முதலில், நாம் தெரிந்து கொள்ள வேண்டும்PECVD(பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் ஆவிப் படிவு). பிளாஸ்மா என்பது பொருள் மூலக்கூறுகளின் வெப்ப இயக்கத்தைத் தீவிரப்படுத்துவதாகும். அவற்றுக்கிடையேயான மோதலால் வாயு மூலக்கூறுகள் அயனியாக்கம் அடையும், மேலும் அந்தப் பொருளானது, தன்னிச்சையாக நகரும் நேர்மின் அயனிகள், எலக்ட்ரான்கள் மற்றும் ஒன்றோடொன்று இடைவினை புரியும் நடுநிலைத் துகள்கள் ஆகியவற்றின் கலவையாக மாறும்.
சிலிக்கான் மேற்பரப்பில் ஒளியின் பிரதிபலிப்பு இழப்பு விகிதம் சுமார் 35% வரை அதிகமாக இருப்பதாக மதிப்பிடப்பட்டுள்ளது. இந்த எதிரொளிப்புத் தடுப்புப் படலம், மின்கலத்தால் சூரிய ஒளியைப் பயன்படுத்தும் விகிதத்தை வெகுவாக மேம்படுத்துகிறது. இது ஒளி உருவாக்கப்பட்ட மின்னோட்ட அடர்த்தியை அதிகரிக்கவும், அதன் மூலம் மாற்றும் திறனை மேம்படுத்தவும் உதவுகிறது. அதே நேரத்தில், படலத்தில் உள்ள ஹைட்ரஜன், மின்கலத்தின் மேற்பரப்பை செயலற்றதாக்குகிறது, உமிழ்ப்பான் சந்திப்பின் மேற்பரப்பு மறுசேர்க்கை விகிதத்தைக் குறைக்கிறது, இருள் மின்னோட்டத்தைக் குறைக்கிறது, திறந்த சுற்று மின்னழுத்தத்தை அதிகரிக்கிறது, மற்றும் ஒளிமின்னழுத்த மாற்றும் திறனை மேம்படுத்துகிறது. எரித்து-துளைக்கும் செயல்முறையில் உள்ள உயர்-வெப்பநிலை உடனடி பதப்படுத்தல், சில Si-H மற்றும் NH பிணைப்புகளை உடைக்கிறது, மேலும் விடுவிக்கப்பட்ட H, மின்கலத்தின் செயலற்ற தன்மையை மேலும் வலுப்படுத்துகிறது.
ஒளிமின்னழுத்தத் தர சிலிக்கான் பொருட்களில் தவிர்க்க முடியாமல் அதிக அளவு அசுத்தங்களும் குறைபாடுகளும் இருப்பதால், சிலிக்கானில் உள்ள சிறுபான்மை கடத்தியின் ஆயுட்காலம் மற்றும் பரவல் நீளம் குறைந்து, அதன் விளைவாக மின்கலத்தின் மாற்றத் திறன் குறைகிறது. H ஆனது சிலிக்கானில் உள்ள குறைபாடுகள் அல்லது அசுத்தங்களுடன் வினைபுரிந்து, அதன்மூலம் பட்டை இடைவெளியில் உள்ள ஆற்றல் பட்டையை இணைதிறன் பட்டை அல்லது கடத்துதல் பட்டைக்கு மாற்றுகிறது.
1. PECVD கொள்கை
PECVD அமைப்பு என்பது தொடர்ச்சியான ஜெனரேட்டர்களைப் பயன்படுத்துவதாகும்.PECVD கிராஃபைட் படகு மற்றும் உயர் அதிர்வெண் பிளாஸ்மா தூண்டிகள். குறைந்த அழுத்தம் மற்றும் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் வினைபுரிவதற்காக, பிளாஸ்மா ஜெனரேட்டர் பூச்சுத் தகட்டின் நடுவில் நேரடியாக நிறுவப்பட்டுள்ளது. பயன்படுத்தப்படும் வினைபுரியும் வாயுக்கள் சிலேன் SiH4 மற்றும் அம்மோனியா NH3 ஆகும். இந்த வாயுக்கள் சிலிக்கான் தகட்டில் சேமிக்கப்பட்ட சிலிக்கான் நைட்ரைடின் மீது செயல்படுகின்றன. சிலேன் மற்றும் அம்மோனியாவின் விகிதத்தை மாற்றுவதன் மூலம் வெவ்வேறு ஒளிவிலகல் குறியீடுகளைப் பெறலாம். படிதல் செயல்முறையின் போது, அதிக அளவு ஹைட்ரஜன் அணுக்கள் மற்றும் ஹைட்ரஜன் அயனிகள் உருவாகின்றன, இது தகட்டின் ஹைட்ரஜன் செயலற்ற தன்மையை மிகவும் சிறப்பாக ஆக்குகிறது. வெற்றிடத்திலும், 480 டிகிரி செல்சியஸ் சுற்றுப்புற வெப்பநிலையிலும், சிலிக்கான் தகட்டின் மேற்பரப்பில் SixNy-இன் ஒரு அடுக்கு பூசப்படுகிறது.PECVD கிராஃபைட் படகு.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Si3N4 படலத்தின் நிறம் அதன் தடிமனுக்கு ஏற்ப மாறுகிறது. பொதுவாக, 75 முதல் 80 நானோமீட்டர் வரையிலான தடிமன் உகந்தது, இது அடர் நீல நிறத்தில் தோன்றும். Si3N4 படலத்தின் ஒளிவிலகல் குறியீடு 2.0 முதல் 2.5 வரை இருப்பது சிறந்தது. அதன் ஒளிவிலகல் குறியீட்டை அளவிட பொதுவாக ஆல்கஹால் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
சிறந்த மேற்பரப்பு செயலற்றதாக்கும் விளைவு, திறமையான ஒளியியல் எதிரொளிப்புத் தடுப்புச் செயல்திறன் (தடிமன் ஒளிவிலகல் குறியீட்டுப் பொருத்தம்), குறைந்த வெப்பநிலை செயல்முறை (செலவுகளைத் திறம்படக் குறைத்தல்), மற்றும் உருவாகும் H அயனிகள் சிலிக்கான் தகட்டின் மேற்பரப்பைச் செயலற்றதாக்குகின்றன.
