Преферирани материјал за прецизне делове фотолитографских машина
У области полупроводника,силицијум карбид керамикаматеријали се углавном користе у кључној опреми за производњу интегрисаних кола, као што су радни сто од силицијум-карбида, вођице,рефлектори, керамичка усисна стезна глава, кракови, брусни дискови, причвршћивачи итд. за литографске машине.
Керамички делови од силицијум-карбидаза полупроводничку и оптичку опрему
● Брусни диск од силицијум-карбидне керамике. Ако је брусни диск направљен од ливеног гвожђа или угљеничног челика, његов век трајања је кратак, а коефицијент термичког ширења велики. Током обраде силицијумских плочица, посебно током брушења или полирања великом брзином, хабање и термичка деформација брусног диска отежавају обезбеђивање равности и паралелности силицијумске плочице. Брусни диск направљен од силицијум-карбидне керамике има велику тврдоћу и мало хабање, а коефицијент термичког ширења је у основи исти као и код силицијумских плочица, тако да се може брусити и полирати великом брзином.
● Керамички држач од силицијум-карбида. Поред тога, када се производе силицијумске плочице, оне морају да се подвргну термичкој обради на високим температурама и често се транспортују помоћу држача од силицијум-карбида. Отпорне су на топлоту и недеструктивне су. Дијамантски угљеник (DLC) и други премази могу се нанети на површину како би се побољшале перформансе, ублажила оштећења плочице и спречило ширење контаминације.
● Радни сто од силицијум карбида. Узимајући радни сто у литографској машини као пример, радни сто је углавном одговоран за завршетак покрета експозиције, што захтева ултрапрецизно кретање велике брзине, великог хода и шест степени слободе нано-нивоа. На пример, за литографску машину са резолуцијом од 100 нм, тачношћу преклапања од 33 нм и ширином линије од 10 нм, потребна је тачност позиционирања радног стола од 10 нм, брзине истовремених корака и скенирања маске и силицијумске плочице су 150 нм/с и 120 нм/с респективно, брзина скенирања маске је близу 500 нм/с, а радни сто мора имати веома високу тачност кретања и стабилност.
Шематски дијаграм радног стола и стола за микропокрете (делимични пресек)
● Квадратно огледало од силицијум-карбидне керамике. Кључне компоненте у кључној опреми за интегрисана кола, као што су литографске машине, имају сложене облике, сложене димензије и шупље лагане структуре, што отежава припрему таквих компоненти од силицијум-карбидне керамике. Тренутно, водећи међународни произвођачи опреме за интегрисана кола, као што су ASML у Холандији, NIKON и CANON у Јапану, користе велику количину материјала као што су микрокристално стакло и кордиерит за припрему квадратних огледала, основних компоненти литографских машина, и користе силицијум-карбидну керамику за припрему других високоперформансних структурних компоненти једноставних облика. Међутим, стручњаци из Кинеског института за истраживање грађевинских материјала користили су патентирану технологију припреме како би постигли припрему великих, сложених, веома лаганих, потпуно затворених квадратних огледала од силицијум-карбидне керамике и других структурних и функционалних оптичких компоненти за литографске машине.
Време објаве: 10. октобар 2024.