குறைக்கடத்தி புலத்தில் சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பயன்பாடு

ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் துல்லியமான பாகங்களுக்கு விருப்பமான பொருள்

குறைக்கடத்தி துறையில்,சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்ஒருங்கிணைந்த சுற்று உற்பத்திக்கான முக்கிய உபகரணங்களான சிலிக்கான் கார்பைடு பணிமேசை, வழிகாட்டி தண்டவாளங்கள் போன்றவற்றில் பொருட்கள் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.பிரதிபலிப்பான்கள், பீங்கான் உறிஞ்சும் சக், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கான கைகள், அரைக்கும் வட்டுகள், சாதனங்கள் போன்றவை.

சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பாகங்கள்குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளியியல் உபகரணங்களுக்கு

● சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் அரைக்கும் வட்டு. அரைக்கும் வட்டு வார்ப்பிரும்பு அல்லது கார்பன் எஃகு மூலம் செய்யப்பட்டிருந்தால், அதன் சேவை வாழ்க்கை குறைவாகவும், அதன் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் அதிகமாகவும் இருக்கும். சிலிக்கான் செதில்களை செயலாக்கும்போது, ​​குறிப்பாக அதிவேக அரைக்கும் அல்லது மெருகூட்டும்போது, ​​அரைக்கும் வட்டின் தேய்மானம் மற்றும் வெப்ப சிதைவு சிலிக்கான் செதில்களின் தட்டையான தன்மை மற்றும் இணையான தன்மையை உறுதி செய்வதை கடினமாக்குகிறது. சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களால் செய்யப்பட்ட அரைக்கும் வட்டு அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் குறைந்த தேய்மானத்தைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் வெப்ப விரிவாக்க குணகம் அடிப்படையில் சிலிக்கான் செதில்களைப் போலவே இருக்கும், எனவே அதை அதிக வேகத்தில் அரைத்து மெருகூட்டலாம்.
● சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பொருத்துதல். கூடுதலாக, சிலிக்கான் வேஃபர்கள் உற்பத்தி செய்யப்படும்போது, ​​அவை அதிக வெப்பநிலை வெப்ப சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் அவை பெரும்பாலும் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருத்துதல்களைப் பயன்படுத்தி கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. அவை வெப்பத்தை எதிர்க்கும் மற்றும் அழிவில்லாதவை. செயல்திறனை மேம்படுத்தவும், வேஃபர் சேதத்தைத் தணிக்கவும், மாசுபாடு பரவுவதைத் தடுக்கவும் வைரம் போன்ற கார்பன் (DLC) மற்றும் பிற பூச்சுகளை மேற்பரப்பில் பயன்படுத்தலாம்.
● சிலிக்கான் கார்பைடு பணிமேசை. லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் உள்ள பணிமேசையை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், பணிமேசை முக்கியமாக வெளிப்பாடு இயக்கத்தை நிறைவு செய்வதற்கு பொறுப்பாகும், இதற்கு அதிவேக, பெரிய-ஸ்ட்ரோக், ஆறு-டிகிரி-ஆஃப்-ஃப்ரீடம் நானோ-லெவல் அல்ட்ரா-பிரிசிஷன் இயக்கம் தேவைப்படுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, 100nm தெளிவுத்திறன், 33nm மேலடுக்கு துல்லியம் மற்றும் 10nm வரி அகலம் கொண்ட லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்திற்கு, பணிமேசை நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் 10nm ஐ அடைய வேண்டும், முகமூடி-சிலிக்கான் வேஃபர் ஒரே நேரத்தில் படிதல் மற்றும் ஸ்கேனிங் வேகம் முறையே 150nm/s மற்றும் 120nm/s ஆகும், மேலும் முகமூடி ஸ்கேனிங் வேகம் 500nm/s க்கு அருகில் உள்ளது, மேலும் பணிமேசை மிக அதிக இயக்க துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

பணிமேசை மற்றும் நுண் இயக்க அட்டவணையின் திட்ட வரைபடம் (பகுதி பிரிவு)

● சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சதுர கண்ணாடி. லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்கள் போன்ற முக்கிய ஒருங்கிணைந்த சுற்று உபகரணங்களில் உள்ள முக்கிய கூறுகள் சிக்கலான வடிவங்கள், சிக்கலான பரிமாணங்கள் மற்றும் வெற்று இலகுரக கட்டமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளன, இதனால் அத்தகைய சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் கூறுகளைத் தயாரிப்பது கடினம். தற்போது, ​​நெதர்லாந்தில் உள்ள ASML, ஜப்பானில் உள்ள NIKON மற்றும் CANON போன்ற முக்கிய சர்வதேச ஒருங்கிணைந்த சுற்று உபகரண உற்பத்தியாளர்கள், லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் முக்கிய கூறுகளான சதுர கண்ணாடிகளைத் தயாரிக்க மைக்ரோகிரிஸ்டலின் கண்ணாடி மற்றும் கார்டியரைட் போன்ற அதிக அளவு பொருட்களைப் பயன்படுத்துகின்றனர், மேலும் எளிய வடிவங்களுடன் கூடிய பிற உயர் செயல்திறன் கட்டமைப்பு கூறுகளைத் தயாரிக்க சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்களைப் பயன்படுத்துகின்றனர். இருப்பினும், சீனா கட்டிடப் பொருட்கள் ஆராய்ச்சி நிறுவனத்தின் வல்லுநர்கள் பெரிய அளவிலான, சிக்கலான வடிவ, மிகவும் இலகுரக, முழுமையாக மூடப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் சதுர கண்ணாடிகள் மற்றும் லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களுக்கான பிற கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு ஆப்டிகல் கூறுகளைத் தயாரிப்பதற்கு தனியுரிம தயாரிப்பு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தியுள்ளனர்.