3. பூச்சுப் பட்டறையில் உள்ள பொதுவான விஷயங்கள்
படலத்தின் தடிமன்:
வெவ்வேறு படலத் தடிமன்களுக்கு ஏற்பப் படிதல் நேரம் மாறுபடும். பூச்சின் நிறத்திற்கு ஏற்பப் படிதல் நேரத்தை உரிய முறையில் அதிகரிக்கவோ அல்லது குறைக்கவோ வேண்டும். படலம் வெண்மையாக இருந்தால், படிதல் நேரத்தைக் குறைக்க வேண்டும். அது சிவப்பாக இருந்தால், உரிய முறையில் அதிகரிக்க வேண்டும். ஒவ்வொரு படலத் தொகுப்பும் முழுமையாக உறுதிப்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் குறைபாடுள்ள தயாரிப்புகள் அடுத்த செயல்முறைக்குச் செல்ல அனுமதிக்கப்படாது. உதாரணமாக, வண்ணப் புள்ளிகள் மற்றும் நீர் அடையாளங்கள் போன்ற பூச்சு தரம் குறைந்ததாக இருந்தால், உற்பத்தி வரிசையில் பொதுவாகக் காணப்படும் மேற்பரப்பு வெண்மையாதல், வண்ண வேறுபாடு மற்றும் வெள்ளைப் புள்ளிகள் சரியான நேரத்தில் கண்டறியப்பட வேண்டும். மேற்பரப்பு வெண்மையாதல் முக்கியமாக தடிமனான சிலிக்கான் நைட்ரைடு படலத்தால் ஏற்படுகிறது, இதை படலப் படிதல் நேரத்தைச் சரிசெய்வதன் மூலம் சரிசெய்யலாம்; வண்ண வேறுபாடுள்ள படலம் முக்கியமாக வாயுப் பாதை அடைப்பு, குவார்ட்ஸ் குழாய் கசிவு, மைக்ரோவேவ் செயலிழப்பு போன்றவற்றால் ஏற்படுகிறது; வெள்ளைப் புள்ளிகள் முக்கியமாக முந்தைய செயல்முறையில் உள்ள சிறிய கருப்புப் புள்ளிகளால் ஏற்படுகின்றன. எதிரொளிப்புத்திறன், ஒளிவிலகல் குறியீடு போன்றவற்றைக் கண்காணித்தல், சிறப்பு வாயுக்களின் பாதுகாப்பு போன்றவை.
மேற்பரப்பில் வெள்ளை புள்ளிகள்:
PECVD என்பது சூரிய மின்கலங்களில் ஒப்பீட்டளவில் ஒரு முக்கியமான செயல்முறையாகும், மேலும் இது ஒரு நிறுவனத்தின் சூரிய மின்கலங்களின் செயல்திறனுக்கான ஒரு முக்கியக் குறியீடாகவும் விளங்குகிறது. PECVD செயல்முறை பொதுவாக அதிக வேலைப்பளு கொண்டது, மேலும் ஒவ்வொரு தொகுதி மின்கலங்களும் கண்காணிக்கப்பட வேண்டும். இதில் பல பூச்சு உலைக் குழாய்கள் உள்ளன, மேலும் ஒவ்வொரு குழாயிலும் பொதுவாக நூற்றுக்கணக்கான மின்கலங்கள் இருக்கும் (உபகரணங்களைப் பொறுத்து). செயல்முறை அளவுருக்களை மாற்றிய பிறகு, சரிபார்ப்புச் சுழற்சி நீண்டதாக இருக்கும். பூச்சுத் தொழில்நுட்பம் என்பது முழு ஒளிமின்னழுத்தத் துறையும் மிகுந்த முக்கியத்துவம் கொடுக்கும் ஒரு தொழில்நுட்பமாகும். பூச்சுத் தொழில்நுட்பத்தை மேம்படுத்துவதன் மூலம் சூரிய மின்கலங்களின் செயல்திறனை அதிகரிக்க முடியும். எதிர்காலத்தில், சூரிய மின்கல மேற்பரப்புத் தொழில்நுட்பம், சூரிய மின்கலங்களின் கோட்பாட்டு செயல்திறனில் ஒரு திருப்புமுனையாக மாறக்கூடும்.
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர் 23, 2024