PECVD işlemi için grafit taşıyıcı

Kısa Açıklama:

VET EnerjisiGüneş Paneli için PECVD Grafit Tekne, yüksek performanslı güneş panellerinin üretimi için özel olarak tasarlanmış gelişmiş bir bileşendir. Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme (PECVD) işlemlerinde kullanılan bu grafit tekne, optimum malzeme işleme ve güneş hücreleri üzerine ince filmlerin düzgün bir şekilde biriktirilmesini sağlar. Hassasiyet ve dayanıklılık için tasarlanan bu ürün, verimli ve yüksek kaliteli güneş panellerinin üretimi için gerekli olan üstün termal iletkenlik, yüksek korozyon direnci ve minimum kirlenme sağlar.

Bize e-posta gönderin PDF olarak indir

Ürün Detayı

Ürün Etiketleri

VET EnerjisiPECVD prosesi için grafit taşıyıcı, PECVD (plazma destekli kimyasal buhar biriktirme) prosesi için özel olarak tasarlanmış yüksek kaliteli bir sarf malzemesidir. Bu grafit taşıyıcı, yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden üretilmiştir ve mükemmel yüksek sıcaklık dayanımı, korozyon direnci, boyutsal kararlılık ve diğer özelliklere sahiptir. PECVD prosesi için istikrarlı bir taşıyıcı platform sağlayarak ince film biriktirme işleminin homojenliğini ve düzgünlüğünü garanti eder.

PECVD işlemi için kullanılan grafit taşıyıcılar aşağıdaki özelliklere sahiptir:

▪ Yüksek saflık: Son derece düşük safsızlık içeriği, filmin kirlenmesini önler ve film kalitesini garanti eder.

▪ Yüksek yoğunluk: Yüksek yoğunluk, yüksek mekanik dayanım, yüksek sıcaklık ve yüksek basınçlı PECVD ortamına dayanabilme özelliği.

▪ İyi boyutsal kararlılık: Yüksek sıcaklıkta küçük boyutsal değişim, proses kararlılığını sağlar.

▪ Mükemmel ısı iletkenliği: Isıyı etkili bir şekilde ileterek yonga levhasının aşırı ısınmasını önler.

▪ Yüksek korozyon direnci: Çeşitli aşındırıcı gazlar ve plazma tarafından aşınmaya karşı dayanıklıdır.

▪ Kişiselleştirilmiş hizmet: Farklı boyut ve şekillerdeki grafit taşıyıcılar, müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.

SGL'den grafit malzeme:

Tipik parametre: R6510
İndeks	Test standardı	Değer	Birim
Ortalama tane boyutu	ISO 13320	10	μm
Hacimsel yoğunluk	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Açık gözeneklilik	DIN66133	10	%
Orta gözenek boyutu	DIN66133	1.8	μm
Geçirgenlik	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwell sertliği HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Özgül elektriksel direnç	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Eğilme dayanımı	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Basınç dayanımı	DIN 51910	130	MPa
Young modülü	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Termal genleşme (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Isı iletkenliği (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Özellikle yüksek verimli güneş pili üretimi için tasarlanmış olup, G12 büyük boyutlu wafer işlemeyi desteklemektedir. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimliliği önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranları ve daha düşük üretim maliyetleri sağlar.

Öğe	Tip	Numaralı gofret taşıyıcı
PEVCD Grephite teknesi - 156 serisi	156-13 grefit tekne	144
	156-19 grefit tekne	216
	156-21 grefit tekne	240
	156-23 grafit tekne	308
PEVCD Grephite teknesi - 125 serisi	125-15 grefti tekne	196
	125-19 grefti tekne	252
	125-21 grafit tekne	280