1. சுத்தம் செய்வதற்கு முன் ஒப்புதல்
1) எப்போதுPECVD கிராஃபைட் படகுகிராஃபைட் போட்/கேரியர் 100 முதல் 150 முறைக்கு மேல் பயன்படுத்தப்பட்டால், இயக்குபவர் அதன் பூச்சு நிலையை உரிய நேரத்தில் சரிபார்க்க வேண்டும். பூச்சில் ஏதேனும் அசாதாரணம் இருந்தால், அதைச் சுத்தம் செய்து உறுதிப்படுத்த வேண்டும். கிராஃபைட் போட்/கேரியரில் உள்ள சிலிக்கான் வேஃபரின் இயல்பான பூச்சு நிறம் நீலமாகும். வேஃபரில் நீலம் அல்லாத நிறம், பல வண்ணங்கள் இருந்தாலோ, அல்லது வேஃபர்களுக்கு இடையே நிற வேறுபாடு அதிகமாக இருந்தாலோ, அது ஒரு அசாதாரண பூச்சு ஆகும், மேலும் அந்த அசாதாரணத்திற்கான காரணத்தை உரிய நேரத்தில் உறுதிப்படுத்த வேண்டும்.
2) செயல்முறைக்குப் பிறகு பணியாளர்கள் பூச்சின் நிலையை ஆய்வு செய்கிறார்கள்PECVD கிராஃபைட் படகுகிராஃபைட் படகை சுத்தம் செய்ய வேண்டுமா மற்றும் கார்டு பாயிண்ட்டை மாற்ற வேண்டுமா என்பதை அவர்கள் தீர்மானிப்பார்கள், மேலும் சுத்தம் செய்யப்பட வேண்டிய கிராஃபைட் படகு/கேரியர், சுத்தம் செய்வதற்காக உபகரணப் பணியாளர்களிடம் ஒப்படைக்கப்படும்.
3) பிறகுகிராஃபைட் படகுகேரியர் சேதமடைந்தால், உற்பத்திப் பணியாளர்கள் கிராஃபைட் படகில் உள்ள அனைத்து சிலிக்கான் வேஃபர்களையும் வெளியே எடுத்து, CDA (அழுத்தப்பட்ட காற்று) ஐப் பயன்படுத்தி அதில் உள்ள துண்டுகளைப் பிரித்தெடுப்பார்கள்.கிராஃபைட் படகுபணி முடிந்ததும், உபகரணப் பணியாளர்கள், சுத்தம் செய்வதற்காக ஒரு குறிப்பிட்ட விகிதத்தில் HF கரைசல் கலந்து தயார் செய்யப்பட்ட அமிலத் தொட்டிக்குள் அதைத் தூக்கி வைப்பார்கள்.
2. கிராஃபைட் படகை சுத்தம் செய்தல்
15-25% ஹைட்ரோஃப்ளூரிக் அமிலக் கரைசலைப் பயன்படுத்தி, ஒவ்வொரு முறையும் 4-5 மணி நேரம் என மூன்று முறை சுத்தம் செய்யப் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. மேலும், ஊறவைத்தல் மற்றும் சுத்தம் செய்யும் செயல்முறையின் போது, அவ்வப்போது நைட்ரஜனைக் குமிழ்த்து, கூடுதலாக சுமார் அரை மணி நேரம் சுத்தம் செய்யவும்; குறிப்பு: குமிழ்ப்பதற்கு வாயு மூலமாக நேரடியாகக் காற்றைப் பயன்படுத்துவது பரிந்துரைக்கப்படவில்லை. ஊறவைத்த பிறகு, சுமார் 10 மணி நேரம் சுத்தமான நீரில் அலசி, படகு முழுமையாகச் சுத்தம் செய்யப்பட்டுள்ளதை உறுதிப்படுத்தவும். சுத்தம் செய்த பிறகு, படகின் மேற்பரப்பு, கிராஃபைட் கார்டு முனை, படகுத் தகடு இணைப்பு மற்றும் பிற பாகங்களில் சிலிக்கான் நைட்ரைடு எச்சம் ஏதேனும் உள்ளதா எனச் சரிபார்க்கவும். பின்னர், தேவைக்கேற்ப உலர்த்தவும்.
3. சுத்தம் செய்வதற்கான முன்னெச்சரிக்கைகள்
அ) HF அமிலம் அதிக அரிக்கும் தன்மை கொண்டதாகவும், எளிதில் ஆவியாகக்கூடியதாகவும் இருப்பதால், அது இயக்குபவர்களுக்கு ஆபத்தானது. எனவே, சுத்தம் செய்யும் இடத்தில் உள்ள இயக்குபவர்கள் பாதுகாப்பு முன்னெச்சரிக்கை நடவடிக்கைகளைக் கடைப்பிடிக்க வேண்டும், மேலும் அதற்கென நியமிக்கப்பட்ட ஒருவரால் கண்காணிக்கப்பட வேண்டும்.
B) சுத்தம் செய்யும் போது படகைக் கழற்றி, கிராஃபைட் பகுதியை மட்டும் சுத்தம் செய்யப் பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. இதன் மூலம், தொடர்பு கொள்ளும் ஒவ்வொரு பகுதியையும் இன்னும் முழுமையாகச் சுத்தம் செய்ய முடியும். தற்போது, பல உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர்கள் முழுமையான சுத்தம் செய்யும் முறையைப் பயன்படுத்துகின்றனர், இது வசதியானதுதான். ஆனால், HF அமிலம் செராமிக் பாகங்களை அரிக்கும் தன்மை கொண்டிருப்பதால், அவ்வாறு முழுமையாக சுத்தம் செய்வது, தொடர்புடைய பாகங்களின் சேவை ஆயுளைக் குறைத்துவிடும்.
பதிவிட்ட நேரம்: டிசம்பர் 23, 2024