குறைக்கடத்தித் துறையில் சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான்களின் பயன்பாடு

ஒளி அச்சிடல் இயந்திரங்களின் துல்லியமான பாகங்களுக்கு விரும்பப்படும் பொருள்

குறைக்கடத்தித் துறையில்,சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்சிலிக்கான் கார்பைடு பணிமேசை, வழிகாட்டி தண்டுகள் போன்ற ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று உற்பத்திக்கான முக்கிய உபகரணங்களில் பொருட்கள் முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.பிரதிபலிப்பான்கள், செராமிக் உறிஞ்சும் சக்லித்தோகிராபி இயந்திரங்களுக்கான கரங்கள், அரைக்கும் வட்டுகள், பொருத்திகள் போன்றவை.

சிலிக்கான் கார்பைடு பீங்கான் பாகங்கள்குறைக்கடத்தி மற்றும் ஒளியியல் உபகரணங்களுக்கு

● சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் அரைக்கும் வட்டு. அரைக்கும் வட்டு வார்ப்பிரும்பு அல்லது கார்பன் ஸ்டீலால் செய்யப்பட்டிருந்தால், அதன் ஆயுட்காலம் குறைவாகவும், வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் அதிகமாகவும் இருக்கும். சிலிக்கான் வேஃபர்களைப் பதப்படுத்தும் போது, ​​குறிப்பாக அதிவேக அரைத்தல் அல்லது மெருகூட்டலின் போது, ​​அரைக்கும் வட்டின் தேய்மானம் மற்றும் வெப்ப உருமாற்றம் ஆகியவை சிலிக்கான் வேஃபரின் சமதளத்தன்மை மற்றும் இணைகோட்டுத்தன்மையை உறுதி செய்வதைக் கடினமாக்குகின்றன. சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்ஸால் செய்யப்பட்ட அரைக்கும் வட்டு அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் குறைந்த தேய்மானத்தைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் அதன் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் அடிப்படையில் சிலிக்கான் வேஃபர்களின் குணகத்தைப் போலவே இருப்பதால், அதை அதிவேகத்தில் அரைக்கவும் மெருகூட்டவும் முடியும்.
● சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பொருத்துதல். மேலும், சிலிக்கான் வேஃபர்கள் உற்பத்தி செய்யப்படும்போது, ​​அவை உயர்-வெப்பநிலை வெப்பச் சிகிச்சைக்கு உட்படுத்தப்பட வேண்டும், மேலும் அவை பெரும்பாலும் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருத்துதல்களைப் பயன்படுத்தி கொண்டு செல்லப்படுகின்றன. அவை வெப்பத்தைத் தாங்கக்கூடியவை மற்றும் சேதப்படுத்தாதவை. செயல்திறனை மேம்படுத்தவும், வேஃபர் சேதத்தைக் குறைக்கவும், மற்றும் மாசு பரவுவதைத் தடுக்கவும், வைரம் போன்ற கார்பன் (DLC) மற்றும் பிற பூச்சுகளை அதன் மேற்பரப்பில் பூசலாம்.
● சிலிக்கான் கார்பைடு பணிமேசை. லித்தோகிராபி இயந்திரத்தில் உள்ள பணிமேசையை உதாரணமாக எடுத்துக்கொண்டால், எக்ஸ்போஷர் இயக்கத்தை நிறைவு செய்வதற்குப் பணிமேசையே முக்கியப் பொறுப்பாகும். இதற்கு அதிவேக, பெரிய-ஸ்ட்ரோக், ஆறு-டிகிரி-சுதந்திர நானோ-நிலை அதி-துல்லியமான இயக்கம் தேவைப்படுகிறது. உதாரணமாக, 100nm தெளிவுத்திறன், 33nm மேலடுக்குத் துல்லியம் மற்றும் 10nm கோட்டு அகலம் கொண்ட ஒரு லித்தோகிராபி இயந்திரத்திற்கு, பணிமேசையின் நிலைப்படுத்தல் துல்லியம் 10nm-ஐ எட்ட வேண்டும்; மாஸ்க்-சிலிக்கான் வேஃபரின் ஒரே நேர நகர்வு மற்றும் ஸ்கேனிங் வேகங்கள் முறையே 150nm/s மற்றும் 120nm/s ஆகவும், மாஸ்க் ஸ்கேனிங் வேகம் சுமார் 500nm/s ஆகவும் இருக்க வேண்டும். மேலும், பணிமேசை மிக உயர்ந்த இயக்கத் துல்லியத்தையும் நிலைத்தன்மையையும் கொண்டிருக்க வேண்டும்.

பணிமேசை மற்றும் நுண் இயக்க மேசையின் திட்ட வரைபடம் (பகுதித் தோற்றம்)

● சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் சதுரக் கண்ணாடி. லித்தோகிராபி இயந்திரங்கள் போன்ற முக்கிய ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று சாதனங்களில் உள்ள முக்கிய பாகங்கள் சிக்கலான வடிவங்கள், சிக்கலான பரிமாணங்கள் மற்றும் உள்ளீடற்ற, எடை குறைந்த கட்டமைப்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், அத்தகைய சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் பாகங்களைத் தயாரிப்பது கடினமாக உள்ளது. தற்போது, ​​நெதர்லாந்தின் ASML, ஜப்பானின் NIKON மற்றும் CANON போன்ற முக்கிய சர்வதேச ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்று சாதன உற்பத்தியாளர்கள், லித்தோகிராபி இயந்திரங்களின் முக்கிய பாகங்களான சதுரக் கண்ணாடிகளைத் தயாரிக்க மைக்ரோகிரிஸ்டலின் கண்ணாடி மற்றும் கார்டியரைட் போன்ற அதிக அளவிலான பொருட்களைப் பயன்படுத்துகின்றனர், மேலும் எளிய வடிவங்களைக் கொண்ட மற்ற உயர் செயல்திறன் கட்டமைப்பு பாகங்களைத் தயாரிக்க சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக்ஸைப் பயன்படுத்துகின்றனர். இருப்பினும், சீனக் கட்டிடப் பொருட்கள் ஆராய்ச்சி நிறுவனத்தின் வல்லுநர்கள், தமக்கென உள்ள பிரத்யேக தயாரிப்புத் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி, லித்தோகிராபி இயந்திரங்களுக்கான பெரிய அளவிலான, சிக்கலான வடிவமுடைய, அதிக எடை குறைந்த, முழுமையாக மூடப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு செராமிக் சதுரக் கண்ணாடிகள் மற்றும் பிற கட்டமைப்பு மற்றும் செயல்பாட்டு ஒளியியல் பாகங்களைத் தயாரித்துள்ளனர்.