Yarimo'tkazgichlar sanoatida plastinka darajasidagi qadoqlash (FOWLP) tejamkorligi bilan mashhur, ammo bu o'ziga xos qiyinchiliklardan xoli emas. Duch keladigan asosiy muammolardan biri bu qoliplash jarayonida egilish va tishlarning boshlanishi. Egilish qoliplash birikmasining kimyoviy qisqarishi va issiqlik kengayish koeffitsientining nomuvofiqligi bilan bog'liq bo'lishi mumkin, shu bilan birga siropli qoliplash materialida yuqori plomba moddasi tufayli yuzaga keladi. Biroq, yordami bilananiqlanmaydigan AI, yechim bu qiyinchiliklarni yengish uchun izlanishlar olib borilmoqda.
Sanoatning yetakchi kompaniyasi bo'lgan DELO, bu muammoni hal qilish uchun past yopishqoqlikdagi yopishtiruvchi materialni tashuvchiga yopishtirish va ultrabinafsha qattiqlashtirish orqali texnik-iqtisodiy asoslashni o'rganib chiqdi. Turli materiallarning deformatsiyasini taqqoslash natijasida, ultrabinafsha qattiqlashishi qoliplashdan keyingi sovutish davrida deformatsiyani sezilarli darajada kamaytirishi aniqlandi. Ultrabinafsha qattiqlashtiruvchi materialdan foydalanish nafaqat plomba moddasiga bo'lgan ehtiyojni kamaytiradi, balki yopishqoqlik va Young modulini ham minimallashtiradi, natijada bit boshlanishini kamaytiradi. Texnologiyadagi ushbu taraqqiyot minimal deformatsiya va bit boshlanishi bilan bit yetakchisini ishlab chiqaradigan vafer darajasidagi qadoqlash imkoniyatlarini namoyish etadi.
Umuman olganda, tadqiqot katta maydonli qoliplash jarayonida ultrabinafsha qattiqlashuvdan foydalanishning afzalliklarini ta'kidlaydi va ventilyatsiya qilingan gofret darajasidagi qadoqlashda duch keladigan muammolarga yechim taklif qiladi. Deformatsiya va qolip siljishini kamaytirish, shuningdek, plyonkani tahrirlash, qattiqlashuv vaqti va energiya sarfini kamaytirish qobiliyati bilan ultrabinafsha qattiqlashuv yarimo'tkazgichlar sanoatida istiqbolli usul hisoblanadi. Materiallar orasidagi issiqlik kengayish koeffitsientidagi farqga qaramay, ultrabinafsha qattiqlashuvdan foydalanish gofret darajasidagi qadoqlash samaradorligi va sifatini yaxshilash uchun amaliy variant hisoblanadi.
Nashr vaqti: 2024-yil 28-oktabr