக உலோகத்தின் மீது அல்லது எபிடாக்சியல் படிவுக்கான ஒரு அடித்தளத்தில் வைக்க முடியாது, ஏனெனில் அது பல காரணிகளால் பாதிக்கப்படும். எனவே, அடி மூலக்கூறைப் பிடிக்க ஒரு சஸ்பெக்டர் அல்லது தட்டு தேவைப்படுகிறது, பின்னர் அடி மூலக்கூறில் எபிடாக்சியல் படிவுகளைச் செய்ய CVD தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த சஸ்பெக்டர் ஒருMOCVD கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்(என்றும் அழைக்கப்படுகிறதுMOCVD கிராஃபைட் தட்டு).

அதன் அமைப்பு கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

கிராஃபைட் சஸ்பெக்டருக்கு CVD பூச்சு ஏன் தேவைப்படுகிறது?

கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் MOCVD உபகரணங்களில் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும். இது அடி மூலக்கூறின் கேரியர் மற்றும் வெப்பமூட்டும் உறுப்பு ஆகும். வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் வெப்ப சீரான தன்மை போன்ற அதன் செயல்திறன் அளவுருக்கள் எபிடாக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தில் ஒரு தீர்க்கமான பங்கை வகிக்கின்றன, மேலும் எபிடாக்சியல் மெல்லிய படலப் பொருட்களின் சீரான தன்மை மற்றும் தூய்மையை நேரடியாக தீர்மானிக்கின்றன. எனவே, அதன் தரம் எபிடாக்சியல் வேஃபர்களை தயாரிப்பதை நேரடியாக பாதிக்கிறது. அதே நேரத்தில், பயன்பாடுகளின் எண்ணிக்கையில் அதிகரிப்பு மற்றும் வேலை நிலைமைகளில் ஏற்படும் மாற்றங்களுடன், இது தேய்ந்து கிழிந்து போவது மிகவும் எளிதானது, இது ஒரு நுகர்வுப் பொருளாகும். கிராஃபைட்டின் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் நிலைத்தன்மை MOCVD உபகரணங்களின் அடிப்படை கூறுகளாக இதற்கு ஒரு சிறந்த நன்மையை அளிக்கிறது.

இருப்பினும், அது தூய கிராஃபைட்டாக மட்டுமே இருந்தால், சில சிக்கல்கள் இருக்கும். உற்பத்தி செயல்பாட்டில், எஞ்சிய அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் உலோக கரிமப் பொருட்கள் இருக்கும், மேலும் கிராஃபைட் சசெப்டர் அரிக்கப்பட்டு விழும், இது கிராஃபைட் சசெப்டரின் சேவை வாழ்க்கையை வெகுவாகக் குறைக்கிறது. அதே நேரத்தில், விழும் கிராஃபைட் தூள் வேஃபருக்கு மாசுபாட்டை ஏற்படுத்தும், எனவே இந்த சிக்கல்கள் அடித்தளத்தின் தயாரிப்பு செயல்பாட்டில் தீர்க்கப்பட வேண்டும். பூச்சு தொழில்நுட்பம் மேற்பரப்பு தூள் நிலைப்படுத்தலை வழங்கவும், வெப்ப கடத்துத்திறனை அதிகரிக்கவும், வெப்ப விநியோகத்தை சமநிலைப்படுத்தவும் முடியும், மேலும் இந்த சிக்கலை தீர்க்க முக்கிய தொழில்நுட்பமாக மாறியுள்ளது.

கிராஃபைட் தளத்தின் பயன்பாட்டு சூழல் மற்றும் பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, மேற்பரப்பு பூச்சு பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்:

1. அதிக அடர்த்தி மற்றும் முழு கவரேஜ்:கிராஃபைட் அடித்தளம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் தன்மை கொண்ட வேலை சூழலில் உள்ளது. மேற்பரப்பு முழுமையாக மூடப்பட்டிருக்க வேண்டும், மேலும் பூச்சு ஒரு நல்ல பாதுகாப்புப் பாத்திரத்தை வகிக்க நல்ல அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

2. நல்ல மேற்பரப்பு தட்டையானது:ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்குப் பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் அடித்தளத்திற்கு மிக உயர்ந்த மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை தேவைப்படுவதால், பூச்சு தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு அடித்தளத்தின் அசல் தட்டையான தன்மை பராமரிக்கப்பட வேண்டும், அதாவது, பூச்சு மேற்பரப்பு சீரானதாக இருக்க வேண்டும்.

3. நல்ல பிணைப்பு வலிமை:கிராஃபைட் அடித்தளத்திற்கும் பூச்சுப் பொருளுக்கும் இடையிலான வெப்ப விரிவாக்க குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைப்பது இரண்டிற்கும் இடையிலான பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்தும். அதிக மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை வெப்ப சுழற்சிகளை அனுபவித்த பிறகு, பூச்சு எளிதில் விரிசல் அடையாது.

4. உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்:உயர்தர சில்லு வளர்ச்சிக்கு கிராஃபைட் அடித்தளம் வேகமான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை வழங்க வேண்டும், எனவே பூச்சுப் பொருள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

5. அதிக உருகுநிலை, அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு:பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழலில் நிலையாக வேலை செய்யக்கூடியதாக இருக்க வேண்டும்.

