سيمي ڪنڊڪٽر فيلڊ ۾ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس جو استعمال

فوٽو ليٿوگرافي مشينن جي درست حصن لاءِ ترجيحي مواد

سيمي ڪنڊڪٽر جي ميدان ۾،سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪمواد خاص طور تي انٽيگريٽڊ سرڪٽ جي پيداوار لاءِ اهم سامان ۾ استعمال ٿيندا آهن، جهڙوڪ سلڪون ڪاربائيڊ ورڪ ٽيبل، گائيڊ ريل،موٽائيندڙ, سيرامڪ سکشن چڪ، هٿيار، پيسڻ واريون ڊسڪون، فڪسچر، وغيره لٿوگرافي مشينن لاءِ.

سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ حصاسيمي ڪنڊڪٽر ۽ آپٽيڪل سامان لاءِ

● سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ گرائنڊنگ ڊسڪ. جيڪڏهن گرائنڊنگ ڊسڪ ڪاسٽ آئرن يا ڪاربان اسٽيل مان ٺهيل آهي، ته ان جي سروس لائف مختصر آهي ۽ ان جو ٿرمل ايڪسپينشن ڪوئفيشينٽ وڏو آهي. سلڪون ويفرز جي پروسيسنگ دوران، خاص طور تي تيز رفتار گرائنڊنگ يا پالش ڪرڻ دوران، گرائنڊنگ ڊسڪ جي لباس ۽ حرارتي خرابي سلڪون ويفر جي برابري ۽ متوازيت کي يقيني بڻائڻ ڏکيو بڻائي ٿي. سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس مان ٺهيل گرائنڊنگ ڊسڪ ۾ اعلي سختي ۽ گهٽ لباس آهي، ۽ تھرمل ايڪسپينشن ڪوئفيشينٽ بنيادي طور تي سلڪون ويفرز جي برابر آهي، تنهنڪري ان کي تيز رفتار تي گرائونڊ ۽ پالش ڪري سگهجي ٿو.
● سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ فڪسچر. ان کان علاوه، جڏهن سلڪون ويفر تيار ڪيا ويندا آهن، انهن کي اعليٰ درجه حرارت جي گرمي علاج مان گذرڻو پوندو آهي ۽ اڪثر ڪري سلڪون ڪاربائيڊ فڪسچر استعمال ڪندي منتقل ڪيا ويندا آهن. اهي گرمي مزاحمتي ۽ غير تباهي ڪندڙ آهن. هيرن جهڙو ڪاربن (DLC) ۽ ٻيون ڪوٽنگون ڪارڪردگي کي وڌائڻ، ويفر نقصان کي گهٽائڻ، ۽ آلودگي کي پکڙجڻ کان روڪڻ لاءِ مٿاڇري تي لاڳو ڪري سگهجن ٿيون.
● سلڪون ڪاربائيڊ ورڪ ٽيبل. مثال طور لٿوگرافي مشين ۾ ورڪ ٽيبل کي وٺندي، ورڪ ٽيبل بنيادي طور تي ايڪسپوزر موومينٽ کي مڪمل ڪرڻ لاءِ ذميوار آهي، جنهن لاءِ تيز رفتار، وڏي اسٽروڪ، ڇهه ڊگري آف فريڊم نانو-ليول الٽرا پريسيشن موومينٽ جي ضرورت آهي. مثال طور، 100nm جي ريزوليوشن، 33nm جي اوورلي درستگي، ۽ 10nm جي لائن ويڊٿ سان ليٿوگرافي مشين لاءِ، ورڪ ٽيبل پوزيشننگ جي درستگي 10nm تائين پهچڻ جي ضرورت آهي، ماسڪ-سلڪون ويفر جي هڪ ئي وقت اسٽيپنگ ۽ اسڪيننگ جي رفتار ترتيب وار 150nm/s ۽ 120nm/s آهي، ۽ ماسڪ اسڪيننگ جي رفتار 500nm/s جي ويجهو آهي، ۽ ورڪ ٽيبل کي تمام گهڻي حرڪت جي درستگي ۽ استحڪام جي ضرورت آهي.

ورڪ ٽيبل ۽ مائڪرو موشن ٽيبل جو اسڪيميٽڪ ڊاگرام (جزوي حصو)

● سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ چورس آئينو. اهم انٽيگريٽڊ سرڪٽ سامان جهڙوڪ لٿوگرافي مشينن ۾ اهم جزا پيچيده شڪلون، پيچيده طول و عرض، ۽ خالي هلڪو وزن جي جوڙجڪ آهن، جنهن جي ڪري اهڙين سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ حصن کي تيار ڪرڻ ڏکيو ٿي پيو آهي. في الحال، مکيه وهڪرو بين الاقوامي انٽيگريٽڊ سرڪٽ سامان ٺاهيندڙ، جهڙوڪ هالينڊ ۾ ASML، جاپان ۾ NIKON ۽ CANON، چورس آئينن کي تيار ڪرڻ لاءِ وڏي مقدار ۾ مواد جهڙوڪ مائڪرو ڪرسٽلائن گلاس ۽ ڪارڊيئرائٽ استعمال ڪن ٿا، جيڪي لٿوگرافي مشينن جا بنيادي جزا آهن، ۽ سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس استعمال ڪن ٿا ٻين اعليٰ ڪارڪردگي وارن ساختي حصن کي سادي شڪلن سان تيار ڪرڻ لاءِ. بهرحال، چائنا بلڊنگ ميٽيريل ريسرچ انسٽيٽيوٽ جي ماهرن وڏي سائيز، پيچيده شڪل واري، انتهائي هلڪو وزن، مڪمل طور تي بند ٿيل سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪ چورس آئينن ۽ ٻين ساختي ۽ فنڪشنل آپٽيڪل حصن جي تياري حاصل ڪرڻ لاءِ ملڪيتي تياري ٽيڪنالاجي استعمال ڪئي آهي.