1. சுத்தம் செய்வதற்கு முன் ஒப்புதல்
1) எப்போதுPECVD கிராஃபைட் படகு/carrier 100 முதல் 150 முறைக்கு மேல் பயன்படுத்தப்பட்டால், ஆபரேட்டர் பூச்சு நிலையை சரியான நேரத்தில் சரிபார்க்க வேண்டும். அசாதாரண பூச்சு இருந்தால், அதை சுத்தம் செய்து உறுதிப்படுத்த வேண்டும். கிராஃபைட் படகு/கேரியரில் உள்ள சிலிக்கான் வேஃபரின் சாதாரண பூச்சு நிறம் நீலம். வேஃபரில் நீலம் அல்லாத, பல வண்ணங்கள் இருந்தால், அல்லது வேஃபர்களுக்கு இடையிலான வண்ண வேறுபாடு பெரியதாக இருந்தால், அது ஒரு அசாதாரண பூச்சு, மேலும் அசாதாரணத்திற்கான காரணத்தை சரியான நேரத்தில் உறுதிப்படுத்த வேண்டும்.
2) செயல்முறைக்குப் பிறகு பணியாளர்கள் பூச்சு நிலையை பகுப்பாய்வு செய்கிறார்கள்PECVD கிராஃபைட் படகு/கேரியர், கிராஃபைட் படகை சுத்தம் செய்ய வேண்டுமா மற்றும் அட்டைப் புள்ளியை மாற்ற வேண்டுமா என்பதை அவர்கள் தீர்மானிப்பார்கள், மேலும் சுத்தம் செய்ய வேண்டிய கிராஃபைட் படகு/கேரியர் சுத்தம் செய்வதற்காக உபகரணப் பணியாளர்களிடம் ஒப்படைக்கப்படும்.
3) பிறகுகிராஃபைட் படகு/கேரியர் சேதமடைந்தால், உற்பத்தி பணியாளர்கள் கிராஃபைட் படகில் உள்ள அனைத்து சிலிக்கான் வேஃபர்களையும் வெளியே எடுத்து, CDA (அமுக்கப்பட்ட காற்று) ஐப் பயன்படுத்தி கிராஃபைட்டில் உள்ள துண்டுகளை வரிசைப்படுத்துவார்கள்.கிராஃபைட் படகு. முடிந்ததும், உபகரணப் பணியாளர்கள் அதை சுத்தம் செய்வதற்காக ஒரு குறிப்பிட்ட விகிதத்தில் HF கரைசலுடன் தயாரிக்கப்பட்ட அமிலத் தொட்டியில் தூக்குவார்கள்.
2. கிராஃபைட் படகை சுத்தம் செய்தல்
மூன்று சுற்று சுத்தம் செய்வதற்கு 15-25% ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலக் கரைசலைப் பயன்படுத்துவது பரிந்துரைக்கப்படுகிறது, ஒவ்வொன்றும் 4-5 மணி நேரம், ஊறவைத்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்யும் போது அவ்வப்போது நைட்ரஜனை குமிழியாகக் கசிந்து, சுமார் அரை மணி நேரம் சுத்தம் செய்வதைச் சேர்க்கவும்; குறிப்பு: குமிழியாகக் கசிவதற்கு காற்றை நேரடியாக வாயு மூலமாகப் பயன்படுத்துவது பரிந்துரைக்கப்படவில்லை. ஊறுகாய் செய்த பிறகு, சுமார் 10 மணி நேரம் தூய நீரில் கழுவி, படகு நன்கு சுத்தம் செய்யப்பட்டுள்ளதா என்பதை உறுதிப்படுத்தவும். சுத்தம் செய்த பிறகு, படகின் மேற்பரப்பு, கிராஃபைட் அட்டைப் புள்ளி மற்றும் படகுத் தாள் மூட்டு மற்றும் பிற பகுதிகளைச் சரிபார்த்து, ஏதேனும் சிலிக்கான் நைட்ரைடு எச்சம் இருக்கிறதா என்று பார்க்கவும். பின்னர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப உலர்த்தவும்.
3. சுத்தம் செய்யும் முன்னெச்சரிக்கைகள்
A) HF அமிலம் மிகவும் அரிக்கும் தன்மை கொண்ட பொருள் மற்றும் ஒரு குறிப்பிட்ட நிலையற்ற தன்மையைக் கொண்டிருப்பதால், அது ஆபரேட்டர்களுக்கு ஆபத்தானது. எனவே, துப்புரவுப் பணியில் ஈடுபடும் ஆபரேட்டர்கள் பாதுகாப்பு முன்னெச்சரிக்கை நடவடிக்கைகளை எடுக்க வேண்டும் மற்றும் ஒரு அர்ப்பணிப்புள்ள நபரால் நிர்வகிக்கப்பட வேண்டும்.
B) படகை பிரித்து சுத்தம் செய்யும் போது கிராஃபைட் பகுதியை மட்டும் சுத்தம் செய்ய பரிந்துரைக்கப்படுகிறது, இதனால் ஒவ்வொரு தொடர்பு பகுதியையும் இன்னும் முழுமையாக சுத்தம் செய்ய முடியும். தற்போது, பல உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர்கள் ஒட்டுமொத்த சுத்தம் செய்வதைப் பயன்படுத்துகின்றனர், இது வசதியானது, ஆனால் HF அமிலம் பீங்கான் பாகங்களை அரிக்கும் தன்மை கொண்டதாக இருப்பதால், ஒட்டுமொத்த சுத்தம் செய்வது தொடர்புடைய பாகங்களின் சேவை வாழ்க்கையை குறைக்கும்.
இடுகை நேரம்: டிசம்பர்-23-2024