אַפּליקאַציע פון ​​סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק אין די האַלב-קאָנדוקטאָר פעלד

דער בילכער מאַטעריאַל פֿאַר פּרעציזיע טיילן פֿון פֿאָטאָליטהאָגראַפֿיע מאַשינען

אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פעלד,סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיקמאַטעריאַלן ווערן דער הויפּט גענוצט אין שליסל עקוויפּמענט פֿאַר אינטעגרירטע קרייַז מאַנופאַקטורינג, אַזאַ ווי סיליקאָן קאַרבייד וואָרקטיבל, גייד רעלס,רעפלעקטאָרן, קעראַמיש סאַקשאַן טשאַק, ארעמס, שלייפן דיסקס, פיקסטשערז, א.א.וו. פֿאַר ליטאָגראַפֿיע מאַשינען.

סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק טיילןפֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר און אָפּטישע עקוויפּמענט

● סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק שלייפן דיסק. אויב די שלייפן דיסק איז געמאַכט פון גוס אייַזן אָדער טשאַד שטאָל, איז איר לעבנסדויער קורץ און איר טערמישער יקספּאַנשאַן קאָעפיציענט איז גרויס. בעת די פּראַסעסינג פון סיליקאָן וועיפערס, ספּעציעל בעת הויך-גיכקייַט שלייפן אָדער פּאָלירן, מאַכן די טראָגן און טערמישע דעפאָרמאַציע פון ​​די שלייפן דיסק עס שווער צו ענשור די פלאַכקייט און פּאַראַלעליזם פון די סיליקאָן וועיפער. די שלייפן דיסק געמאַכט פון סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק האט הויך כאַרדנאַס און נידעריק טראָגן, און די טערמישע יקספּאַנשאַן קאָעפיציענט איז באַסיקאַלי די זעלבע ווי יענע פון ​​סיליקאָן וועיפערס, אַזוי עס קען זיין געשליפן און פּאָלירט מיט הויך גיכקייַט.
● סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיק פֿיקסטשור. דערצו, ווען סיליקאָן וועיפערס ווערן פּראָדוצירט, דאַרפֿן זיי דורכגיין הויך-טעמפּעראַטור היץ באַהאַנדלונג און ווערן אָפֿט טראַנספּאָרטירט מיט סיליקאָן קאַרבייד פֿיקסטשורס. זיי זענען היץ-קעגנשטעליק און ניט-דעסטרוקטיווע. דימענט-ווי קאַרבאָן (DLC) און אַנדערע קאָוטינגז קענען ווערן געווענדט אויף דער ייבערפלאַך צו פֿאַרבעסערן פאָרשטעלונג, פֿאַרמינדערן וועיפער שעדיקן, און פֿאַרהיטן קאַנטאַמאַניישאַן פֿון פֿאַרשפּרייטונג.
● סיליקאָן קאַרבייד אַרבעטסטיש. נעמענדיג דעם אַרבעטסטיש אין דער ליטאָגראַפֿיע מאַשין ווי אַ בייַשפּיל, איז דער אַרבעטסטיש דער הויפּט פֿאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר פֿאַרענדיקן די עקספּאָוזשער באַוועגונג, וואָס פֿאָדערט הויך-גיכקייט, גרויס-שטרייך, זעקס-גראַד-פון-פֿרײַהייט נאַנאָ-לעוועל אולטראַ-פּרעציציע באַוועגונג. למשל, פֿאַר אַ ליטאָגראַפֿיע מאַשין מיט אַ רעזאָלוציע פֿון 100 נם, אַן אָוווערליי אַקיעראַסי פֿון 33 נם, און אַ ליניע ברייט פֿון 10 נם, מוז די אַרבעטסטיש פּאַזישאַנינג אַקיעראַסי דערגרייכן 10 נם, די מאַסקע-סיליקאָן וועיפֿער סיימאַלטייניאַס סטעפּינג און סקאַנינג ספּידז זענען 150 נם/ס און 120 נם/ס ריספּעקטיוולי, און די מאַסקע סקאַנינג גיכקייַט איז נאָענט צו 500 נם/ס, און דער אַרבעטסטיש מוז האָבן זייער הויך באַוועגונג אַקיעראַסי און סטאַביליטעט.

סכעמאַטישע דיאַגראַמע פון ​​​​די אַרבעט טיש און מיקראָ-באַוועגונג טיש (טיילווייזע אָפּשניט)

● סיליקאן קאַרבייד קעראַמיש קוואַדראַט שפּיגל. שליסל קאָמפּאָנענטן אין שליסל אינטעגרירטע קרייַז ויסריכט אַזאַ ווי ליטאָגראַפֿיע מאַשינען האָבן קאָמפּלעקס שאַפּעס, קאָמפּלעקס דימענסיעס, און ליידיק לייכטע סטרוקטורן, מאכן עס שווער צו צוגרייטן אַזאַ סיליקאן קאַרבייד קעראַמיש קאָמפּאָנענטן. איצט, מיינסטרים אינטערנאַציאָנאַלע אינטעגרירטע קרייַז ויסריכט פאַבריקאַנטן, אַזאַ ווי ASML אין די נעטהערלאַנדס, NIKON און CANON אין יאַפּאַן, נוצן אַ גרויס סומע פון ​​מאַטעריאַלס אַזאַ ווי מיקראָקריסטאַלין גלאז און קאָרדיעריט צו צוגרייטן קוואַדראַט שפּיגלען, די האַרץ קאַמפּאָונאַנץ פון ליטאָגראַפֿיע מאַשינען, און נוצן סיליקאן קאַרבייד קעראַמיקס צו צוגרייטן אנדערע הויך-פאָרשטעלונג סטרוקטוראַל קאַמפּאָונאַנץ מיט פּשוט שאַפּעס. אָבער, עקספּערץ פון די טשיינאַ בנין מאַטעריאַלס פאָרשונג אינסטיטוט האָבן געניצט פּראַפּרייאַטערי צוגרייטונג טעכנאָלאָגיע צו דערגרייכן די צוגרייטונג פון גרויס-גרייס, קאָמפּלעקס-שייפּט, העכסט לייכט, גאָר ענקלאָוזד סיליקאן קאַרבייד קעראַמיש קוואַדראַט שפּיגלען און אנדערע סטרוקטוראַל און פאַנגקשאַנאַל אָפּטיש קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר ליטאָגראַפֿיע מאַשינען.