வெப்ப நிலைத்தன்மை, வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் பிற செயல்திறன் அளவுருக்கள்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்எபிடாக்சியல் பொருள் வளர்ச்சியின் தரத்தில் ஒரு தீர்க்கமான பங்கை வகிக்கிறது, எனவே இது MOCVD உபகரணங்களின் முக்கிய முக்கிய அங்கமாகும்.

β-SiC (3C-SiC) படிக வடிவம் பூச்சாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. மற்ற படிக வடிவங்களுடன் ஒப்பிடும்போது, ​​இந்த படிக வடிவம் நல்ல வெப்ப இயக்கவியல் நிலைத்தன்மை, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. அதே நேரத்தில், இது கிராஃபைட்டுடன் அடிப்படையில் ஒத்துப்போகும் வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, இதனால் கிராஃபைட் தளத்திற்கு சிறப்பு பண்புகளை வழங்குகிறது. சேவையின் போது அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் அரிப்பு மற்றும் தூள் இழப்பால் ஏற்படும் கிராஃபைட் தளத்தின் தோல்வியை இது திறம்பட தீர்க்க முடியும், மேலும் கிராஃபைட் தளத்தின் மேற்பரப்பை அடர்த்தியான, நுண்துளை இல்லாத, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் பிற பண்புகளை உருவாக்குகிறது, இதன் மூலம் படிக எபிடாக்சியல் தரம் மற்றும் கிராஃபைட் தளத்தின் சேவை வாழ்க்கை (SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் தளத்தின் சேவை வாழ்க்கை உலைகளில் அளவிடப்படுகிறது) ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது.

அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் MOCVD கிராஃபைட் தட்டு/சஸ்பெக்டரை எவ்வாறு தேர்வு செய்வது?

தேர்ந்தெடுக்கும் போதுMOCVDக்கான கிராஃபைட் தட்டு அல்லது சஸ்பெக்டர்அதிக வெப்பநிலை அரிப்பை எதிர்க்கும், பின்வரும் முக்கிய காரணிகளைக் கருத்தில் கொள்ள வேண்டும்:

1. பொருள் தூய்மை:அதிக தூய்மை கொண்ட கிராஃபைட் பொருட்கள் அதிக வெப்பநிலையில் அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றத்தை சிறப்பாக எதிர்க்கும் மற்றும் படிவு செயல்பாட்டில் அசுத்தங்களின் தாக்கத்தைக் குறைக்கும்.

2. அடர்த்தி மற்றும் போரோசிட்டி:அதிக அடர்த்தி மற்றும் குறைந்த போரோசிட்டி கொண்ட கிராஃபைட் தட்டுகள் சிறந்த இயந்திர வலிமை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் வாயு ஊடுருவல் மற்றும் பொருள் அரிப்பை திறம்பட தடுக்க முடியும்.

3. வெப்ப கடத்துத்திறன்:அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்ட கிராஃபைட் தட்டு வெப்பத்தை சமமாக விநியோகிக்கவும், வெப்ப அழுத்தத்தைக் குறைக்கவும், உபகரணங்களின் நிலைத்தன்மை மற்றும் சேவை வாழ்க்கையை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது.

4. மேற்பரப்பு சிகிச்சை:பூச்சு அல்லது முலாம் பூசுதல் போன்ற சிறப்பு மேற்பரப்பு சிகிச்சைக்கு உட்பட்ட கிராஃபைட் தட்டுகள், அவற்றின் அரிப்பு எதிர்ப்பையும் உடைகள் எதிர்ப்பையும் மேலும் மேம்படுத்தும்.

5. அளவு மற்றும் வடிவம்:MOCVD உபகரணங்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப, உபகரணங்களுடன் தட்டின் இணக்கத்தன்மையையும் செயல்பாட்டின் வசதியையும் உறுதிசெய்ய பொருத்தமான அளவு மற்றும் வடிவத்தைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.

6. உற்பத்தியாளரின் நற்பெயர்:தயாரிப்பு தரம் மற்றும் விற்பனைக்குப் பிந்தைய சேவையின் நம்பகத்தன்மையை உறுதிசெய்ய, நல்ல நற்பெயர் மற்றும் சிறந்த அனுபவமுள்ள ஒரு உற்பத்தியாளரைத் தேர்வுசெய்யவும்.

7. செலவு-செயல்திறன்:தொழில்நுட்பத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதை அடிப்படையாகக் கொண்டு, செலவு-செயல்திறனைக் கருத்தில் கொண்டு, அதிக செலவு செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்புகளைத் தேர்வு செய்யவும்.

VET எனர்ஜி என்பது உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர் சப்ளையர் ஆகும், நாங்கள் பல்வேறு வகைகளை வழங்குகிறோம், மேலும் பல்வேறு பிராண்டுகள், மாதிரிகள் மற்றும் விவரக்குறிப்புகளின் MOCVD உபகரணங்களில் இதைப் பயன்படுத்தலாம்.SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் சஸ்பெக்டர்VET எனர்ஜியால் தயாரிக்கப்படும் பொருட்களுக்கு பூச்சு தொடர்பு புள்ளிகள் இல்லை மற்றும் பலவீனமான இணைப்புகள் இல்லை.சேவை வாழ்க்கையைப் பொறுத்தவரை, அவை பல்வேறு தேவைகளைக் கொண்ட வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும் (குளோரின் கொண்ட வளிமண்டலங்களைப் பயன்படுத்துவது உட்பட), மேலும் வாடிக்கையாளர்கள் ஆலோசனை மற்றும் விசாரணைக்கு வரவேற்கப்படுகிறார்கள்.